现代光电测试技术
背景：
在信息技术中，光纤传感已经成为优选的技术，光纤不仅可以作为光缆，而且还可以构筑网络为互联网服务。在测量方面，光纤传感器比常规传感器有许多无可比拟的优点，如灵敏度高，响应速度快，动态范围大，防电磁干扰，超高压绝缘，防燃，防爆，远距离遥测，体积小，成本低等优点，这些优点使光纤测量技术成为了现代光电测量技术的发展方向。
视觉检测技术也是现代光电检测测量技术的热门技术之一。人们从外界环境获取的信息中，有百分之八十来自视觉。而人们观察不到的信息，如红外，微波，超声波等图像实现人眼无法感测的信息测量，在一些人无法接触的环境，人眼无法响应的快速信息，接触测量无法触及的条件以及人眼无法分辨的细节都可用视觉检测技术来完成。现代视觉检测技术不仅可以模拟人所能完成的功能，而且还能完成人眼不能胜任的工作，所以权威人士预测，在不久的将来，百分之九十的检测任务由视觉检测系统来完成。因此视觉技术在光学，电子，计算机不断成熟和不段完善的基础上得到了突飞猛进的发展。
现代光电测试技术的发展与新能源，新光电器件及微电子技术，计算机技术的发展密不可分。自从第一台激光器出现以来，由于激光的单色性，方向性，相干性，稳定性极好，激光测量技术得到了突飞猛进的发展，1983年第十七届国际计量大会正式通过了米的新定义，以饱和吸收稳频的激光辐射或以饱和吸收的激光辐射波长为基准，定义米。扫描隧道显微镜和原子力显微镜开创了纳米测量先河，但它z向测量的标定是用激光干涉仪进行的，表明了激光干涉测量的高精度，而激光外差干涉仪被普遍认为是纳米测量
发展历程：
近几十年来工程领域的加工精度已达到0.1um或0，01um的水平，这对测量技术提出了更高的要求，迫切需要开拓新的手段，因此先后出现了各种纳米测量显微镜，如1982年隧道显微镜问世，它用测量电荷密度的方法测量分子和原子级的微小尺寸，但它只能用于测量导体表面，1986年原子力显微镜研制成功，它用测量触针与被测器件之间的原子力和离子力的方法来测量微小尺寸，因此它
可用于导体或非导体的测量，但缺点是针尖与样品接触易使样品表面划伤。根据原子力显微镜的思路，利用被测表面的不同物理性质对受迫振动悬臂梁的影响，通过测量其共振频率的变化测量被测表面，相继开发了激光力显微镜，静电力显微镜等。这些仪器都可以达到纳米甚至亚纳米级的分辨力。它们的分辨力都是用驱动探针的压力陶瓷的电压与位移关系得到的，但是压电陶瓷的滞后特性和蠕变使其测量结果并不可信，为了准确测出这些纳米尺度测量显微镜的精度，还必须溯源到光的波长上，因此迫切需要研制精度达到纳米和亚纳米的干涉仪来实现纳米尺度的测量和校准，因而又相继出现了精度可达到0.1nm的X光干涉仪，在纳米和亚纳米精度的光电测量系统中，为了保证系统的稳定可靠，对环境的要求是很高的，如环境温度不稳定，振动，光源波动的影响等都会使纳米尺度的测量精度荡然无存。
工作原理：
一：激光测量技术的工作原理
激光测量技术可分为激光干涉长技术、共光路激光干涉仪测量、激光外差干涉测量技术、激光衍射测量技术、激光测距与跟踪测量技术、近场光学显微镜六个方面。这里主要介绍的是共光路激光干涉仪测量的工作原理。
激光光源发出的光被会聚到针孔光阑处，该针孔光阑又处于准直物镜的焦点上，单色光经针孔和准直物镜形成平行光直接射向参考镜和被测表面，参考镜是半反半透镜，经参考镜反射的光作为参考光，经物镜会聚在干涉平面上，透射过参考镜的光经被侧件表面反射，再经准直物镜也会聚到干涉平面上，并与参考表面相遇，形成干涉条纹。如果参考表面和被测表面都是理想的，两者形成等厚条纹，如果被测表面凹凸不平，则形成与被测表面相对应的弯曲条纹，对该平面干涉图作图像测量和图像分析计算就可得到被测表面的缺陷值。斐索干涉仪中针孔的离焦、分光镜的厚度、准直物镜的像差都会使出射光的准直性受到破坏，使成像质量受到影响，设计时严格要求。必须指出，对斐索干涉仪来说参考面与被检测面之间的空气间隔越小，其共路性越好，如果不能做到这一点，则只能称为准共路干涉仪。如果将参考平面与准直物镜作成一体，将物镜的下表面做成平面作为参考面，将物镜上表面设计成非球面以消像差，则仪器结构紧凑，调整也更加方便。
二：视觉检测技术的工作原理
被测对象经过光学变换系统成像到摄像器件光敏面上，根据测量需要，被测对象被成像光学系统放大或缩小，有时需要进行扫描成像，扫描包括三种方式：第一：被测物移动而摄像系统不动；第二：被测物和摄像器件不动而光学系统运动；第三：被测物和光学系统不动而摄像器件运动。摄像器件将光信号转换成电信号，由计算机进行图像滤波、边缘提取、区域分割、模式识别等处理，并计算被测物的参数，照明光源的强度根据需要可进行调整，在三维测量中，常常不能直接采集物体图像，而是将结构光透射到被测物上，射取被物体调制的结构光图像，以获取三维信息。
图一光电检测系统原理图图二：视觉系统流程图
三：光纤测量技术的工作原理
研究光纤测量级基本原理，实际上就是研究光波与外界被测参量的相互作用，即光波被外界参数调制的原理，外界信号可能引起光的强度、波长、频率、相位、偏振态等性质发生变化，从而形成不同的调制方法，根据调制手段的不同，分别有强度调制，相位调制，频率调制、波长调制等不同的工作原理。
（1）强度调制
强度调制是利用被测对象的变化引起敏感原件的折射率，吸收率或反射率等参数的变化，从而导致光强度变化，最终实现测量。常用的强度调制方法是利用光纤的微弯损耗效应、物质的吸收特性、振动膜或液晶的反射光强度的变化特性、物质因各种粒子射线或化学与机械的激励而发光的现象以及物质的荧光辐射或光路的遮断效应等，最终可以构成压力、振动、温度、位移、气体等参量的光纤传感器和测量系统。
（2）偏振调制
偏振调制就是利用光的偏振的变化来传递被测对象的信息，常见的偏振调制有利用光在磁场中煤质内传播的法拉第效应制成的电流、磁场传感器；
利用光在电场中的压电晶体内传播的电光效应制成的电场、电压传感器；
利用物质的光弹效应构成的压力、振动或声传感器，利用光纤的双折射特性构成的温度、压力、振动等传感器。这类传感器可以避免光源发出光强度变化的影响，因此灵敏度高。
（3）频率调制
频率调制就是利用被测对象引起光波频率的变化来进行检测。常见的频率调制有利用运动物体反射光和散射光的多普勒效应构成的额速度、振动
压力、加速度传感器；利用物质受强光照射时的拉曼散射效应构成的测量气体浓度的传感器或监测大气污染的传感器；利用热致发光效应的温度传感器等。
（4）相位调制
相位调制的基本原理是利用被测对象对敏感元件的利用，使敏感元件的折射率或传播常数发生变化，而导致光的相位变化，然后利用干涉仪等检测这种相位变化，最终得到被测对像的信息。
前景：
科学技术的进步推动了光电测试技术的发展，而新型光电检测系统的出现无疑又给科学的技术的发展注入新鲜血液，因此，光电测试技术的发展趋势是: （1）纳米，亚纳米的高精度的光电测量技术。
（2）：小型的，快速的微型光、机、电测试系统。
（3）：非接触、快速在线测量，以满足快速增长的商品经济的需要。
（4）：向微空间三维测量技术和大空间三维测量技术的发展。
（5）：发展闭环控制的光电测试系，实现光电测量与光电控制的一体化。
（6）：向人们无法触及的领域发展。
（7）：发展光电跟踪与光电扫描技术，如远距离的遥控，遥测技术，激光制导，飞行物自动跟踪，复杂形体自动扫描测量等。
光电测试技术是现代科学，国家现代化建设和人民生活中不可缺少的新技术，是光、电、计算机相结合的新技术，是最具有潜力的技术之一。
应用：
一：激光测量技术的应用：
起重安装设备位置控制；液位料位测量；冶金钢铁过程控制；不宜接近的物体测量，如罐装物、管道、集装箱等；车辆和船舶位置监控；以及江河湖海等的水位测量。距离、位置、液位、料位、生产线料坯传送定位、行吊XY定位、电梯运行测量、大型工件装配定位、运动物体位置监控、大型货架库存管理、超大物体几何计量、靶距自动控制、船舶安全靠距、集装箱定位等领域、电气化铁路接触网测量、铁路建筑物限界测量以及江河湖海等的水位测量等
二：觉检测技术的应用：
医学红外热成像技术，X射线数字影像设备，X射线计算机断层扫描，生物芯片检测仪，汽车车身视觉检测系统，BGA芯片装引脚平面度视觉检测系统，无缝钢管直线度和截面在线视觉检测系统等。
三：光纤测量技术的应用：
应用于大坝、桥梁、电话及高层建筑物等大型民用基础设施的安全检测中，在土木工程、航空航天、船舶运输、电力工业、石油工业、医学方面等。
光电传感器 物理与电子工程学院电子信息科学与技术（应用技术）2011级李俊 学号20110520164 指导老师伊斯刚 摘要：由于微电子技术，光电半导体技术，光导纤维技术以及光栅技术的发展，使得光电传感器的应用与日俱增。这种传感器具有结构简单、非接触、高可靠性、高精度、可测参数多、反应快以及结构简单,形式灵活多样等优点，在自动检测技术中得到了广泛应用，它一种是以光电效应为理论基础，由光电材料构成的器件。 关键字：光电效应；光电元件；光电特性；传感器应用 1 理论基础——光电效应 光电效应一般有外光电效应、光导效应、光生伏特效应。 光照在照在光电材料上，材料表面的电子吸收的能量，若电子吸收的能量足够大是，电子会克服束缚脱离材料表面而进入外界空间，从而改变光电子材料的导电性，这种现象成为外光电效应 根据爱因斯坦的光电子效应，光子是运动着的粒子流，每种光子的能量为hv(v为光波频率，h为普朗克常数，h＝6.63*10-34 J/HZ)，由此可见不同频率的光子具有不同的能量，光波频率越高，光子能量越大。假设光子的全部能量交给光子，电子能量将会增加，增加的能量一部分用于克服正离子的束缚，另一部分转换成电子能量。根据能量守恒定律：1/2mv2=hv-A 式中，m为电子质量,v为电子逸出的初速度,A微电子所做的功。 2 光电元件及特性 2.1 光电管 光电管的种类繁多，典型的产品有真空光电管和充气光电管,外形成半圆筒形金属片制成的阴极K和位于阴极轴心的金属丝制成的阳极A封装在抽成真空的
玻壳内，当入射光照射在阴极上时，单个光子就把它的全部能量传递给阴极材料中的一个自由电子，从而使自由电子的能量增加h。当电子获得的能量大于阴极材料的逸出功A时，它就可以克服金属表面束缚而逸出，形成电子发射。这种电子称为光电子，光电子逸出金属表面后的初始动能为1/2mv2 光电管正常工作时，阳极电位高于阴极。在人射光频率大于“红限”的前提下，从阴极表面逸出的光电子被具有正电位的阳极所吸引，在光电管内形成空间电子流，称为光电流。此时若光强增大，轰击阴极的光子数增多，单位时间内发射的光电子数也就增多，光电流变大。 光电管的光电特性如图1所示，从图中可知，在光通量不太大时，光电特性基本是一条直线。 图1光电管的光 2.2 光电倍增管 由于真空光电管的灵敏度低，因此人们研制了具有放大光电流能力的光电倍增管。光电倍增管也有一个阴极K和一个阳极A，与光电管不同的是在它的阴极和阳极间设置了若干个二次发射电极，D1、D2、D3…它们称为第一倍增电极、第二倍增电极、…，倍增电极通常为10～15级。光电倍增管工作时，相邻电极之间保持一定电位差，其中阴极电位最低，各倍增电极电位逐级升高，阳极电位最高。当入射光照射阴极K时，从阴极逸出的光电子被第一倍增电极D1加速，以高速轰击D1 ，引起二次电子发射，一个入射的光电子可以产生多个二次电子，D1发射出的二次电子又被D1、D2问的电场加速，射向D2并再次产生二次电子发射……，这样逐级产生的二次电子发射，使电子数量迅速增加，这些电子最后到达阳极，形成较大的阳极电流。若倍增电极有n级，各级的倍增率为σ，则光电倍增管的倍增率可以认为是σN ，因此，光电倍增管有极高的灵敏度。在输出电流小于1mA的情况下，它的光电特性在很宽的范围内具有良好的线性关系。光电倍增管的这个特点，使它多用于微光测量。
摘要 随着石油、天然气工业以及煤炭工业的发展，煤矿爆炸事故日益增加。我国是世界上最大的煤炭生产和消费国，也是世界上少数以煤为主要能源的国家之一。在煤炭的生产、加工过程中产生的大量甲烷(CH4)及一氧化碳(CO)等易燃易爆气体，带来了煤矿安全、环境污染等一系列的问题。因此，对煤矿生产、加工过程中产生的有害气体进行高灵敏度检测变得十分重要。通信技术的发展使得光源及各种光纤器件性能更加完善。因此，在各种气体传感器中光纤气体传感器受到国内外研究者的广泛关注。光纤气体传感器因其敏感元件与检测电路和信号处理电路实现了完全的电隔离，使系统更加安全可靠。 本文基于差分检测原理，设计了用于气体传感中微弱信号测量的增益可调的便携式双光路光电检测和采集系统。系统采用以AD795 为核心的低噪声、高灵敏度前置放大器，通过有效的抗干扰措施，实现了微弱信号的高精度低噪声检测，并配以具有极强抗噪性能的24bitsΣ－△模数转换芯片AD7794，完成高分辨率的数据采集。通过AVR 单片机控制实现电路增益的自动调节，解决了差分检测中存在的小信号放大，大信号饱和的问题。 关键词：气体传感；光电检测；微弱信号测量；可调增益；数据采集
Abstract Along with the development of oil and natural gas industry,the coal mine exploding accident increased everyday.China is the country with the maximal coal yield and consumption,and also is one of the countries using coal as the most energy sources. Many kinds of inflammable and explosive gases such as methane(CH4)and carbon monoxide(CO)coexisting in the process caused a series of problem like the safety problem and environment pollution and so on.So it is very important to detect more sensitive the harmful gases engendering in the coal mine.
课程设计(论文)说明书 题目：光电检测报警器 院（系）：信息与通信学院 专业：电子信息工程 学生姓名：宋永胜 学号：1200220624 指导教师：张法全 职称：副教授 2014年１１月２0 日
摘要 本设计是基于红外对管（反射式）和LM311电压比较器的光电检测报警器。 红外对管是红外线发射管与光敏接收管，或者红外线接收管，或者红外线接收管配合在一起使用时候的总称。本次设计使用红外对管（反射式）构成光电转换元件。 LM311电压比较器主要功能是电压的比较。在本次设计中LM311的功能是比较两输入端电压数值的高低，使输出翻转，去控制蜂鸣器。LM311设计运行在更宽的电源电压：从标准的±15V运算放大器到单5V电源用于逻辑集成电路。其输出兼容RTL,DTL 和TTL以MOS电路。此外，LM311可以驱动继电器，开关电压高达50V，电流高达50mA。 关键字：红外对管；红外线发射管；红外线接收管；LM311电压比较器；逻辑集成电路 Abstract This design is the photoelectric detection alarm for pipe and the LM311 voltage comparator based infrared.Infrared tube is the infrared transmitting tube and an infrared photosensitive receiving tube, or an infrared receiving tube, or an infrared receiving head with term when used together. The design of infrared tube to form a photoelectric conversion element.The main function of LM311 voltage comparator voltage comparison, comparing the two input voltage value level, to make the output flip, to control the buzzer to achieve the purpose of control. The design and operation of LM311 in the power supply voltage and wider: from + 15V operational amplifier to standard single 5V power supply used in logic integrated circuit. The output is compatible with RTL, DTL and TTL in MOS circuit. In addition, LM311 can drive a relay, switch voltage up to 50V, current up to 50mA. Keywords: infrared emitting diode and a photosensitive receiving tube,；LM311 voltage comparator,；logic integrated circuit
从光纤的发明看科学家的执着 ——对光电检测技术与仪器的认识 摘要：光纤是光导纤维的简写，是一种利用光在玻璃或塑料制成的纤维中的全反射原理而达成的光传导工具。前香港中文大学校长高锟和George A. Hockham首先提出光纤可以用于通讯传输的设想，高锟因此获得2009年诺贝尔物理学奖。在日常生活中，由于光在光导纤维的传导损耗比电在电线传导的损耗低得多，光纤被用作长距离的信息传递。 关键字：光纤，光纤通信，光纤发明，应用 引言 在平时的生活经历中，我们总不免用到见到各种光电器件，不管是看似简单还是负责的光学器件都默默的影响着我们的生活甚至时代的发展。这学期我有幸选到了《光电检测技术》这门课，系统地学习了现代化智能化的光电检测技术以及配套发展的光电检测器件，让我对光电检测和各种光学仪器有了一个系统和相对深入的了解。 在当今的世界，光纤已经成为了有线数据通讯的一个主流，而我还依稀记得2009年“光纤之父”高锟因为光纤的发明而获得的诺贝尔奖。在学习了这门课后，我就以光纤来谈谈现代光电器件以及我对科学研究的认知。 1、光纤的发明 1966年，高锟发表了一篇题为《光频率介质纤维表面波导》的论文，开创性地提出光导纤维在通信上应用的基本原理，描述了长程及高信息量光通信所需绝缘性纤维的结构和材料特性。简单地说，只要解决好玻璃纯度和成分等问题，就能够利用玻璃制作光学纤维，从而高效传输信息。这一设想提出之后，有人称之为匪夷所思，也有人对此大加褒扬。但在争论中，高锟的设想逐步变成现实：利用石英玻璃制成的光纤应用越来越广泛，全世界掀起了一场光纤通信的革命。随着第一个光纤系统于1981年成功问世，高锟“光纤之父”美誉传遍世界。 高锟还开发了实现光纤通讯所需的辅助性子系统。他在单模纤维的构造、纤维的强度和耐久性、纤维连接器和耦合器以及扩散均衡特性等多个领域都作了大量的研究，而这些研究成果都是使信号在无放大的条件下，以每秒亿兆位元传送至距离以万米为单位的成功关键。 举世公认高锟是提出用纤维材料传达光束讯号，以建置通信的第一人。高氏仍在英国求学的1960年代，大家已经知道讯息是可以用数字或模拟的方式传送。当时已有人研究，透过气体或玻璃传送光，期望可达到高速的传送效率，但无法克服讯号会严重衰减的问题。1965年，高氏对各种非导体纤维进行仔细的实验。按他分析，当光学讯号衰减率能低于每公里20分贝时，光束通信便可行。他更进一步分析了吸收、散射、弯曲等因素，推论被包覆的石英基玻璃有可能满足衰减需求达到波导。这项关键研究结果，推动全球各地连串运用玻璃纤维波导来通讯的研发工作。 此后1970-美国贝尔实验室研制出世界上第一只在室温下连续波工作的砷化镓铝半导体激光器 1976-美国在亚特兰大的贝尔实验室地下管道开通了世界上第一条光纤通信系统的试验
现代光电测试技术 背景： 在信息技术中，光纤传感已经成为优选的技术，光纤不仅可以作为光缆，而且还可以构筑网络为互联网服务。在测量方面，光纤传感器比常规传感器有许多无可比拟的优点，如灵敏度高，响应速度快，动态范围大，防电磁干扰，超高压绝缘，防燃，防爆，远距离遥测，体积小，成本低等优点，这些优点使光纤测量技术成为了现代光电测量技术的发展方向。 视觉检测技术也是现代光电检测测量技术的热门技术之一。人们从外界环境获取的信息中，有百分之八十来自视觉。而人们观察不到的信息，如红外，微波，超声波等图像实现人眼无法感测的信息测量，在一些人无法接触的环境，人眼无法响应的快速信息，接触测量无法触及的条件以及人眼无法分辨的细节都可用视觉检测技术来完成。现代视觉检测技术不仅可以模拟人所能完成的功能，而且还能完成人眼不能胜任的工作，所以权威人士预测，在不久的将来，百分之九十的检测任务由视觉检测系统来完成。因此视觉技术在光学，电子，计算机不断成熟和不段完善的基础上得到了突飞猛进的发展。 现代光电测试技术的发展与新能源，新光电器件及微电子技术，计算机技术的发展密不可分。自从第一台激光器出现以来，由于激光的单色性，方向性，相干性，稳定性极好，激光测量技术得到了突飞猛进的发展，1983年第十七届国际计量大会正式通过了米的新定义，以饱和吸收稳频的激光辐射或以饱和吸收的激光辐射波长为基准，定义米。扫描隧道显微镜和原子力显微镜开创了纳米测量先河，但它z向测量的标定是用激光干涉仪进行的，表明了激光干涉测量的高精度，而激光外差干涉仪被普遍认为是纳米测量 发展历程： 近几十年来工程领域的加工精度已达到0.1um或0，01um的水平，这对测量技术提出了更高的要求，迫切需要开拓新的手段，因此先后出现了各种纳米测量显微镜，如1982年隧道显微镜问世，它用测量电荷密度的方法测量分子和原子级的微小尺寸，但它只能用于测量导体表面，1986年原子力显微镜研制成功，它用测量触针与被测器件之间的原子力和离子力的方法来测量微小尺寸，因此它
用干涉法测量细钢丝的微小伸长量 一、原理图及工作过程 原理图如下图所示
工作过程简介： 激光通过迈克尔逊干涉仪产生干涉条纹——明暗相间的同心圆环，细钢丝长度的改变引起光程差的变化，从而导致干涉条纹变化。利用光电检测器将光信号转换为电信号，通过计数器测出干涉条纹的“吞吐”数目，再通过运算电路（或者计算机）便可以计算出钢丝长度的微小变化。 二、该光电检测系统设计思路 1、光源 要产生干涉现象，必须使用相干光。激光具有单色性好，发散角小，亮度高，时间和空间相干性好等特点。He-Ne 激光器是常用的激光器，并且满足设计要求，所以选用此激光器作为该光电检测系统的光源。 2、光学变换 干涉测量技术是以波长为单位的非接触精密测量方法，具有极其广泛的应用范围，测量精度高，且有很高的测量重复性，该方法可实现对长度、距离、位移、振动和运动速度等物理量的高精度非接触测量。 迈克尔逊干涉仪是常用的利用干涉现象测量长度的实验仪器，通过该仪器实现将非光物理量转变为光学量，并且实现了光学量的量化。 3、光电探测器 该设计采用雪崩光电探测器，雪崩光电探测器实现光学量到电信号的转换，使量化后的光信号转化成脉冲数字信号。光伏探测器具有暗电流小、噪声低、响应速度快、光电特性的线性好、受温度的影响小等特点。另外．雪崩光电二板管还有很大的内增益作用，不仅灵敏度高，还可以通过较大的电流。 4、信号处理 干涉条纹向内收缩或向外发散一个条纹，对应的光程差为2λ。由于钢丝的位移使条纹的变化，故 2λN y =（式中y 为压电陶瓷位移，N 为干涉条纹数目，λ为选定激光波长）。 光源发出的光经迈克尔逊干涉仪量化后送给光电器件转换成脉冲数字信号，再送给数字电路处理或送给计算机进行处 理或 运算。长度信息量L 经光学量化后形成n 个条纹信号，量化后的长度信息L 为 L = qn ，其中q=2λ 。 三、雪崩二极管的工作原理及性能特点 1、工作原理： 雪崩光电二极管为具有内增益的一种光生伏特器件。它利用光生载流子在强电场内的定向运动，产生的雪崩效应获得光电流的增益。 电离产生的载流子数远大于光激发产生的光生载流子数，这时雪崩光电二极管的输出电流迅速增加，其电流倍增系数M 定义为 式中，I 为倍增输出的电流，I 0为倍增前输出的电流。 雪崩倍增系数M 与碰撞电离率有密切的关系。由实验确定，电离率与电场强度E 可以近似的写成以下关系 式中,A 、b 、m 都为与材料有关系数。 假定αn=αp=α时，可以推导出倍增系数与电离率的关系为 XD 为耗尽层的宽度。上式表明，当 时， M ∞。（3-12）式为发生雪崩击穿的条件。 在强电场作用下，当通过耗尽区的每个载流子平均能产生一对电子—空穴时，就发生雪崩击穿现象。当M —∞时，PN 结上所加的反向偏压就是雪崩击穿电压UBR 。 实验发现，在略低于击穿电压时，也发生雪崩倍增现象，不过M 较小，这时M 随反向偏压U 的变化可用经验公式近0 I I M =m )E b (-Ae =α?-=D x 0d 11M x α1 d D x 0 →?x α
光电检测前沿技术论文 光电检测技术在机械设计制造中的应用 摘要：随着我国经济的不断发展，国家和企业对机械制造业也越来越大，这样机械制 造业就出现了飞速发展的趋势，从而推动制造业的飞速发展，目前我国已经成为全球第一 大机械制造业大国，相比于西方发达国家，我国的机械技术还是存在一定的差距。尤其随 着21世纪信息技术的飞速发展与深入各行各业中，让光电检测技术在机械设计中应用更 加广泛，光电检测只有掌握好光电检测技术，才能更好的应对自己的工作。在本文主要 对光电检测技术在机械设计制造中的应用进行了探究和分析。 关键词：光电检测技术;机械设计制造;应用 1.前言 随着我国科学技术和经济的发展，光电检测技术被广泛应用到机械设计制造中。主要 是因为其特点是可以实现无接触检测，因而可以将机械动态检测变成光电静态检测，从而 可显著简化机械结构。除此之外在很多场合还可省去调整操作，本文首先对阐述光电检测 的基本原理;然后对光电检测在机械设计制造中的应用进行了分析和探究。 2.光电检测的基本原理 电管的基本结构简图如图1所示，具体选择哪一种结构的光电管与设备具体结构和使 用要求有关。透射式光电管的工作原理是发光二级管发出的光信号直接照射到接收三级管 的基极，三极管基级接收到光信号后在发射极或集电极上产生一个输出信号，然后后续电 路再对所接收到的信号进行处理去控制相应部件.显然光电流的强弱直接影响到输出信号 的强弱，当发光管和接收管之间没有任何物体时，输出信号最强;反之当有物体夹在中间时，输出信号就开始减弱，中间物体的厚度越厚，透明度越差，则输出信号就越弱，因此 用这种光电管即可进行物体位置检测，也可进行物体厚度检测。 透射式光电管在印刷机上主要用于位置检测和双.张检测，其位置检测实际结构示意 图如图2A所示.图中光电管1是通用的槽形光祸，控制圆盘2用来控制光电管1发光管和 接收管之间的通与断，控制圆盘2固定在回转轴3上，因而可以用来检测回转轴3的相对 位置，从而根据工艺要求发出相应的控制信号，厚度检测如图2B所示，由发光管1发出 的信号经过纸张2到达接收管3，纸张厚度或透明度发生变化后，接收管3输出的信号强 度也随之变化，因而在用一张纸调试好后当有两张纸或多张纸通过发光管和接收管之间时，接收管的输出信号强度减弱，从而发出双张或多张控制信号。 3.光电检测在机械设计制造中的应用
半导体材料对现代社会的影响 材料是人类进化史的里程碑，现代文明的重要支柱，是发展高新技术、社会现代化的物质基础与先导。 在所有材料当中，带领我们进入如今信息时代的首位功臣—半导 体材料却是后来居上。计算机、手机、家电、航天、仪表等所有与现代文明相关的高科技产品都离不开以半导体材料为基础。没有半导体材料，就没有今天的物质文明和飞速发展的现代社会。 硅（Si）和错（Ge是主要的半导体材料，其中硅（Si）是占据了90％以上的半导体材料份额。硅和锗材料在电子、冶金、化工、军事、航天等领域有广泛的用途。例如：金属硅被应用于钢铁、铝、有机硅，多晶硅被应用于太阳能光伏电池，单晶硅被应用于半导体集成电路，二氧化锗被用于塑料石油工业催化剂，锗单晶被应用于卫星用太阳能光伏电池和武器装备上的夜视仪镜头。硅锗合金被应用于高速cpu处理器（达500GHZ制造。 半导体的发现可以追溯到上世纪的一八三几年，但是半导体的真 正应用是上世纪中期，特别在1947年晶体管的发明到1958 年集成电路的发现和设计研制成功，开辟了微电子的时代。我们今天用到的计算机空间任何一个地方都离不了半导体。半半导体材料与社会经济关系的一个典型范例就是硅材料的应用。经济上，它触发了一个数十亿美元的工业。从助听器到全球性的遥测技术，通信已十分便利，并且通过文化娱乐、各种私人计算机的出现与使用，使人们的日常生活发生着巨大的变化。比如说硅已经是大规模集成电路的基础元件，与所有的电气所有的光纤移动通信、人造卫星等等，密切相关。信息时代的基础就是半导体，就是硅，用90％以上的电子器件、组件和设备都是用硅材料做成的。半导体的作用从过去工业革命是微电子时代，进一步我们进入光电子时代。半导体材料不但使人类生活有很大改变，也改变了世界的政治、经济和军事地位。最近伊拉克战争基本是空间解决问题，发现目
光电测试技术论文 概论 光电图像检测系统的知识涉及面广,在工业、农业、军事、航空航天以及日常生活中皆有着非常广泛的应用, 是现代工科学生必须掌握的一门知识。光电图像检测系统以其非接触、高灵敏度、高精度、快速、实时等特点,成为现代检测技术重要的手段和方法之一。光电图像检测系统内容多、涉及知识面广,包括光学、光电子学、电子学、计算机、机械结构等学科内容。描述光电成像系统动态特性的参数有多项,其中对运动目标的图像探测特性是其最重要的特性。这项特性定埴地表征了综合光电成像系统的惰性环节对系统成像过程的影响,全面确定了光电成像系统对动目标的探删和捕获能力。 1动态目标探测特性测试的理论模型 光电成像系统的静态图像探测特性可以采用分辨力以及光学传递函数[或点扩散函数]表示。当光电成像系统中存在有惰性器件(如光电导器件、电子束扫描、电路的积分环节、显示器件等)时,将导致对动态目标的分辨能力下降这是由于惰性环节产生的时滞图像信号造成图像模糊所至一。因此,光电成像系统的静态分辨力并不等于动态分辨力光电成像系统的动态分辨力可以用如下的数学过程建立其基本概念。如果令光电成像系统惰性环节的时间脉冲响应函数为p(t).则动态输出图像函数h(x,y)可以表示为静态输出图像函数的卷积考虑到P (t)是时间的函数,所以要转换变量,利用运动速度函数v(x,y )将时间p(t)变换为空间座标变量的函数p(t )定量地描述了惰性环节对动态成像过程的影响,由此可知光电成像系统的动态成像特性既取决于情性环节的时间响应特性又取决于目标运动的速度。为此要了解光电成像系统的动态图像探测特性, 必须测定各种运动速度条件下光电成像系统的的动态图像分辨力,即用各种速度下光电成像系统的极限分辨力曲线来表征光电成像系统动态图像探测特性,该曲线称为光电成像系统动态图像探测特性曲线。 2方法与测试系统 2.1 测试方法 根据常用的检测光电成像系统空间分鞲特性的方法,结合自行研制的运动目标生成驱动装置,选择矩形以相临两亮线条(或暗线条)之间的中心距离作为空间周期,则它的倒数可视为空间频率,发二极管阵列产生空间频率对比度为C 1(f ) 定速度运动的矩形光栅经微光电视系统成像后成像在光电综合仪器动态测试系统显示屏幕上。在实际测试中,为方便测试定义对应零频像面输出亮度的对比度为1,故零频时的调制传递值为1,即归一化调制传递函数。如果令光电成像系统惰性环节的时间脉冲响应函数为p(t).则动态输出图像函数h (x.y)可以表示为静态输出图像函数g (x.y )和p(t )的卷积考虑到P (t )是时间的函数所以要转换变量利用运动速度函数v(x,y )将时间p(t) 变换为空间座标量的函数p(x, y),即h(x,y)= g( x,y)×[ z(x.y)/v(x ,y)] (1) 上式定量地描述了惰性环节对动态成像过程的影响,由此可知光电成像系统的动态成像特性既取决于情性环节的时间响应特性又取决于目标运动的速度。后面只须测量各个不同空间频率的R T F (f )即可。实际目标物体的运动速度通常是变化的,但对测试而言存在许多实际困难,如速度的变化规律难以描述和记录等。因此,如果让动态目标源生成以
光电检测论文Last revision on 21 December 2020
光电技术论文 学院：机械工程学院 专业：机械电子工程 班级：机自 114 学号： 光电检测技术论文 摘要：光电检测技术主要依赖于光电检测元件，属于光电信息技术的主要技术之一。因其测量灵敏度高，可靠性好，体积小，非接触，信息容量巨大，信息效率高等特点被广泛应用于自动化领域，通常与机电专业知识的结合实现了机械精确的智能控制，在实际生活中有着广泛的应用。 关键词：光电检测；红外光电传感器；智能车系统；光机电一体化 1.光电检测技术概述 光电检测的基本原理 光电检测涉及光学、电子学、光与物质相互作用等领域。它是以不同种的光电传感器为基础，通过检测被测物体的光辐射并换为电信号，再通过输入电路、放大滤波等检测电路提取有用信息，经模/ 数转换接口输入计算机运算处理，最后储存、显示、控制输出所需要的检测物理量等参数。光电检测系统工作原理如图一所示。 图一光电检测系统工作原理图 光电传感器是以光电元件作为检测元件，以光电效应原理为基础。光电效应是指当光照射某一物体，可以看作是一连串带有一定能量为的光子轰击在这个物体上，此时光子能量就传递给电子，并且是一个光子的全部能量一次性地被一个电子所吸收，电子得到光子传递的能量后其状态就会发生变化，从而使受光照射的物体产生相应的电效应。通常根据这一原理，光电传感器结构设计由光源、光学通路和光电元件三个部分；亦可以分成它们分为发送器、接收器和检测电路三个部分。三者间的关系通过应用实例中的红外光电传感器加以具体介绍[1]。 光电检测技术的特点 光电检测技术将光学技术与电子技术相结合，实现对各种量的测量，它具有如下特点： 1）高精度。光电测量的精度是各种测量技术中精度最高的一种。例如用激光干涉法测量长度的精度可达m；用激光测距法测量地球与月球之间距离的分辨力可达到1m。
目录 光电式传感器 1.概述 2.物理特性 2.1外光电效应 2.1.1光子假设 2.2 内光电效应 2.2.1光电导效应 2.2.2光电转换元件 3.光电式传感器 3.1工作原理 3.2光电传感器分类 4.光电传感器应用 4.1光电传感器优点 4.1.1光电式带材跑偏检测器 4.1.2包装充填物高度检测 4.1.3光电色质检测 4.1.4烟尘浊度监测仪 4.1.5其他方面的应用 5.光纤传感器 5.1基本工作原理 5.2光纤的种类与特性 5.3光纤传感器的应用
光电式传感器 1.概述 光电传感器是采用光电元件作为检测元件的传感器。它首先把被测量的变化转换成光信号的变化，然后借助光电元件进一步将光信号转换成电信号。光电传感器一般由光源、光学通路和光电元件三部分组成。光电检测方法具有精度高、反应快、非接触等优点，而且可测参数多，传感器的结构简单，形式灵活多样，因此,光电式传感器在检测和控制中应用非常广泛。光电传感器是各种光电检测系统中实现光电转换的关键元件，它是把光信号（红外、可见及紫外光辐射）转变成为电信号的器件。 光电式传感器是以光电器件作为转换元件的传感器。它可用于检测直接引起光量变化的非电量，如光强、光照度、辐射测温、气体成分分析等；也可用来检测能转换成光量变化的其他非电量，如零件直径、表面粗糙度、应变、位移、振动、速度、加速度，以及物体的形状、工作状态的识别等。光电式传感器具有非接触、响应快、性能可靠等特点，因此在工业自动化装置和机器人中获得广泛应用。近年来，新的光电器件不断涌现，特别是CCD图像传感器的诞生，为光电传感器的进一步应用开创了新的一页。 2.物理特性 2.1外光电效应 2.1.1光子假设 1887年，赫兹发现光电效应，爱因斯坦第一个成功解释光电效应。爱因斯坦根据普朗克量子假说而进一步提出的光量子，即光子概念，对光电效应研究做出了决定性的贡献。爱因斯坦光子假说的核心思想是：表面上看起来连续的光波是量子化的。单色光由大量不连续的光子组成。若单色光频率为n，那么每个 光子的能量为E＝hv, 动量为。 由爱因斯坦光子假说发展成现代光子论(photon theory)的两个基本点是： (1) 光是由一颗一颗的光子组成的光子流。每个光子的能量为E = hv， 动量为。由N个光子组成的光子流，能量为N hv。 (2) 光与物质相互作用，即是每个光子与物质中的微观粒子相互作用。 根据能量守恒定律，约束得最不紧的电子在离开金属面时具有最大的初动
传感器课程论文（光电传感器）
传感器原理及工程应 用 课程论文 题目：光电传感器的应用 学 院：XXXXXXXXX 学院专 业： 电子信息科学与技术学 号：XXXXXXX
姓 名：XXX 成绩：
光电传感器的应用 XX XXXXXXXXXXXX电X子系 摘要：与传统传感器相比，光电传感器利用光电原件作为检测元件，具有非接触、反应快、可测参数多、精度高、结构简单等优点，而在相关行业、领域中得到了广泛应用，随着现代电子技术的研究不断深入，新型光电传感器在性能、质量价格等方面更具有优势，本文仅就光电传感器原理，其类别与其发展等问题做探讨。 关键词：光电传感器原理分类应用与发展 0 引言 新技术革命的到来，世界开始进入信息时代。在利用信息的过程中，首先要解决的就是要获取准确可靠的信息，而传感器是获取自然和生产领域中信息的主要途径与手段。 如今，传感器早已渗透到诸如工业生产、
宇宙开发、海洋探测、环境保护、资源调查、医学
诊断、生物工程、甚至文物保护等等极其之泛的 领域。可以毫不夸张地说，从茫茫的太空，到浩 瀚的海洋， 以至各种复杂的工程系统， 几乎每 一 个现代化项目，都离不开各种各样的传感 器。 1 光电传感器的原理 二极管的外型与一般二极管一 上开有一个嵌着玻璃的窗口， 为增加受光面积， PN 结的面积做得较大，光敏 二极管工作在反向偏置的工作状态下， 电阻相串联，当无光照时，它与普通二极管一样， 反向电流很小（ 流；当有光照时 穴，称为光电载流子。在外电场的作用下，光电 载流子参于导电， 形成比暗电流大得多的反向电 流，该反向电流称为光电流。 光电流的大小与光 照强度成正比，于是在负载电阻上就能得到随光 照强度变化而变化的电信号 光电传感器是指能够将可见光转换成某种 电量的传感器。 光电传感器的物理基础是光电效 应，即光敏材料的电学特性因受到光的照射而发 生变化。 光敏二极管是最常见的光传感器。 光敏 ， 只是它的管壳 便于光线射入， 并与负载 <μ A ），称为光敏二极管的暗电 ，载流子被激发，产生电子 - 空
· 光电检测技术与应用 论文 论文题目: 光电检测技术应用及其前景】 院系应用物理与材料学院 专业应用物理 学号 学生姓名郭梓浩 指导教师孙鲁 — 完成日期 2014年6月10日
摘要在科学技术高速发展的现代社会中，人类已经入瞬息万变的信息时代，人们在日常生活，生产过程中，主要依靠检测技术对信息经获取、筛选和传输，来实现制动控制，自动调节，目前我国已将检测技术列入优先发展的科学技术之一。由于微电子技术，光电半导体技术，光导纤维技术以及光栅技术的发展，使得光电传感器的应用与日俱增。这种传感器具有结构简单、非接触、高可靠性、高精度、可测参数多、反应快以及结构简单,形式灵活多样等优点，在自动检测技术中得到了广泛应用，它一种是以光电效应为理论基础，由光电材料构成的器件。 关键词传感器微电子半导体自动检测— Abstract In the high-speed development of science and technology of modern society, mankind has into rapidly changing information era, people in daily life, the production process, rely mainly on detection techniques of information by acquiring, screening and transmission, to achieve the brake control, automatic adjustment, at present our country has put detection techniques listed in one of the priority to the development of science and technology.Because of microelectronics technology, photoelectric semiconductor technology, the development of optical fiber and grating technology, makes the application of the photoelectric sensor is growing.This kind of sensor has the advantages of simple structure, non-contact, high reliability, high precision, measurable parameters, quick reaction and simple structure, the advantages of flexible and varied in form, has been widely applied in the automatic detection technology, it is a kind of based on the theoretical basis of the photoelectric effect, composed of photoelectric material device. Key words The sensor microelectronics
光电检测技术的特点、应用现状及发展前景 【摘要】光电检测技术是光电信息技术的主要技术之一，是利用光电传感器实现各类检测，即将被测量转换成光通量，再将光通量转换成电量。随 着现代科学技术以及复杂自动控制系统和信息处理技术的提高，它以 测量精度高、速度快、非接触、频宽与信息容量极大、信息效率极高 及自动化程度高等突出特点发展十分迅速，应用现状非常好，并且有 着很好的发展前景。 【关键词】光电检测，光电传感器，特点，应用现状，发展前景 引言：随着现代科学技术以及复杂自动控制系统和信息处理与技术的提高，光电检测技术作为一门研究光与物质相互作用发展起来的新兴学科，已成为现代信息科学的一个极为重要的组成部分。光电检测技术具有测量精度高、速度快、非接触、频宽与信息容量极大、信息效率极高、以及自动化程度高等突出特点，令其发展十分迅速，并推动着信息科学技术的发展。它将光学技术与现代电子技术相结合，广泛应用于工业、农业、家庭、医学、军事和空间科学技术等领域。本文从光电检测技术本身特点出发，简述它在工业、资源、环境测温等领域的应用现状及其发展前景。 1，光电检测技术 1.1光电检测技术的原理 光电检测系统的工作原理图如下图所示： 光电检测系统原理图 1.2光电检测技术的特点 光电检测技术将光学技术与电子技术相结合实现对各种量的检测，具有如下特点： ①高精度。光电检测的精度是各种检测技术中精度最高的一种，如用激光干涉法检测长度的精度可达0.05um/m;光栅莫尔条纹法测角可达0.04"；用激光测距法测量地球与月球之间距离的分辨率可达1m。 ②高速度。光电检测以光为媒介，而光是各种物质中传播速度最快的，无疑用光学的方法获取和传递信息是最快的。
淋巴细胞（lymphocyte）是白细胞的一种，是体积最小的白细胞。由淋巴器官产生，主要存在于淋巴管中循环的淋巴液中，是机体免疫应答功能的重要细胞成分，是淋巴系统几乎全部免疫功能的主要执行者，是对抗外界感染和监控体内细胞变异的一线“士兵”。淋巴细胞是一类具有免疫识别功能的细胞系，按其发生迁移、表面分子和功能的不同，可分为T淋巴细胞（又名T细胞）、B淋巴细胞（又名B细胞）和自然杀伤(NK)细胞。 胸腺依赖淋巴细胞简称T细胞，是骨髓来源的淋巴干细胞在胸腺内分化而成的。T细胞是相当复杂的异质性细胞群体。按其在免疫应答中的功能不同，可将T细胞分为：细胞毒性T细胞、辅助性T细胞和调节性T细胞。其中数量调节性T细胞较少，能够抑制免疫应答，使免疫应答的程度不至于过于强烈。 下面主要通过哮喘病中调节性T细胞所起的作用来阐述调节性T 细胞完成免疫功能的过程。哮喘病是由II型辅助T细胞的过度反应引起的一种慢性的气道炎症疾病。 一、调节性T细胞的分类 调节性T细胞根据其起源可以分为自然性调节性T细胞和适应性调节性T细胞，具体分类如下图所示： 注： IL:白细胞介素 Th：辅助T细胞iTreg：自然性调节T细胞 nTreg:适应性调节T细胞TGF-β:转化生长因子β APC:抗原呈递细胞Tr1：I型T调节细胞 Foxp3：识别调节性T细胞的特定标记 CTLA-4：细胞毒性T淋巴细胞相关蛋白4 cAMP：环磷酸腺苷
胸腺后调节T细胞的分化过程： 大多数调节性T细胞刚开始是初始细胞，并表达高水平的CD62L，CCR7和肠归巢受体α4β7，从而使它们能够迁移至次要淋巴器官和与肠相关的淋巴组织中，这些初始调节性T细胞会遇到自身抗原和共生微生物，随后，调节性T细胞表达各种归巢受体，这使其能够迁移到特定的组织和器官，例如，CCR4的表达需要迁移到皮肤，肺和其他发炎的组织中，CXCR3的T-bet依赖性表达对于调节性T细胞定位于肝部的炎症非常重要，表达CCR6的调节性T细胞能够迁移到Th17细胞介导的炎症位点，一旦识别抗原调节性T细胞就会成为表达不同表面标记的效应细胞或记忆细胞，因此，调节性T细胞的胸腺后分化是通过一系列涉及抗原识别、迁移和功能成熟的过程，最终决定调节性T细胞的特定功能和用途。具体过程的图示如下：
SEM的基本原理及系统分析 摘要：本文首先介绍了SEM的系统，并从原理出发导出了SEM的构造，最后介 绍了SEM的应用和展望。 关键词：扫描电镜，电子枪 An Fundamental principle and system analysis of Scanning Electron Microscope Abstract：This paper introduces the system analysis of SEM and SEM derived from the principle of starting the construction, and finally introduces application of SEM , summed up the prospect of SEM. Key words：SEM, Electron gun 一．引言 SEM是近十余年才发展起来的。它的电子束路径附好与透射电镜的相侧逆。扫描电镜在几个方面具有明显的优越性，它的成象有较大的景深，不需作样品表面的复型，可以观察游离细胞、血细胞的表面结构和染色体的次级罗纹，其分辨率已经达到2nm左右。扫描电镜利用电子束在晶体中的通道效应可作选区电子衍射，进行微区空间结构的分析，选区范围可小到10nm若带上X光微区分析仪后，可利用样品在电子束作用下发出的特征X线来进行表面微区元素成份分析，精度可达10-16g数量级。还可利用样品在电子束作用下的荧光效应来作荧光特性分析。本文主要对SEM对一个概括性介绍。 二．基本原理 SEM的工作原理是用一束极细的电子束扫描样品，在样品表面激发出次级电子，次级电子的多少与电子束入射角有关，也就是说与样品的表面结构有关，次级电子由探测体收集，并在那里被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象，反映了标本的表面结构。为了使标本表面发射出次级电子，标本在固定、脱水后，要喷涂上一层重金属微粒，重金属在电子束的轰击下发出次级电子信号。 由电子枪发射出来的电子束，经过两级汇聚镜和一级物镜聚焦后，直径可缩小到4 nm，当电子束在样品表面扫描时，与样品发生作用，激发出各种信号，如二次电子、背散射电子、吸收电子、俄歇电子、特征X射线等，在较大的样品室内装有各种探测器，以检测各种信号，例如，二次电子探测器用以检测二次电子，背散射电子探测器用以检测背散射电子，X射线探测器用以检测特征X射线等等。使反映样品形貌、成分及其他物化性能的各种信号都能得到检测，然后经放大和信号处理，并以此信号来调制同步扫描的显象管亮度，在显象管的荧光屏上就可得到各种信息的样品图象。同时，利用特征X射线，还能得到样品的成分。
光电检测技术与应用 论文 论文题目: 光电检测技术应用及其前景 院系应用物理与材料学院 专业应用物理 学号11060112 学生姓名郭梓浩 指导教师孙鲁 完成日期 2014年6月10日
摘要在科学技术高速发展的现代社会中，人类已经入瞬息万变的信息时代，人们在日常生活，生产过程中，主要依靠检测技术对信息经获取、筛选和传输，来实现制动控制，自动调节，目前我国已将检测技术列入优先发展的科学技术之一。由于微电子技术，光电半导体技术，光导纤维技术以及光栅技术的发展，使得光电传感器的应用与日俱增。这种传感器具有结构简单、非接触、高可靠性、高精度、可测参数多、反应快以及结构简单,形式灵活多样等优点，在自动检测技术中得到了广泛应用，它一种是以光电效应为理论基础，由光电材料构成的器件。 关键词传感器微电子半导体自动检测 Abstract In the high-speed development of science and technology of modern society, mankind has into rapidly changing information era, people in daily life, the production process, rely mainly on detection techniques of information by acquiring, screening and transmission, to achieve the brake control, automatic adjustment, at present our country has put detection techniques listed in one of the priority to the development of science and technology.Because of microelectronics technology, photoelectric semiconductor technology, the development of optical fiber and grating technology, makes the application of the photoelectric sensor is growing.This kind of sensor has the advantages of simple structure, non-contact, high reliability, high precision, measurable parameters, quick reaction and simple structure, the advantages of flexible and varied in form, has been widely applied in the automatic detection technology, it is a kind of based on the theoretical basis of the photoelectric effect, composed of photoelectric material device. Key words The sensor microelectronics semiconductor Automatic detection 目录