英 文专 有 名 词PR:Purchase Request PO:Purchase Order Form LOI
PC
MCC
WGC
FMCS
TLV
inconel
TCP/IP
FDDI
DSL
CSMA/CD
HVAC
GMS
F4C
GR
FW
LO
CD
NET
EE
SD
ECP
EMO
RIO
MP
UP
EQ
TR
ETR
CTR
S
IS
ES
IES
GC
GR
VMB
VMP
VDB
VDP
SCR
VG
LAU
D
R
SEI
DMC PLC SCADA HMI
DET
Thin Film ETCH LITH CVD
EPI Implanter CMP RTA COPPER PHOTO METAL DCVD DIFF WET
PU
SEN SEX
AEX GEX
OA
EF
PDT CDA
CM
CR
DI
EL
EXH GAS PCW PWW UPW MSB SMIC MAU AHU
LOHAS
从沙子到CPU
Wafer
Photo Resist
Mask
Organization Manufacturing Department Production Management Department
Manager
Minister
section chief
Section Manager Supervisor
Line Leader
Operator
Organization Manufacturing Department Production Management Department
Manager
Minister
section chief
Section Manager Supervisor
Line Leader
Operator
TFT（Thin Film
LCD（ Liquid Crystal Display）
LED（Light Emitting Glass，substrate or glass substrate
C/F
Panel
Module
Monitor
NB
TV
Resolution
Active Area
Aperture Ratio
Black Matrix
Luminance
Gray Level
Response Time
Contrast Ratio
View Angle
Uniformity
Pixel and Dot
RGB (Red，Green，Blue) Pitch
Model
Super VGA
SXGA
SXGA＋
UXGA
Operation
Material
Standard
Yield
Quality
CIM (Computer Integration Manufacturing)
FA (Factory Automation) Entry
Exit
Precaution
Warning
Emergency
Alarm
PM (Preventive
Run
Down
E-Time
Idle
Clean room
Smock room
Particle
HEPA (High Efficient Particulate Air) filter Contamination Temperature (TEMP) Humidity
Pressure
UPW (Ultra-Pure Water) DIW (De-Ionized Water) IPA (Isopropyl Alcohol) Sticky mat
Cleanliness
ESD (Electro-static Discharge)
Alcohol
Acetone
Dust
Air shower
Prohibit
Clean suit (bunny suit，dust-free garment) Glove
Hairnet
Hood
Mask
Clean shoes (dust-free shoes，boots)
Vacuum cleaner
Dryer
Clean Wiper
AGV (Automatic Guided Vehicle)
OHS (Overhead Shuttle) OHT (Overhead Transfer) Stocker (clean depot) Battery
Bay
Controller
Conveyor
Shelf
Crane
FFU (Fan Filter Unit) Host
I/O (Input / Output)
Inter-bay
Intra-bay
IR (Infra-Red)
Retrieve
SCARA arm
Reset
Transportation
Array Line
Cell Line
Module Line
Test Line
C/F Line
Polarizer (POL)
Polarizer (POL) Backlight (B/L)
Lot
Recipe
Stock out
Request
Transfer
Instruction
Select
Cancel
Operation
Support
Process
Start
Comp
Batch
ID (Identity)
Sheet
Chip
Inspection
Defect
Production
Hold
Release
Equipment
Tool
WIP (Work In Process) Cassette
Empty
Reserve
Report
Scrap
Rework
Log on
Log off
Metal
Metal
Target
MoW (Moly-tungsten) Mo (Molybdenum)
ITO (Indium Tin Oxide) Al (Aluminum)
AlNd (Aluminum and Neodymium Alloy) Reticle or Mask Detergent
Note
LAL-50
O3 ( Ozone )
NBA (1-butyl Acetate) Resist or Photo Resist HMDS
AC-1
TMAH
Oxalic Acid (H2C2O4) DHF
ITO-Etchant
BHF
Al-Etchant
IPA
N-300
(Process) Gas
SiH4
NH3
N2O
PH3
N2
H2
NF3
Kr
Ar
O2
BCl3
SF6
He
Cl2
HCl
CF4
Equipment
Vender（Vendor）Cleaner
CVD (Chemical Vapor Deposition)
Sputter
Stripper
Coater
Pre-bake
Stepper
Exposure
Backside-Exposure Titler
Edge Remover
Edge Exposure Developer
Hard bake
Etcher
Wet Etch
Dry Etch
Plasma
RIE (Reactive ion etching) PE (Plasma Etch)
ICP (Inductive Coupled Plasma)
O3 Asher
Tester
Anneal
AMSR (Sheet Resistance) ATOS (Open/Short Tester) ATTG (TEG Tester or TFT Device Measurement) ATAR (Array Tester) ALSR (Laser Repair) ANNI (Anneal Oven) AMGI (Particle Counter) AMOR; AMKL (Pattern Inspection)
AMSP (Surface Profiler) AMOV (CD/Overlay) AMSH (Microscope) AMEL; AMOT (Film Thickness)
AMVI (Visual Inspection) CJ
MS
Spin
Chamber
Load Lock简称LL
Heat
Cool
Probe
Spec
Pin-Hol
PEP (photo engraving process)
MI
MII
a-Si (amorphous silicon) n+ (或n+a-Si)
SiON (应写为 SiOxNy 因O，N的比例不一定)
SiNx (x为 Si 与N的比例) Brush
Vent
Cleaning
Purge
Rinse
Veri-Code
Deposition
Vacuum
Uniformity
Etching Rate
Inspection
Coating
Alignment
CD (critical dimension) Overlay
Cure
Bake
PI (polyimide)
Detergent
γ- Butyrolactone
Label
Attach
Rubbing cloth
PS (Photo Spacer) Transfer 或 Conductive Paste 或 Ag paste
UV sealant
Polyfron
LC (Liquid Crystal) Polarizer
CDA (Compressed Dry Air) Seal
Spacer 或 MP (Micro Control box
Valve
Breaker
Clean booth
FEOL (Front End of Line) BEOL (Back End of Line) Scribe (1st scribe，2nd scribe)
Break (1st break，2nd
PI Post-bake
Rubbing
Grind
Seal Pattern，Seal
Spacer Sprayer
End Seal
Alignment
Seal Pre-bake
Vacuum Anneal
Injection
Cell
Backlight
Visual inspection
Bezel
Driver IC
Soldering
Assembly
Aging
Packing
Screw
Tape
FPC (Flexible Printed
PCB (Printed Circuit
TAB (Tape Automated Bonding)
OLB (Outer Lead Bonding) ILB (Inner Lead Bonding) COG (Chip on Glass)
TCP (Tape Carrier Package ACF (Anisotropic Conductive Film)
W/S
E/S
P/P
BOM
Part List
Chromaticity
Color Gamut
Brightness
CR
Crosstalk
Chromaticity
Color Gamut
Brightness
CR
Crosstalk
Flicker
ECN
PCN
SPC
Sigma (σ)
OJT
Sampling
Sampling Plan
MRB
UAI
LRR
Supplier
FG-CODE
AQL
CAR
Line Patrol
NCR
Workmanship
CS
DOA (Defect)
Field Defect
Epidemic Failure RMA
RM
Warranty
In-warranty
Out of Warranty
Out of Warranty TAT
Quality Control IQC
IPQC
OQC
Waive
CAR
MURA
X/Y Block
IDD
Data Loss
DDC
Wave
Common Short Data Open
Zaratsuki
Gate Open
ESD
Flicker
X-Talk
(Cross-Talk)
DG Short Pattern
Cell Gap 不良Stain
Scratch
Crack
Cross Talk Pattern
Open
Pixel Defect Remain
中文说明
采购申请单,公司内部使用;
采购订单,公司对外使用。Purposive:有目的的,故意的
LETTER OF INTENT 采购意向书
Power Center 柜电源配电柜
Motor Control Center 柜电动机控制中心柜
值班室
Facility Monitoring Control System 工厂设备监控系统/厂务监控系统/Facility
threshold limit value
高镍耐腐蚀耐高温合金镍铬合金,在高温下具有良好的抗氧化性、抗腐蚀性。应用范围包括熔炉部件、化学和食物加工以及核工业
TCP/IP（Transmission Control Protocol/Internet Protocol)的简写，中文译名为传输控制协议/因特网互联协议，又叫网络通讯协议，这个协议是Internet最基本的协议、Internet国际互联网络的基础，简单地说，就是由网络层的IP协议和传输层的TCP协议组成的。
Fiber Distributed Data Interface缩写，光纤分布式数据接口
Digital Subscriber Line 数字用户回路；ADSL（非对称用户数字线）
载波侦听多路访问／冲突检测（Carrier Sense Multiple Access with Collision Detection，Heating, Ventilating and Air Conditioning 采暖通风与空调
Gas Monitoring System
FAB4C
Gas Room
Framework or Architecture
Layout
Circuit Diagram
Network
Eletricity
Single Line Diagram
Electronic Control Panel
Emergent Manual Operation Panel
Remote Input & Output Panel
Main Power Panel
UPS Power Panel
Equipment
Tray
Eletricity Tray
Communication Tray
Source
Input & Output Signal Source
Power Source
IO & Power Source
Gas Cabinet
Gas Rack
VALVE MANIFOLD BOX
VALVE MANIFOLD PANEL
VALVE DISTRIBUTING BOX
VALVE DISTRIBUTING PANEL
Scrubber
Vacuum Gauge
Location Alarm Unit
Drager
RIKEN
Seismometer
Data Manager Control Dedicated Module Controller (DMC) Program Logic Control
Supervisory Control And Data Acquisition / 管理控制和数据获得Human Machine Interface
Detector
薄膜式蒸发
Etching 蚀刻版画, 蚀刻术, 铜版画
Lithography 平版印刷术
沉积
离子注入掺杂
铜
光刻黄光
金属
DIFFUSSION 漫射, 扩散，炉管
wetteroff (玻璃制品制做过程中的)打口工
蒸镀
分析
酸性通风管路
碱性通风管路
一般通风管路
Outside Air Duct 新风
Exhaust Fan / 排风扇
压力传感器
Clean Dryer Air Supply System
Chemical Supply System
Clean Room
DEIONIZED WATER SYSTEM
EXHAUST
气体
Process Cooling Water System
Process Waste Water System
超纯水
Most Significant Bit
Semiconductor Manufacturing International Corporation
Makeup Air Unit
Air Handler Unit
Lifestyles of health and sustainability的头一个字母组成,是指一种重视环境和健康,崇尚可持https://www.doczj.com/doc/b04112364.html,/1/139/139076.htm
晶圆
光刻胶
掩模
组织
制造部
生产管理部
经理
部长
科长
助理（公司中称为主任）
管理者
组长
作业员
组织
制造部
生产管理部
经理
部长
科长
助理（公司中称为主任）
管理者
组长
作业员
薄膜晶体管，一般代指薄膜液晶显示器
用电场、磁场等外部影响，改变液晶分子排列，改变液晶分子结构的光学特性后，利用其明暗效果的显示元件
发光二极管，是一种固态的半导体器件，它可以直接把电转化为光
玻璃基板，缩写GLS
Color Filter的简称，制造Color 液晶显示元件时使用的主要原材料，指按一定的顺序排列了Red，Green，Blue像素的薄膜
面板，缩写PNL，常指独立的液晶屏幕
模组，指后段组装制程
监视器，显示器
Notebook的简称，笔记本电脑
Television的简称，电视机
分辨率，解析度
有效显示区，即可显示文字图形的总面积
开口率，即每个像素可透光的有效区域除以像素的总面积，开口率越高，整体画面越亮
黑矩阵，用来遮住R、G、B 各Pixel 间之空隙，可大幅减少LCD光点间彼此干扰所产生的光明亮度，指产品本身的可见亮度
灰度，用黑色调表示物体 每个灰度对象都具有从 0%（白色）到 100%（黑色）的亮度值响应时间，液晶由暗转亮（Rising ）或者是由亮转暗（ Falling）的反应时间，分别为上升
对比度，白色画面(最亮时)下的亮度除以黑色画面(最暗时)下的亮度
视角，面对屏幕，往其上、下、左、右四方观测，调整此屏幕直到其无法由此四方看到屏幕画面之角度
均匀度 ，画面的均匀度
Pixel 是Picture Element的简称，Color Filter Stripe上的3个R、G、B Dot统称为单位像素，Dot （or Sub-pixel）指上述R、G、B 的各个像素
指红、绿、蓝三原色
尺寸
型号
显示器之显像分辨率单位 ，其横向扫描线数目为600条，纵向画素为800 颗
显示器之显像分辨率单位 ，其横向扫描线数目为800条，纵向画素为1400 颗
显示器之显像分辨率单位 ，其横向扫描线数目为1020条，纵向画素为1400 颗
显示器之显像分辨率单位，其横向扫描线数目为1400条，纵向画素为1600 颗
活动，操作
材料，物料
标准（指作业标准或品质指标）
良品率
品质，质量
电脑整合制造系统（指以电脑系统整合制造流程）
工厂自动化
入口
出口
预防措施
警告
紧急（常用在设备的紧急按钮处）
警报
预防保养
运行
停机（一般为设备故障原因）
Engineer 测试时间
空闲，闲置
洁净室
更衣室，出入Clean Room 换着Smock的场所
微粒子，是大气灰尘及装备/DI Water产生的污染物质等的总称，通常指大小在0001~1000um
高效能粒子空气过滤网
污染
温度
湿度
压力
超纯水（产线内较少使用）
去离子水（如更衣室等处使用）
异丙醇（擦设备或地板使用，有一定腐蚀作用，在去光阻制程中亦用来清除玻璃基板上的有机残留物）
脚踏粘垫
洁净度
静电破坏
酒精
丙酮
灰尘
气浴室（风淋间）
禁止
无尘衣
手套
网帽
头罩
口罩
无尘鞋
真空吸尘器
烘干机
无尘布
自动搬运车
轨道行走的天车
吊行的天车
物料存储系统，现行Line为放Cassette(盒子)的暂存区，缩写为STK
电池
作业区（区域）
控制器
输送带
Stocker内存储CST的位置
搬运车（在Stocker內）
风扇过滤单元
主机
输入/输出
作业区和作业区之间
作业区之内
红外线
【电脑】检索，截取(资料)
AGV之传送手臂
重新设定，重启
传输
阵列产线，为进行Thin Film、Photo、Etch工艺的生产Line是Array Line，主要制造Glass上面TFT (Thin Film Transistor) 结构
成盒产线，进行PI Coating、Rubbing、Filling、Seal/TR印刷工艺等生产Line是Cell Line，主要生产 TFT-LCD Cell状态产品的过程
模块产线，是用TCP (Tape Carrier Package) 将PCB与CELL进行连接，并使用BEZEL进行组装的Ass’y 工艺等的生产Line ，是生产TFT Module产品的过程
检测产线，对Array Line各层及Cell Line各工序不良产生及稳定性检验的系统产线，起不良反彩膜产线，制造Color 液晶显示器时使用的主要原材料生产线，指按一定的顺序排列了Red，Green，Blue像素的薄膜
将入射光分为2个直交的偏光，透射其中特定方向的光线，吸收或分散别的光线后，将透射光
偏振光的高分子Film
为了给 LCD提供光源，在Panel后部组装的发光部件，有EL，LED，CCFL 等
以一定的目的捆绑为一个单位的状态制造工艺上考虑作业时间及库存等情况后决定最佳的 Lot Size，并使用
程式，制程参数
将Cassette 取出
请求，要求
传送，运送
命令，指令
选择
取消
作业，操作
支援
工艺，制程
开始
Completion 的缩写，意指完成
批量
识别码(如Lot ID or Chip ID)
片(Array 区玻璃基版计数单位)
片(Cell 区玻璃计数单位)
检验
不良，缺陷，Line内应用时指制程不良等
生产
留置在当前工序（如有品质问题时或以示区分时）
将Hold 住的产品释出，放行
设备（简称为EQP）
工具
在工，在制品（制程在制品）
装在制品的盒子
空的，清空
预约
报告
报废，废弃处理
返工，修复后再工艺
登录
退出
金属
金属
靶、目标
钨化钼
钼
铟锡氧化物
铝
铝和钕的合金以上皆为溅镀机金属靶的材料之一
光罩
界面活性剂的一种
注解
含NH4F与HF，为清洗机用来清洗玻璃表面氧化层的化学溶液
臭氧，主要为各制程用来清除有机物的污染或残留
乙酸正丁酯，主要用来清洗旋转涂布光阻时残留在玻璃边缘的光阻液
光阻（简称PR）
Hexamethyldisilazane的简写，为一种化学中间体，用以增加光阻涂布时对晶片表面之附着力带静电防止剂（ESD-Preventer），在上光阻机內使用，防止静电产生，破坏玻璃元件
Tetra-Methyl Ammonium Hydroxide 的简写，为厂內所使用的显影液
草酸，湿蚀刻机中用来蚀刻5PEP中的a-ITO 膜
成份为49%氢氟酸HF，主要为湿蚀刻机中用来蚀刻7PEP 中的SiNx 膜
成份中含盐酸HCl 及硝酸HNO3，主要用来蚀刻7PEP 中的Poly-ITO
成份中含氟化铵NH4F 及HF，主要用来蚀刻7PEP中的SiON
成份中含乙酸CH3COOH、磷酸H3PO4 及硝酸HNO3，主要用来蚀刻Mo/Al/Mo 的沉积层
异丙醇 Isopropyl Alcohol 的简称，主要用来作为设备擦拭液，在去光阻制程中亦用来清除玻璃基板上的有机残留物（如光阻或去光阻液）
去光阻液，N-300 为厂商型号，成份为单乙醇铵与单丁醚的混合物
(制程)气体…目前大多数种类的气体，多为提供CVD，Sputter 及干蚀刻电浆源之用
矽甲烷……制程气体（洩漏有爆炸危险）
氨……制程气体
笑气……制程气体
磷化氢……制程气体
氮气……制程气体，常用为破真空Vent 或吹干的媒介
氢气……制程气体
氟化氮……制程气体，常用为清除CVD 反应室壁沉积矽Si 媒介
氪气……制程气体，用来轰击溅镀机上的金属靶
氩气……制程气体，用来轰击溅镀机上的金属靶或常用为加热设备的热传媒介
常用来作电浆的基本组成
氯化硼……制程气体，在干蚀刻中用以作为蚀刻AlNd 的电浆源
氟化硫……制程气体，常用的主要干蚀刻电浆源以为提供蚀刻主原料氟的来源
氦气……制程气体，混合在其它制程气体中，共同形成电浆源，使电浆组成分布均勻
氯气……制程气体
氯化氢……制程气体，刻蚀n+时的电浆源之一
四氟化碳……制程气体，常用的主要干蚀刻电浆源以为提供蚀刻主原料氟的来源
机台(仪器)
厂商，供货商
清洗机
化学气相沉积
溅镀机
去光阻机
上光阻机
预烘
步进式曝光机
曝光
背面曝光
刻号机，Line内显影机具有此功能，将玻璃基板的Chip ID、Glass ID 及Veri-Code 曝出，以简称ER，指在旋转涂布光阻后，用NBA 洗淨残留在玻璃边缘的光阻
边缘曝光，指在显影前将玻璃基板边缘光阻较厚的部分再曝光，以防曝光量不足，造成光阻在显影后残留
显影机
硬烤
蚀刻机
湿法刻蚀（通常为药液刻蚀），Line内多称为湿刻
干法刻蚀（通常为气体刻蚀），Line内多称为干刻
电浆
反应性离子蚀刻
电浆蚀刻机
电感偶式电浆蚀刻机
为去光阻机的模组之一，用来去除制程的有机残留
测试机
退火
AMSR (Sheet Resistance)
断短路测试机
TFT的电性测试设备
Array Defect 的测试设备
激光修复机
退火设备
微粒子侦测，侦测玻璃表面微粒子数目及大小分布
图案或线路检验设备; 主要在检视沉积膜后、曝光后、蚀刻后及去光阻后表面的线路图案检查(前者简称 Orbo，后者简称KLA)
表面轮廓检查机，测量线路图案的高低分布狀況，亦可借此求得蚀刻速率(简称KLA-Tencor)量测设备用以测量关键线宽CD，及借量测Box重叠狀況来检视Stepper的精度
高倍显微鏡，主要在检视曝光后、蚀刻后及去光阻后表面的线路图案检查(简称Olympus)
膜厚量测仪(前者简称Sopra，后者简称Nano)
目视检查机，Array段制程的最后出货前检查
指高压水洗
指超音波水洗
旋转（如Spin Dryer：高速旋干器）
反应室（如CVD，Sputter或干法蚀刻）
闭锁，为大气进入真空或真空进入大气的媒介
加热
冷却
（测试机的）探针
制程的品质标准
针点小凹陷
完成一次黃光制程叫做一个PEP
第一次沉积的（栅极）金属膜如MoW
第二次沉积的（源极和漏极）金属膜如MoAlMo
非结晶矽，TFT沉积层之一
掺杂磷的非结晶矽，TFT沉积层之一