工序名：ICP测试
动态：
静态（工艺技术要求）：
拟 定：文件编号：零件或规格
数量
零件或规格
数量
手套
口罩
日 期：版本号：电脑
审 核：页 码：日 期：编制部门：
批 准：
作 业 指 导 书
本工序的作业共分为 20 个操作步骤，其每个步骤的具体描述及作业图解如下：
本工序与产品安全和法规有关的主要特性（◇型）：本工序与人员操作安全和法规有关的主要特性（△型）：本工序与产品安全或法规无关的主要特性（★型）：作业准备区劳保用品区
图示
1、开启设备电源；
图示
2、双击电脑桌面上测试软件；
图示
3、打开测试软件中的仪器状态界面，观察光室温度，直到光室温度稳定在38℃；
图示
4、打开高纯氩气阀门，调节输出压力为0.5MPa ；
图示
图示
图示
6、打开冷却水循环器和排风机；
5、打开测试软件中的等离子体状态界面，调节驱气气体流量，每次测试前必须一般驱气2h 以上或大量驱气1h 以上；
7、打开测试软件中的仪器状态观察Camera 温度，直到温度稳定在-47℃左右；
图示
8、将进样管和排液管安装在蠕动泵上，上好蠕动泵夹子，进样管放入水中；
业准备区保用品区
日 期：
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