目录
第一章绪论 (1)
1.1引言 (1)
1.2石墨烯的结构 (1)
1.3石墨烯的特殊性能 (2)
1.3.1电学性能 (2)
1.3.2光学性能 (3)
1.3.3热学性能 (3)
1.3.4力学特性 (3)
1.3.5比表面积 (4)
1.4石墨烯材料的发展方向 (4)
1.5本文的研究内容以及研究方向 (4)
第二章石墨烯的制备与表征方法 (7)
2.1石墨烯的制备方法 (7)
2.1.1机械剥离法 (7)
2.1.2外延生长法 (7)
2.1.3氧化还原法 (8)
2.1.4化学气相沉积法（CVD法） (9)
2.1.5液相剥离法 (10)
2.1.6溶剂热法 (10)
2.1.7小结 (11)
2.2石墨烯的表征方法 (11)
2.2.1光学显微镜 (11)
2.2.2原子力显微镜 (12)
2.2.3拉曼光谱 (13)
2.2.4扫描电子显微镜 (13)
2.2.5四探针电阻分析仪 (14)
2.2.6紫外可见近红外分光光度计 (15)
第三章CVD法制备石墨烯及其性能表征 (17)
III
3.1CVD法制备石墨烯 (17)
3.1.1CVD法制备石墨烯原理 (17)
3.1.2CVD法制备石墨烯影响因素 (17)
3.1.3CVD法石墨烯生长步骤 (18)
3.2实验步骤 (19)
3.2.1实验准备工作 (19)
3.2.2石墨烯的制备 (20)
3.2.3CVD法制备的石墨烯 (23)
3.3硅基片上溅射镀铜薄膜制备石墨烯 (27)
3.3.1基片的准备 (27)
3.3.2生长石墨烯薄膜 (28)
第四章石墨烯转移方法的研究 (31)
4.1石墨烯的转移方法 (31)
4.1.1腐蚀基底法 (31)
4.1.2电化学转移法 (32)
4.1.3热释放胶带转移 (32)
4.2腐蚀基底法转移石墨烯 (33)
4.2.1腐蚀基底法 (33)
4.2.2优化转移石墨烯方案 (36)
4.2.3结果与讨论 (41)
4.3鼓泡法转移石墨烯 (42)
4.3.1鼓泡法实验原理 (42)
4.3.2鼓泡法转移石墨烯实验 (43)
4.3.3优化实验方案转移石墨烯 (44)
4.3.4结果与讨论 (49)
4.4热释放胶带剥离法转移实验 (49)
4.5退火 (52)
4.6本章小结 (53)
第五章石墨烯/氧化锌肖特基结 (55)
5.1器件制备过程 (55)
IV
5.1.1CVD法制备石墨烯 (55)
5.1.2制备掺铝氧化锌 (56)
5.1.3制备ZnO阵列薄膜 (56)
5.2石墨烯/氧化锌肖特基结的表征 (57)
第六章总结与展望 (61)
参考文献 (63)
攻读学位期间取得的研究成果 (68)
致谢 (69)
V