激光三角法在位移测量中的应用
作者：刘维;韩旭东;艾华
作者机构：中国科学院,研究生院,北京,100000;中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033;中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033;中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长
春,130033
来源：光学精密工程
ISSN：1004-924X
年：2004
卷：012
期：0z2
页码：104-107
页数：4
中图分类：TN247
正文语种：chi
关键词：三角法;光电位移传感器;CCD
摘要：介绍了单点式光学三角法测量物体位移的两种结构-直射式与斜射式,对两种结构的测量原理进行了深入的分析并对其各自的特点进行了阐述.以半导体激光器作为光源,CCD作为光电探测器件,采用直射式结构设计了一种光电位移传感器.分析了影响传感器分辨率,仪器测量精度的主要因素,并提出相应的优化方法.