微型傅里叶变换光谱仪
雷达
【期刊名称】《光机电信息》
【年(卷),期】2005(000)001
【摘要】采用硅微机械加工技术制造的高分辨率光谱仪不久将从实验室进入商品应用市场。一些基于微电子机械系统(MEMS)技术的仪器，例如由瑞士Neuchatel's Institute of Microtechnology大学开发研究的片状光栅干涉仪将会以低成本批量生产。
【总页数】1页(14)
【关键词】傅里叶变换光谱仪;干涉仪;微电子机械系统;MEMS;仪器;微型;光栅;高分辨率;低成本;批量生产
【作者】雷达
【作者单位】无
【正文语种】中文
【中图分类】TH74
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