７２分析仪器２０１０年第４期
ＱＳＮ７５０型直读光谱仪真空系统故障分析与排除
师字
（山东石横特钢集团有限公司，肥城，２７１６１２）
摘要介绍了直读光谱仪真空系统的典型故障现象，分析了故障现象产生的原因，提出了故障排除办法，为该类仪器维修人员处理类似故障提供经验参考。
关键词直读光谱仪真空泵电容故障排除
１引言
光电直读光谱仪是集光、机、电于一体的精密仪
器，具有分析速度快、自动化程度高、精密度高、检出
限低、结果准确等优点，得到广泛应用。越来越多的
金属冶炼和加工企业将其作为生产过程质量控制手段，应用于炉前、半成品、成品的金属材料成分检验。随着生产规模、工艺结构的不断变化，产量的大幅提高，炉前直读光谱仪能否快速、准确报出分析结果，对指导炉前冶炼操作、缩短冶炼周期、降低成本消耗具有重要意义。
２真空泵的结构及工作原理
真空系统由真空泵、真空隔离阀、通气阀、真空室、球阀、透镜组成，结构见图１，工作原理见图２。
图ｌ真空泵示意图
Ａ．真空泵Ｂ．真空泵背部的主开关Ｃ．真空泵主插座
Ｄ．真空隔离阀门Ｅ．前置过滤器真空
Ｆ．真空泵边缘的环形压紧装置
Ｇ．真空隔离阀门和前置过滤器之间的环形压紧装置
Ｈ．通气阀门
图２真空系统工作流程图
当真空室内真空值低于０．７时，真空泵自动启动，将真空室内的空气抽出，从而使光学系统、积分及控制电路置于真空环境中，使其不受外界环境变化的影响，保持良好的重现性和长期稳定性。真空泵采用间歇式抽真空方式，由软件自动控制真空泵的开启。真空泵的开启时间小于全部运行时间的５％，大大延长真空泵的使用寿命。
３故障分析与排除
３．１真空泵启动频率增多，真空值下降速度快随着仪器的频繁使用，真空泵的启动次数增多，泵会出现无法自动启动的情况，甚至需要手动方式按开关才能启动，有时需要反复多次才能奏效。如果长时间启动不了，会使真空值不断下降，最终导致真空度数值低于０．７，负高压消失，仪器将无法工作。
抽完真空后，真空值下降很快，真空泵启动次数异常增多，说明真空室漏气严重。
首先检查真空室盖的密封性，看对角的内六角螺栓是否均衡上紧，其次要检查通气阀门、真空隔离阀、球阀、透镜是否上紧。
３．２真空泵不能自动启动
真空泵不能自动启动是目前该类型直读光谱仪普遍存在的问题，严重时导致负高压起不来，仪器无法工作。真空泵不能自动启动的原因很多，下面逐
作者简介：师宇，男，１９８０年出生，汉族，山东省肥城市石横镇人，助理工程师。Ｅ—ｍａｉｌ：ｓｈｕａｉ一２００４２０００＠ｙａｈｏｏ．ｃｏｒｎ．ｃｎ万方数据