第２２卷攀４期红寿｝拄拳ｖ。ｌ。２２№．４２０００年７月Ｉｆｄ曲ｅｄＴｂｈｎ０１粗料Ｊ山２０００固体图像传感器非均匀性实时校正研究＋
李兵，潘银松，袁祥烊，贾功贤
（燕痰大学光电工鬈学院，重痰４０００４４）
薅要：分赞了菲连掣惶产垒麴主要耀嚣，基于性能癸罄跑静窭鞋浃速酶箨捌，幕麓一点和两点法对固体图像传感器的非均匀性进行了校正井讨论了系统的校正范围，给出了用于实砖技正曲硬终电鼹攮匿和实验棼聚，取褥了莪潢惠的棱蠢鼓皋。
关毽１嗣：图像传感器；非均匀性；实时棱正；红外焦平面
中圈分娄号：删２１５文献标识码：Ａ文搴编号；１００ｌ－８８９ｌｆ２∞０｝０４一∞３０搿
ｌ前言
理想情况下，瀚律匿像传感器受均匀光辐射时，各像元的视频输出信号幅度成完全一致。实际上，毒予制释器｛争酌串导俸毒｜料静不均匀性．掩膜误艘、缺陷、工艺等因素影响…，其视频辕爨幄度会舞瑗不稳匈琨绦。壶予这望不蟪匀性的存在，可能会使我们所获取的图像信母模糕零滂、穗燮，甚至捷黉感器失去撵溅转巍嘉，而现有的工艺技术状况使得设计具有理想均匀性的羁薅爨攘抟感器攫嚣瓣。特ｇ《是对于成本很嵩的红外焦平面阵列来说，若通过非均匀性校正能使均匀性很麓的红外焦乎磷阵列获褥满意的图像，掇高红外焦平面前成像璇量，刑具有很大的应甩价值和意义。
２非均匀性因素分析
辔子罄簿强像蒋感器静菲均匀洼的存在，使得所获取的图像信号太麓，甚型探测不到对僚。实嚣上，箕提壤辕塞蔗敏感元、读出嗽黪、半导体特性以及放火电路缚各种因素综台的结果。因起雾溏楚｛｝均匀性的来源致褒现形式对非均匀性校正有很大的帮助。首先，图像传感器各敏感元的响应攀不一致。这种不一致是由制造过程中的随机性引起的，如有散光敏筒的不同以及半导体掺杂的变化等原因，使得光电
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３０转换特性曲线不一致和瞎噪声不均匀等。其次，ｌ玎噪声，这种噪声的产生梳理商不十势清楚，但通常认为它是由半导体的表面电流所日Ｉ起豹，宅是一个非平稳的随辊过程，毽它的数蘑级小。第三，电荷传输效率的影响，它存在于采薅￡ｅＤ登移位读击酌舞像抟感器串，表瑗为胬像平耐上的阴影。第四，光学系统的影响，如镜头燕互耩度、张径等嚣寨。筹蠢，无效敏感元赫影响。最后，豳像传感器所处环境的温度变化，其变稼蒋对艨有妁薄辫元起终薅，量变芘是憨机的。但是起难要作用的还是响应率的非均匀性、读窭毫黪巍身及其它与撵测器豹臻舍魏嚣均匀性、暗电流的非均匀性…。由于非均匀性的存在，对于一个Ⅳ健约固体图像抟感器来说，在均匀的光辐射下．各像元的视频输出幅旋可悲不一致。因此，将匿体图像传感器的非均匀性（Ｎｕ）定义为：在均匀光辐射下，传感器像元的最大视频输出与最小视频输出蠛度的差慑与所有像元视蓣输出酌平均值之比ｏ‘。郎
ＮＵ＝（ｙ。。一ｎ“），ｎ。（１）
其中：Ｋ。。为褫频输出最大值；Ｐ一。为视频输出最小壤；ｋ，。为视频输出平均值。另外还可采
用视频输出的方差和均值之比作为菲均匀性的
度量。
万方数据