半导体硅材料的发展现状及趋势
作者：代淑芬;
作者机构：无锡南洋职业技术学院电子工程系;
来源：无锡南洋职业技术学院论丛
ISSN：2L无
年：2008
卷：000
期：003
页码：P.30-32,37
页数：4
中图分类：TN304.12
正文语种：CHI
关键词：半导体;硅材料;发展现状;发展趋势
摘要：本文介绍了半导体硅材料的发展现状及未来发展趋势。
