真空泵选型 真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到最佳配置，选择真空系统时，应考虑下述各点： 确定工作真空范围: ----首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，必须认真研究确定之。 确定极限真空度 ----在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的最佳工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的极限真空度低50%。 被抽气体种类与抽气量 检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。 真空容积 检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。 考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。 主真空泵的选择计算 S=2.303V/tLog(P1/P2) 其中： S为真空泵抽气速率(L/s) V为真空室容积（L） t为达到要求真空度所需时间(s)
P1为初始真空度(Torr) P2为要求真空度(Torr) 例如： V=500L t=30s P1=760Torr P2=50Torr 则: S=2.303V/t Log(P1/P2) =2.303x500/30xLog(760/50) =35.4L/s 当然上式只是理论计算结果，还有若干变量因素未考虑进去，如管道流阻、泄漏、过滤器的流阻、被抽气体温度等。实际上还应当将安全系数考虑在内。目前工业中应用最多的是水环式真空泵和旋片式真空泵等 一般的要求是： 1、真空度、真空容积、主要介质、温度、主要容积类设备。 2、真空流入介质及流量、压力、温度、规律。 3、抽气量、抽出气体介质、温度。 4、真空设备的占地面积、自动化程度、真空管道规格 选用真空泵时需要注意事项： 1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。 2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
真空度单位换算表 真空表读数与真空度换算 ◇真空度用“绝对真空度”、“ 绝对压力” ，即比“ 理论真空” 高多少压力标识；" 绝对真空度 " 是指被测对象的实际压力值。在实际情况中，真空泵的绝对压力值介于 0 ～ 101.325KPa 之间。绝对压力值需用绝对压力仪表测量，在 20℃，海拔高度= 0 的地方，用于测量真空度的仪表 (绝对真空表)的初始值为 101325Pa( 即一个标准大气压) 。 ◇真空度用“ 相对真空度” 、“ 相对压力”，即比“ 大气压” 低多少压力来标识；" 相对真空度 " 是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值。用普通真空表可测量。在没有真空的状态下，表的初始值为 0 ，当测量真空时，它的值介于 0 到-101325Pa （即-0.1MPa)之间。真空表上“0” 表示正一个大气压即101325Pa , “-0.1” 表示绝对真空（即为0）。真空表上的指示值不表示真空度的绝对值，只表示了真空度的相对值。 ◇真空度的绝对值与相对值可用下式换算：P≈100000 ×（1－Φ/0.1 ）P a ；Φ为真空表的读数示值的绝对数。 ◇真空表的读数示值为 0，则P≈100000×（1-0/0.1 ）=10000Pa 为 1 个大气压。 ◇真空表的读数示值为 0.1，则P≈1100000× （1-0.1/0.1） = 0 Pa 为绝对真空。 ◇真空表的读数示值为 0.075，则P≈100000×（1-0.075/0.1）= 25000 Pa。 ◇真空表的读数示值为 0.08，则P≈100000×（1-0.08/0.1）= 20000 Pa。 ◇真空表的读数示值为 0.09，则P≈100000×（1-0.09/0.1）= 10000 Pa。 ◇真空表的读数示值为 0.095，则P≈100000×（1-0.095/0.1）= 5000 Pa。 ◇真空表的读数示值为 0.097，则P≈100000×（1-0.097/0.1）= 3000 Pa。 ◇真空表的读数示值为 685mmHg，则P≈100000×（1-685/760）= 10000 Pa。 ◇真空表的读数示值为 700mmHg，则P≈100000×（1-700/760）= 8000 Pa。
常用真空单位换算表 1标准大气压=760毫米汞柱=76厘米汞柱=1.013×10^5帕斯卡=10.336米水柱 公斤不是单位，一般我们通常说的，事实上是一种非标准单位，名称叫：公斤力/平方厘米[Kgf/cm^2]1标准大气压=0.1MPa[兆帕]=101KPa=[千帕]左右=1bar[巴]=760mmHg（毫米汞柱）=14.696磅/英寸2(psi)≈1工程大气压 ≈1Kgf/cm^2[千克力/平方厘米] 千克：是质量单位，千克力：是作用在单位体积上一千克的力一个标准大气压一般约等于101千帕即0.1兆帕，约等于一工程大气压约等于一千克力每平方厘米工程大气压是比标准大气压小一点的1物理大气压＝1标准大气压(atm) 为什么会多一个工程大气压我也不清楚但是工程大气压通常按千克力等，用一种质量作用力对单位面积获得的压强。而标准大气压(atm)则为标准的大气压强，比工程大气压精确，但他们是约等于的。没必要那么精确，除非你是在某些特定领域使用 饱和水蒸汽的压力与温度的关系( 摘自范仲元: "水和水蒸气热力性质图表 " p4～10 )
真空计算常用公式 1、玻义尔定律 体积V，压强P，P·V＝常数（一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。 即P1/P2＝V2/V1） 2、盖·吕萨克定律 当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V与绝对温度T成正比：（V1/V2＝T1/T2＝常数）当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高(或P降低)1℃，则它的体积比原来增加(或缩小)1/273。3、查理定律 当气体的体积V保持不变，一定质量的气体，压强P与其他绝对温度T成正比，即：P1/P2＝T1/T2在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高(或降低)1℃，它的压强比原来增加(或减少)1/273。 4、平均自由程： λ＝(5×10-3)/P (cm) 5、抽速： S＝dv/dt (升/秒)或S＝Q/P Q＝流量(托·升/秒) P＝压强(托)V＝体积(升) t＝时间(秒) 6、通导：C＝Q/(P2-P1) (升/秒) 7、真空抽气时间： 对于从大气压到1托抽气时间计算式：t＝8V/S (经验公式) （V为体积，S为抽气速率，通常t在5~10分钟内选择。） 8、维持泵选择： S维＝S前/10 9、扩散泵抽速估算： S＝3D2 (D＝直径cm）
密闭容器内真空度随抽气时间的变化曲线 真空泵对密闭容器抽真空时，容器内部真空度的提高与抽气时间的函数关系如下： 式中：P为容器内的压力（即：绝对真空度）；t为自变量，是抽气时间 K 3 为泵的极限真空度值，K 1 、K 2 为与泵、容器大小、环境压力等相关的常数。 函数曲线示意图如下： 由此可以看出，在抽气初期，容器内压力下降（即：真空度的提高）很快，而后呈指数关系衰减，越来越慢，并无限逼近泵的极限真空度值。 如果您想知道经过多长的抽气时间才能达到您指定的真空度值，可以点击计算工具帮您作理论计算。理论计算值仅供参考！ 特别说明：根据我公司产品，计算公式作了简化，若用于计算其它品牌的真空泵出现的错误我们不负任何责任。 真空泵抽气量/抽气速度粗略计算公式 发表时间：2013-04-02 18:30 文章出处：广州市浩雄泵业有限公司编辑：admin点击 2205次收藏 导读：Q=(V/T)×ln(P0/P1)其中：Q为真空泵抽气量(L/s)。V为真空室容积，单位为升(L)。T为达到要求绝对压强所需时间，单位为秒(S)。P0为被抽容积内部的初始压强。P1为要求达到的绝对压强，单位为帕(Pa)。 抽气量即为抽气速度，是真空泵的重要参数之一。单位一般式L/S或m^3/h。选型时，若选抽气量太小的泵，会因为漏气等系列因素导致无法达到预期的真空度;若抽气量选择太大又因功耗太大不经济。因此，合理选择真空泵的抽泣量非常重要。下面简单介绍真空泵抽气量粗略计算公式：
Q=(V/T)×ln(P0/P1) 其中：Q为真空泵抽气量(L/s)。 V为真空室容积，单位为升(L)。 T为达到要求绝对压强所需时间，单位为秒(S)。 P0为被抽容积内部的初始压强，即一个大气压强。计算时应根据当地海拔值(点此查看不同海拔地区的大气压值)计算，沿海地区一般都取101325。单位为帕(Pa)，也可以为托或毫米汞柱。 P1为要求达到的绝对压强，单位为帕(Pa)，也可以为托或毫米汞柱。所谓绝对压强是以绝对零压作起点所计算的压强称绝对压强，通常所指的大气压强为101325帕，就是大气的绝对压强。当密封腔内部被抽走部分气体后，这个数值会下降，其反映出设备内压强的实际数值。水环式真空泵的绝对压强值为3300Pa，旋片式真空泵最高为0.06-10Pa之间。 以上公式都是粗略计算的，一般都忽略了外界因素(如循环水温度、海拔、供电电压、工作范围值等)对真空泵的效率。实际选型时要在以上计算出的抽气量的基础上加一定的安全值。 附：真空泵常见单位换算公式
字体大小：大- 中- 小dgbowei17发表于11-02-15 11:15 阅读(227) 评论(0)分类：产品展示 真空表读数与真空度换算 ◇真空度用“绝对真空度”、“ 绝对压力” ，即比“ 理论真空” 高多少压力标识；" 绝对真空度" 是指被测对象的实际压力值。在实际情况中，真空泵的绝对压力值介于0 ～101.325KPa 之间。绝对压力值需用绝对压力仪表测量，在20℃，海拔高度= 0 的地方，用于测量真空度的仪表(绝对真空表)的初始值为101325Pa( 即一个标准大气压) 。 ◇真空度用“ 相对真空度” 、“ 相对压力”，即比“ 大气压” 低多少压力来标识；" 相对真空度" 是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值。用普通真空表可测量。在没有真空的状态下，表的初始值为0 ，当测量真空时，它的值介于0 到-101325Pa （即-0.1MPa)之间。真空表上“0” 表示正一个大气压即101325Pa , “-0.1” 表示绝对真空（即为0）。真空表上的指示值不表示真空度的绝对值，只表示了真空度的相对值。 ◇真空度的绝对值与相对值可用下式换算：P≈100000 ×（1－Φ/0.1 ）P a ；Φ为真空表的读数示值的绝对数。 ◇真空表的读数示值为0，则P≈100000× （1-0/0.1 ）=10000Pa 为 1 个大气压。 ◇真空表的读数示值为0.1，则P≈1100000× （1-0.1/0.1）= 0 Pa 为绝对真空。 ◇真空表的读数示值为0.075，则P≈100000×（1-0.075/0.1）= 25000 Pa。 ◇真空表的读数示值为0.08，则P≈100000×（1-0.08/0.1）= 20000 Pa。 ◇真空表的读数示值为0.09，则P≈100000×（1-0.09/0.1）= 10000 Pa。 ◇真空表的读数示值为0.095，则P≈100000×（1-0.095/0.1）= 5000 Pa。 ◇真空表的读数示值为0.097，则P≈100000×（1-0.097/0.1）= 3000 Pa。
绝对压力是相对于真空来说的，表压是实际压力减去大气压后显示的压力，真空是一特定空间内部部分物质被排出，使其压力小于一个标准大气压，如果有真空压力表，则压力表显示为-1---0bar，-1bar为绝对真空。 简单的说，绝对压力=表压+一个标准大气压（约1bar），工业应用来说，测量的压力大部分为表压，很少会用到绝对压力。 绝对真空下的压力称为绝对零压，以绝对零压为基准来表示的压力叫绝对压力。测量流体压力用的压力表的读数叫表压，它是流体绝对压力与该处大气压力的差值。 如果被测流体的绝对压力低于大气压，则压力表所测得的压力为负压，其值称为真空度。 绝对压力包围在地球表面一层很厚的大气层对地球表面或表面物体所造成的 压力称为大气压，符号为B；直接作用于容器或物体表面的压力，称为绝对压力，绝对压力值以绝对真空作为起点，符号为PABS(ABS为下标)。用压力表、真空表、U形管等仪器测出来的压力叫表 绝对压力 包围在地球表面一层很厚的大气层对地球表面或表面物体所造成的压力称为“大气压”，符号为B；直接作用于容器或物体表面的压力，称为“绝对压力”，绝对压力值以绝对真空作为起点，符号为PABS(ABS为下标)。 用压力表、真空表、U形管等仪器测出来的压力叫“表压力”(又叫相对压力)，“表压力”以大气压力为起点，符号为Pg。 三者之间的关系是：PABS(绝对压力) = B（大气压0.1Mpa） + Pg（表压力）(ABS为下标) 压力的法定单位是帕(Pa)，大一些单位是兆帕(MPa)=106Pa 1标准大气压 = 0.1013MPa 在旧的单位制中，压力用kgf/cm2(公斤/平方厘米)作单位，1 kgf/cm2=0.098MPa 表压(相对压力)单位:MPa(G) 绝对压力单位：MPa(A) 绝对压力量测使用的压力仪表叫做绝压表,在大气中,不加任何压力时,仪表指示仪表所在地的大气压(此为变量,根据仪表所在地的海拔决定指示的数值,当压力值为绝对真空时仪表的读数为零.绝对压力不存在负值. 派尔耐生产的P-Z 数字绝压表能够量测1010mbar~1mbar的绝压 派尔耐生产的 P-HV-55高真空计能够量测1*103mbar～1.0×10-3mbar的绝压
真空单位换算表 真空度单位换算表 Pa Torr/mmHg in.Hg mbar psi atm pa17.50×10-3 2.90×10-4 1.00×10-2 1.45×10-49.87×10-6 Torr/mmHg 1.33×1021 3.94×10-2 1.33 1.93×10-3 1.31×10-3 in.Hg 3.39×103 2.54×101 3.38×10 4.91×10-1 3.34×10-2 mbar 1.00×1027.50×10-1 2.95×10-21 1.45×10-29.87×10-4 psi 6.89×103 5.17×10 2.04 6.89×101 6.80×10-2 atm 1.01×1057.60×102 2.99×10 1.01×103 1.47×101 流导与漏率单位换算表 Pa.m3/s Mbar.l/s Torr.l/s Atm.cm3/s sccm Pa.m3/s1107.59.87592 Mbar.l/s0.110.750.987 5.92 Torr.l/s0.133 1.331 1.3278.9 Atm.cm3/s0.101 1.010.76160 sccm 1.69×10-3 1.69×10-2 1.27×10-2 1.67×10-21 真空表读数与真空度的换算 P≈100000×（1-?/0.1）pa,?为真空表的读数示值的绝对值： 真空表的读数示值为-0.075，则P≈100000×（1-0.075/0.1）=25000pa 真空表的读数示值为-700mmHg,则P≈100000×（1-700/760）=8000pa 抽速单位换算表 L/s M3/s Cft/min L/s1 3.60 2.12 M3/s0.2810.59 Cft/min0.47 1.691 20℃空气中不同压力下的分子平均自由程λ P（Torr）110-310-410-510-610-9 λ(cm) 4.72×10-3 4.7247.24724720 4.72×106 不同压强下空气分子密度n0 P（Torr）110-310-410-510-610-9 n0(cm)4×10164×10134×10124×10114×10104×107 温度单位换算表 K℃F K1℃+273.155/9（F+459.67） ℃K-273.1515/9（F-32） F9/5K-459.679/5℃+321
Pa帕11000bar巴kgf/cm2atm 0.0 010.9 8690.9678at 0.001Torr 0.0075mm H2OmmHg 0.10197Psi1 Pa帕1 bar巴1 kgf/cm21 atm 0.0 010.0 0111.0 197210.0 0750.0 00141.0 .0 6210.1 972750.0 6214.5 041735.6 10.0 00735.6 14.2
1 / 10 298066.5 0.9 251.01325标准大气压1 at 980670.98067工程大气压1 Torr托H2O 1mm 133.3 1.0 .3 .7 10.9 .6 10.0 00735.6 14.2 20.0 01330.0 01360.0 01320.0 .6 10.0 19349.8
0670.0 2 / 10 0980.0 0010.0 09680.0001毫米水柱1 mmHg 133.3 220.0 01330.00136毫米汞柱1 Psi磅/寸20.0 735610.0 73560.0 01420.0 01320.0 .5 95110.0 .7 60.0 68950.0 70310.0 68050.0 703151.7
149703.0 751.71491注： 3 / 10 毫米水柱是指4摄氏度状态的水柱高度，毫米汞柱是指0摄氏度状态的水柱高度。 压力单位换算表单位PaKPaMPabarmbarkgf/cmH2O 10.2× 1.02×10Pa110-3-2mmH2OmmHgp.s.i 101.97× 7.5× 0.15×10-310-610- 51010.2×-63-210-310-3KPa103110-310-210- 310.2 101.9 77.5 0.15MPa 4101.97× 103310.2 1.02× 107.5× 100.15×1033barmbar102510-1210-4-
仪器内校作业指导 1、目的 为确保测量仪器的准确性，减少因量具误差导致产品品质异常，规范校验仪器程序。2、范围 适用于我司所有量测仪器的内部校验作业 3、过程内容 3.1 制定校验计划，校验周期为一年。 3.2 统计： 3.2.1 由品管部发文至各部门，含：生产部、工程部、业务部、技术部、仓库等，通知具体校验时间。 3.2.2 各部门收到通知后一个工作日内将本部门量具统计，填写《部量具统计表》交品管部。 3.3量较 3.3.1钢卷尺量校： 3.3.1.1 目视卷尺外观，有无破损。 3.3.1.2 拉出卷尺，检查卷尺有无生锈、变形、污染。 3.3.1.3 检查卷尺端头是否完好，端头有无断损、缺失。 3.3.1.4 检查卷尺挂钩有无变形，活动间隙是否过大。 3.3.1.5 取出经外校标准钢卷尺，将“零”刻度一端固定于一平面台面一端。 3.3.1.6 用被检卷尺“零”刻度对准标准卷尺零刻度，观察每个刻度是否都对齐。 3.3.1.7 分别取3个以上距离读数。 3.3.1.8 将量取数值记录于《内校记录表》。 3.3.1.9 将卷尺编号、使用者部门、名称、厂牌编号等信息记录在《内校记录表》上。 3.3.1.10 依据《内校记录表》之记录，填写《量具内校校验报告》及《量测仪器设备履 历表》。 3.3.1.11 卷尺读数允许误差为±0.2mm。 3.3.1.12 将卷尺内校之结果判定，并依判定之结果填写“合格”、“不合格”、“报废” 标签，并粘贴于被校卷尺上。 3.3.1.13 卷尺挂钩易变形，影响读数值，可由使用者自校，具体做法为：取一标准配件，
以100mm处与配件一端对齐，测量配件标准长度，并记录。然后用挂钩挂住配件一端测长度。如读数比记录长度小，则用手钳将挂钩下端向外折；如读数比记录长度大，则将挂钩下端向内折……直至测出读数与记录读数相符. 3.3.2 卡尺校验： 3.3.2.1 依《部量具统计表》将卡尺编号、使用者名字、部门记录于《内校记录表》。 3.3.2.2 目视卡尺外观，检验卡尺有无变形、损坏、有无缺少配件。 3.3.2.3 将卡尺合拢，目视卡尺主、副卡“0”刻度是否对齐。 3.3.2.4 将卡尺合拢，迎光观察，主、副卡卡口合拢后有无缝隙、变形。 3.3.2.5 将主、副卡拉开，用手轻轻晃动主卡，观察间隙是否过大。 3.3.2.6 取出外校标准量块，用卡尺测量量块，读取读数并记录于《内校记录表》。备 注：①卡尺卡口与量块呈45°角，轻轻卡紧，读取数值。②内校时卡尺所有卡口 必须全部检测。 3.3.2.7 卡尺校验至少测3个以上数值。 3.3.2.8 卡尺读数允许误差±0.2mm。 3.3.2.9 将检校结果记录于《内校记录表》，依《内校记录表》之记录填写《量具内校 报告》及《量测仪器设备履历表》。 3.3.2.10 依校验结果判定卡尺状况：“合格”“不合格”“报废”，并将结果填写相应标 签，粘贴在卡尺上。 3.3.3电子磅称校验： 3.3.3.1 依《部量具统计表》将磅称厂商牌号、使用者姓名、部门记录于《内校记 录表》并编号。 3.3.3.2 目视磅称、电子称外观有无损坏、变形、缺少配件。 3.3.3.3 调整称具四个支点，确保支点着地、称具平衡，将称具归零，如不能归零则判 定为不合格。 3.3.3.4 用镊子取出外校标准砝码，在称具上称重，记录读数值，并记录于《内校记录表》。 3.3.3.5 校验称具，至少检测5组以上砝码。 3.3.3.6 允许误差：电子称30kg内，±1.5g；磅称：31 kg～100kg，±15g，101kg～ 1000kg±150g。 3.3.3.7 依《内校记录表》填写《量具内校报告》及《量测仪器设备履历表》。
真空概念及真空计算公式 1、真空的定义 真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态 2、真空度 处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。 3、真空度单位 通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。 1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱 4、托与帕的转换 1托＝133.322帕或1帕＝7.5×10-3托 5、平均自由程 作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。 6、流量 单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。
7、流导 表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。 符号记作“U”。U＝Q/(P2- P1) 8、压力或压强 气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。 9、标准大气压 压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。 10、极限真空 真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。 11、抽气速率 在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即Sp＝Q/（P－P0） 12、热偶真空计 利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
13、电离真空计（又收热阴极电离计） 由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。 14、复合真空计 由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。 15、冷阴极电离计 阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。 16、电阻真空计 利用加热元件的电阻与温度有关，元件的温度又与气体传导有关的原理，通过电桥电路来测量真空度的真空计。 17、麦克劳真空计（压缩式真空计） 将待测的气体用汞（或油）压缩到一极小体积，然后比较开管和闭管的液柱差，利用玻义尔定律直接算出气体压强的一种绝对真空计。 18、B－A规 这是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离规。收集极是一根细丝，放在栅网中心，灯丝放在栅网外面，因而减少软X射线影响，延伸测量下限，可测超高真空。
“真空度”顾名思义就是真空的程度。是真空泵、微型真空泵、微型气泵、微型抽气泵、微型抽气打气泵等抽真空设备的一个主要参数。 所谓“真空“，是指在给定的空间内，压强低于101325帕斯卡(也即一个标准大气压强约101KPa)的气体状态。 在真空状态下，气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示，显然，该压力值越小则表示气体越稀薄。 对于真空度的标识通常有两种方法： 一是用“绝对压力”、“绝对真空度”（即比“理论真空”高多少压力)标识； 在实际情况中，真空泵的绝对压力值介于0～之间。绝对压力值需要用绝对压力仪表测量，在20℃、海拔高度＝0的地方，用于测量真空度的仪表(绝对真空表)的初始值为。(即一个标准大气压) 二是用“相对压力”、“相对真空度”(即比“大气压”低多少压力)来标识。 "相对真空度"是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值。用普通真空表测量。在没有真空的状态下(即常压时)，表的初始值为0。当测量真空时，它的值介于0到－（一般用负数表示）之间。 比如，我们的微型真空泵PH2506B(测量值为－75KPa，则表示泵可以抽到比测量地点的大气压低75KPa的真空状态。 国际真空行业通用的“真空度”，也是最科学的是用绝对压力标识；指得是“极限真空、绝对真空度、绝对压力”，但“相对真空度”(相对压力、真空表表压、负压)由于测量的方法简便、测量仪器非常普遍、容易买到且价格便宜，因此也有广泛应用。理论上二者是可以相互换算的,两者换算方法如下： 相对真空度=绝对真空度(绝对压力)-测量地点的气压 例如：我们的微型真空泵VM8001(的绝对压力为80KPa，则它的相对真空度约为80-100＝-20Kpa，(测量地点的气压假设为100KPa)在普通真空表上就该显示为。 常用的真空度单位有Pa、Kpa、Mpa、大气压、公斤(Kgf/cm2)、mmHg、mbar、bar、PSI等。近似换算关系如下： 1MPa=1000KPa 1KPa=1000Pa 1大气压=100KPa= 1大气压=1公斤(Kgf/cm2)=760mmHg 1大气压= 1KPa=10mbar 1bar=1000mbar
第一章 绪论 单位质量力： m F f B m = 密度值： 3 m kg 1000=水ρ， 3 m kg 13600=水银ρ，3 m kg 29.1=空气 ρ 牛顿内摩擦定律：剪切力： dy du μ τ=， 内摩擦力：dy du A T μ= 动力粘度：ρυμ= 完全气体状态方程：RT P =ρ 压缩系数： dp d 1dp dV 1ρρκ= -=V （N m 2 ） 膨胀系数：T T V V V d d 1d d 1ρρα - == (1/C ?或1/K) 第二章 流体静力学+ 流体平衡微分方程： 01;01;01=??-=??-=??- z p z y p Y x p X ρρρ 液体平衡全微分方程：)(zdz ydy xdx dp ++=ρ 液体静力学基本方程：C =+ +=g p z gh p p 0ρρ或 绝对压强、相对压强与真空度：a abs P P P +=；v a abs P P P P -=-= 压强单位换算：水银柱水柱m m 73610/9800012===m m N at 2/1013251m N atm = 注： h g P P →→ρ ； P N at →→2m /98000乘以 2/98000m N P a = 平面上的静水总压力：（1）图算法 Sb P = 作用点e h y D += 1 ) () 2(32121h h h h L e ++= 3 2L e y D = = （2）解析法 A gh A p P c c ρ== 作用点A y I y y C xc C D + = 矩形 12 3 bL I xc = 圆形 64 4 d I xc π= 曲面上的静水总压力： x c x c x A gh A p P ρ==；gV P z ρ= 总压力 z x P P P += 与水平面的夹角 x z P P arctan =θ 潜体和浮体的总压力： 0=x P 排浮gV F P z ρ== 第三章 流体动力学基础 质点加速度的表达式??? ? ?? ?????+??+??+??=??+??+??+??= ??+??+??+??=z u u y u u x u u t u a z u u y u u x u u t u a z u u y u u x u u t u a z z z y z x z z y z y y y x y y x z x y x x x x A Q V Q Q Q Q Q G A = === ? 断面平均流速重量流量质量流量体积流量g udA m ρρ 流体的运动微分方程： t z t y t x d du z p z d du y p Y d du x p X = ??-=??-=??- ρρρ1;1;1 不可压缩流体的连续性微分方程 ： 0z u y u x u z y x =??+??+?? 恒定元流的连续性方程： dQ A A ==2211d u d u 恒定总流的连续性方程：Q A A ==2211νν 无粘性流体元流伯努利方程：g 2u g p z g 2u g p z 2 2 222 111++=++ρρ 粘性流体元流伯努利方程： w 2 2222111'h g 2u g p z g 2u g p z +++=++ρρ
量具内校记录表（外径千分尺类） 千分尺类型槽径千分尺校准员喻宇文校准日期年月日 本厂编号测量 范围 mm 分度值mm 制造厂家 出厂编号校准 依据 JJG21-2008千 分尺检定规程 校准 地点 质量部 校准 条件 温度湿度 校准时所用计量标准量块 计量标准 证书编号 有效期2013 年月日 校准项目 序号校准项目规程要求结果 1 外观无影响使用准确度的外观缺陷 2 各部分相互作用微分筒转动和测微螺杆的移动平稳无卡滞摩擦现象 3 测力手感无异样 4 测量面的平面度普通的不大于0.6um 数显的不大于0.3 um 5 数显千分尺的示值重复性不大于1um 6 数显千分尺的细分误差不超过±2 um 7 微分筒端面和固定套管刻 线的相对位置 压线小于0.05 mm 离线小于0.1 mm 8 示值 误差 校准点（mm）A+5.12 A+10.24 A+15.36 A+21.50 A+25 误差（um） 千分尺类型数显外径千分尺校准员喻宇文校准日期2012 年月日 本厂编号测量 范围 mm 分度值mm 制造厂家 出厂编号校准 依据 JJG21-2008千 分尺检定规程 校准 地点 质量部 校准 条件 温度湿度 校准时所用计量标准量块 计量标准 证书编号 有效期2013 年月日 校准项目 序号校准项目规程要求结果 1 外观无影响使用准确度的外观缺陷 2 各部分相互作用微分筒转动和测微螺杆的移动平稳无卡滞摩擦现象 3 测力手感无异样 4 测量面的平面度普通的不大于0.6um 数显的不大于0.3 um 5 数显千分尺的示值重复性不大于1um 6 数显千分尺的细分误差不超过±2 um 7 微分筒端面和固定套管刻 线的相对位置 压线小于0.05 mm 离线小于0.1 mm 8 示值 误差 校准点（mm）A+5.12 A+10.24 A+15.36 A+21.50 A+25 误差（um）
1=10.336米水柱 公斤不是单位，一般我们通常说的，事实上是一种非标准单位，名称 叫：公斤力/平方厘米[Kgf/cm^2] 1标准大气压=0.1MPa[兆 帕]=101KPa=[千帕]左右=1bar[巴]=760mmHg （毫米汞柱）=14.696磅/英寸2(psi)≈1工程大气压≈1Kgf/cm^2[千克力/平方厘米] 千克：是质量单位， 千克力：是作用在单位体积上一千克的力 一 个标准大气压一般约等于101千帕即0.1兆帕，约等于一工程大气压约等于一千克力每平方厘米 工程大气压是比标准大气压小一点的 1物理大气压＝1标准大气压(atm) 为什么会多一个工程大气压我也不清楚 但是工程大气压通常按千克力等，用一种质量作用力对单位面积获得的压强。而标准大气压(atm)则为标准的大气压强，比工程大气压精确，但他们是 约等于的。没必要那么精确，除非你是在某些特定领域使用 饱和水蒸汽的压力与温度的关系 ( 摘自 范仲元: "水和水蒸 气热力性质图表" p4～10 )
真空计算常用公式 1、玻义尔定律 体积V，压强P，P·V＝常数（一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。 即P1/P2＝V2/V1） 2、盖·吕萨克定律 当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V与绝对温度T成正比：
（V1/V2＝T1/T2＝常数） 当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高(或P降低)1℃，则它的体积比原来增加(或缩小)1/273。 3、查理定律 当气体的体积V保持不变，一定质量的气体，压强P与其他绝对温度T成正比，即：P1/P2＝T1/T2 在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高(或降 低)1℃，它的压强比原来增加(或减少)1/273。 4、平均自由程： λ＝(5×10-3)/P (cm) 5、抽速： S＝dv/dt (升/秒)或 S＝Q/P Q＝流量(托·升/秒) P＝压强(托) V＝体积(升) t＝时间(秒) 6、通导： C＝Q/(P2-P1) (升/秒) 7、真空抽气时间： 对于从大气压到1托抽气时间计算式： t＝8V/S (经验公式) （V为体积，S为抽气速率，通常t在5~10分钟内选择。） 8、维持泵选择： S维＝S前/10 9、扩散泵抽速估算： S＝3D2 (D＝直径cm） 10、罗茨泵的前级抽速： S＝(0.1~0.2)S罗 (l/s) 11、漏率： Q漏＝V(P2-P1)/(t2-t1) Q漏－系统漏率(mmHg·l/s) V－系统容积(l) P1－真空泵停止时系统中压强(mmHg) P2－真空室经过时间t后达到的压强(mmHg) t－压强从P1升到P2经过的时间(s) 12、粗抽泵的抽速选择： S＝Q1/P预 (l/s) S=2.3V·lg(Pa/P预)/t S－机械泵有效抽速 Q1－真空系统漏气率(托·升/秒) P预－需要达到的预真空度(托) V－真空系统容积(升) t－达到P预时所需要的时间 Pa－大气压值(托） 13、前级泵抽速选择：
真空表读数与真空度换算 真空度单位换算表 真空表读数与真空度换算 ◇真空度用“绝对真空度”、“ 绝对压力” ，即比“ 理论真空” 高多少压力标识；" 绝对真空度" 是指被测对象的实际压力值。在实际情况中，真空泵的绝对压力值介于0 ～101.325KPa 之间。绝对压力值需用绝对压力仪表测量，在20℃，海拔高度= 0 的地方，用于测量真空度的仪表(绝对真空表)的初始值为101325Pa( 即一个标准大气压) 。 ◇真空度用“ 相对真空度” 、“ 相对压力”，即比“ 大气压” 低多少压力来标识；" 相对真空度" 是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值。用普通真空表可测量。在没有真空的状态下，表的初始值为0 ，当测量真空时，它的值介于0 到-101325Pa （即-0.1MPa)之间。真空表上“0” 表示正一个大气压即101325Pa , “-0.1” 表示绝对真空（即为0）。真空表上的指示值不表示真空度的绝对值，只表示了真空度的相对值。 ◇真空度的绝对值与相对值可用下式换算：P≈100000 ×（1－Φ/0.1 ）P a ；Φ为真空表的读数示值的绝对数。 ◇真空表的读数示值为0，则P≈100000× （1-0/0.1 ）=10000Pa 为1 个大气压。 ◇真空表的读数示值为0.1，则P≈1100000× （1-0.1/0.1）= 0 Pa 为绝对真空。 ◇真空表的读数示值为0.075，则P≈100000×（1-0.075/0.1）= 25000 Pa。 ◇真空表的读数示值为0.08，则P≈100000×（1-0.08/0.1）= 20000 Pa。 ◇真空表的读数示值为0.09，则P≈100000×（1-0.09/0.1）= 10000 Pa。
真空度单位换算 真空表读数与真空度换算 ◇真空度用“绝对真空度”、“绝对压力”，即比“理论真空”高多少压力标识；" 绝对真空度" 是指被测对象的实际压力值。在实际情况中，真空泵的绝对压力值介于0 ～101.325KPa 之间。绝对压力值需用绝对压力仪表测量，在20℃，海拔高度= 0 的地方，用于测量真空度的仪表(绝对真空表)的初始值为101325Pa( 即一个标准大气压) 。 ◇真空度用“相对真空度”、“相对压力”，即比“大气压”低多少压力来标识；" 相对真空度" 是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值。用普通真空表可测量。在没 有真空的状态下，表的初始值为0 ，当测量真空时，它的值介于0 到-101325Pa （即 -0.1MPa)之间。真空表上“0”表示正一个大气压即101325Pa , “-0.1”表示绝对真空（即 为0）。真空表上的指示值不表示真空度的绝对值，只表示了真空度的相对值。 ◇真空度的绝对值与相对值可用下式换算：P≈100000 ×（1－Φ/0.1 ）P a ；Φ为真空表的 读数示值的绝对数。 ◇真空表的读数示值为0，则P≈100000×（1-0/0.1 ）=10000Pa 为1 个大气压。 ◇真空表的读数示值为0.1，则P≈1100000×（1-0.1/0.1）= 0 Pa 为绝对真空。 ◇真空表的读数示值为0.075，则P≈100000×（1-0.075/0.1）= 25000 Pa。 ◇真空表的读数示值为0.08，则P≈100000×（1-0.08/0.1）= 20000 Pa。 ◇真空表的读数示值为0.09，则P≈100000×（1-0.09/0.1）= 10000 Pa。 ◇真空表的读数示值为0.095，则P≈100000×（1-0.095/0.1）= 5000 Pa。 ◇真空表的读数示值为0.097，则P≈100000×（1-0.097/0.1）= 3000 Pa。 ◇真空表的读数示值为685mmHg，则P≈100000×（1-685/760）= 10000 Pa。 ◇真空表的读数示值为700mmHg，则P≈100000×（1-700/760）= 8000 Pa。 表1 应予淘汰的压力计量单位和符号 应淘汰的压力单位的名称单位符号用法定计量单位表示的形式值 毫巴mb 100 Pa
标准大气压=760毫米汞柱=76厘米汞柱=×105帕斯卡=米水柱。 标准大气压值的规定，是随着科学技术的发展，经过几次变化的。最初规定在摄氏温度0℃、纬度45°、晴天时海平面上的大气压强为标准大气压，其值大约相当于76厘米汞柱高。后来发现，在这个条件下的大气压强值并不稳定，它受风力、温度等条件的影响而变化。于是就规定76厘米汞柱高为标准大气压值。但是后来又发现76厘米汞柱高的压强值也是不稳定的，汞的密度大小受温度的影响而发生变化；g值也随纬度而变化。 1标准大气压＝101325牛顿／米2 真空度=(大气压强—绝对压强）真空压力：绝对压力与大气压力之差。真空压力在数值上与真空度相同，但应在其数值前加负号。真空度=(大气压强—绝对压强） 所谓“真空”系指低于一个大气压的气体状态，从工程意义上讲，是不可能把一个容器里的气体全部抽出，只能达到一定的真空度。一个大气压=101325Pa，当容器中的气压低于101325Pa时就称容器处于真空状态。此时，容器内的的压力就称为容器的真空度。 真空表读数所反映的究竟是多少Pa。能不能用直观的数字来显示
真空表上“0”表示正一个大气压, “”表示绝对真空。真空表上的指示值不表示真空度的绝对值，只表示了真空度的相对值。 根据本表的刻度示值范围，真空度的绝对值与相对值可用下式换算：P=1×105（1-δ/） P-真空度的绝对值（Pa） δ- 真空表的刻度示值绝对值 例一：表的示值为O，则P=1×105（1-δ/）=1×105 Pa = 1个大气压例二：表的示值为，则P=1×105（）= 0 Pa为绝对真空。 (绝对真空是不存在的) 例三：表的示值为，则P=1×105（）= 2×104 Pa 真空度计量单位换算如下： =1×105 Pa = 760mmHg = 1个大气压 1乇 = 1mmHg = 2乇 = ≈267Pa
真空泵的选择方法和计算公式 真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到最佳配置，选择真空系统时，应考虑下述各点： 1、确定工作真空范围: 首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，必须认真研究确定之。 2、确定极限真空度 在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的最佳工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的极限真空度低50%。 3、被抽气体种类与抽气量 检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。 4、真空容积 检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。 考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。 5、真空泵计算公式 S=2.303V/tLog(P1/P2) 其中： S为真空泵抽气速率(L/s) V为真空室容积(L) t为达到要求真空度所需时间(s) P1为初始真空度(Torr) P2为要求真空度(Torr) 例如： V=500L
t=30s P1=760Torr P2=50Torr 则: S=2.303V/t Log(P1/P2)=2.303×500/30xLog(760/50)=35.4L/s 当然上式只是理论计算结果，还有若干变量因素未考虑进去，如管道流阻、泄漏、过滤器的流阻、被抽气体温度等。实际上还应当将安全系数考虑在内。