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O-sepa选粉机的原理及构造

O-sepa选粉机的原理及构造
O-sepa选粉机的原理及构造

2008-03-28 | 浅析高效选粉机为何不高效

标签:选粉机分级颗粒sepa物料

谭传德

点击祥情

摘要:本文介绍了O-Sepa选粉机的工作原理;分析其不高效的原因和不足;提供了改造的方法和途径。使大家对O-Sepa选粉机在使用过程中存在的问题有一个正确的认识,同时为解决实际生产中存在的问题,提供了行之有效的方法。

关键词:粉磨,圈流,高效选粉机,选粉效率,分级。

O-Sepa选粉机,作为第三代选粉机的典型代表,具有很高的选粉效率,以高效著称,被人们誉为高效选粉机,而多年来,在我国经过上百家大中型水泥厂的使用,发现O-Sepa选粉机实际使用效果跟我们预期的希望值还有差距,还存在不少问题:弯管内陶瓷挂片磨损严重,使用寿命短;导流叶片易变形;壳体易磨损;壳体内易积料;特别是选粉效率普遍不高。据调查:O-Sepa选粉机在我国水泥厂实际使用中选粉效率一般都波动在19%~45%范围,使用较好的厂家其选粉效率也不过在50%左右,致使粉磨系统过粉磨现象严重,磨机台时产量不能得到应有的提高,造成吨产品电耗高、粉磨系统不经济。

人们都说O-Sepa选粉机的涡流分级原理先进合理,选粉力场稳定,分级精度高,为何在实际中选粉效率普遍不高呢?笔者对此作一简要的分析。

1.工作原理

O-Sepa选粉机的结构是一个涡壳形旋风筒,内装笼形转子,转子外圈装有一圈导向叶片,转子上部是900弯头的出风管和进料口,转子的下部是粗粉锥。工作原理:被选物料从顶部的进料口进入,落在旋转的撒料盘上,由于离心力的作用物料被抛撒出去,撞到缓冲板而改变方向自由下落,在转子和导向叶片之间的环形空间内形成料幕。一次风、二次风从壳体两侧互成1800的两个切向进风口进入,通过导向叶片导向,与转子的旋转作用相结合,形成强烈的水平旋转流分离场(涡流场),强大的剪切力能将物料团块打碎,给高效选粉创造条件,较细颗粒因离心力作用小于气流的向心吸力随气流穿过转子叶片进入转子内,从中间风管被抽出,由除尘器收集;较粗颗粒在下落的过程中,因离心力作用大于气流的向心吸力撞向导向叶片,且不断受到水平切向气流的冲刷,将粘附在其上的细粉不断地冲刷下来,进入到笼形转子的中间。落入灰斗粗粉中的合格细粉,会被灰斗上圆周均布的三个三次风的清洗,使细粉选出。

2.分级的三个环节

O-Sepa选分机实现物料的分级,经历了撒料盘撒料、分级区分级、三次风风选三个环节。

2.1 撒料盘撒料环节。采取上部撒料,料幕不是通过撒料盘使粉料产生惯性离心力形成料幕,而是通过撒料盘撒料撞到缓冲板后,依靠物料自身的重力进行自由下落形料幕的。这一环节是选粉机分级的第一环节,它的主要作用是使物料充分分散并均布在分级区,为物料在分级区的分级做好准备,物料均布和分散的效果,直接影响到分级区的分级效果。

2.2 分级区分级环节。导向叶片和笼形转子间的环形区域为预分级和物料打散区域,笼形转子叶片及其附近区域为主分级区。在环形区域中,导向叶片处的气流速度和笼形转子叶片处的气流速度相差较大,存在较大的速度梯度,环形区域中的旋转气流使物料中的较粗颗粒得到分离;速度梯度形成的切向剪力,对粘在一起的物料进行逐层剥离,起打散作用,为进入分级区分级作准备。速度梯度即切向剪力的大小,直接关系到分级区的分级效果,在笼形转子的分级区中,物料的分级严格按照物料颗粒或物料颗粒团所受到的离心力和风的抽吸力进行分级,合格的单个物料颗粒和少量的物料颗粒团(颗粒团的粒径为合格粒径)进入笼形转子内部被选出来,不合格的粗颗粒和大量的颗粒团被甩出来,最终形成粗粉进入下一环节进行风选。

2.3 三次风风选环节。主要依靠灰斗中三个进风管进入的气流对物料进行吹动和清洗,使细粉选出进入笼形转子分级区参加再次分级,以达到进一步提高选粉效率的目的。

3.撒料盘环形区的试验。

自从O-Sepa高效选粉机引进我国后,广大的科技工作者对其产生了浓厚的兴趣,许多专家学者做了大量的试验和研究。现将刘家祥、徐德龙等人对撒料盘和环形区宽度的研究数据与大家分享,将部分试验数据摘要整理成表1和表2。从表1中可以看出撒料盘撒料性能的优劣对粗粉产率的影响较大,最大达到9.32个百分点,而环形区宽度对粗粉产率的影响稍小点,最大才5.75个百分点,这就说明O-Sepa选粉机分级存在不足,它还不能将物料按某一粒径很好的分离出来。从表2中可以看出,粗粉中合格细粉的含量还较高。可见,以

O-Sepa

为代表的第三代选粉机的分级性能还有待提高。

4.存在的问题及原因

从O-Sepa选粉机在生产实践中的应用和上述试验研究,不难发现O-Sepa选粉机分级存在问题:撒料盘的撒料分散效果仍不够理想,环形区打散物料颗粒团的效果不够好,三次风的清洗效果不明显,导向叶片壳体等的磨损较大。

4.1 撒料盘的撒料分散效果不够理想

从撒料盘的工作过程看,物料被撒料盘撒出后直接撞在缓冲板上,由于物料与缓冲板的碰撞是非弹性碰撞,所以,物料不会反弹,而是在缓冲板上失速,然后在重力的作用下,从静止开始加速下落。在这暂短的过程中,由于撒料盘是不间断的撒料,所以后面撒出的物料必然装在缓冲板上失速的物料上面,于是,大的物料团被打碎,新的更多的小物料团又产生了,而这个物料团绝大部分是合格细粉组成的。显然,带着若干物料团的料幕就进入了分级区,这样的撒料效果不可能好。这就是O-Sepa选粉机撒料盘撒料效果不好的主要原因。

4.2 环形区打散物料颗粒团的效果不够好

环形区打散物料颗粒团的动力来源于速度梯度所带来的切向剪切力,要使物料团被打散必须有足够大的剪切力。我们知道,水泥物料颗粒的粒径是微米级的,较多物料团的粒径也是微米级的,让微米级的物料团打散的力是来源于微米级距离的速度梯度所形成的切向剪切力,所以,作用于微米级物料团的力是狠小的,这一级别的颗粒团是难以打散的,只有较大的颗粒团才能被打散。这就造成进入笼形转子分级区的物料中有很多颗粒团,而这些颗粒团大部分都是合格的物料,但分级时被当成不合格的物料被甩出来。另一方面,在环形区由于气流中粗颗粒的体积较大,是细颗粒的几倍、万倍、甚至百万倍以上,具体为两颗粒粒径之比的三次方,这些颗粒在穿过环形区的过程中,一边随气流旋转而下落,一边不停地被气流推进分级圈又被笼形转子甩出来,在这不停的推甩过程中,粗颗粒不断地碰撞其它颗粒,因粗细颗粒体积相差较大,使很多细颗粒依附在其表面,而涡流的剪切力无法将其打散,造成粗颗粒夹带细颗粒穿过环形区形成粗粉,导致O-Sepa选粉机无法将合格的物料全部选出来。

4.3 三次风的清洗效果不明显。

由于进入回斗的粗粉中很多是以颗粒团的形式存在的,这些颗粒团都是涡流剪切力打不散的颗粒团,微弱的三次风更不可能将其打散,所以,三次风对物料的风吹和清洗不可能有明显效果,三次风只不过是摆设摆了。

4.4 相关部件磨损严重

这主要是O-Sepa选粉机在工作过程中,含尘气体的气流速度过大,所造成的磨损必然就大,虽然O-Sepa选粉机有很多地方都有防磨材料,但长时间的

磨损也会导致耐磨材料失效,加之,产品在生产环节中防磨部分存在缺陷,所以,O-Sepa选粉机相关部件磨损严重是必然的。

4.5 选粉效率不高的其它因素。

O-Sepa选粉机使用中效率不高除自身结构的因素外,还有粉磨系统设计和设备使用不当等因素造成实际使用中选粉效率不高。

我们知道,O-Sepa选粉机是70年代末由日本小野田公司开发的,由于当

时对水泥产品的要求没有现在高,O-Sepa选粉机的参数都是在比表面积

2900cm2/g的条件下数据,从这里不难看出,当时是以成品比表面积

2900cm2/g(相当于290m2/Kg)来设计O-Sepa选粉机的结构的,而现在对成品水泥比表面积的控制基本都在350m2/Kg左右,有的已经达到400m2/Kg 左右,因此,控制成品品质的变化,必然对选粉机的性能产生较的的影响,就我国的现状来说,很多生产线上O-Sepa选粉机的选型设计没有按新的成品的要

求来设计,或老生产线的配置生产高品质的水泥,造成O-Sepa选粉机选型偏小,选粉机选粉能力不够,选粉效率当然不高。

配套设备尤其是收集成品的袋式除尘器的性能对选粉机的选粉效率也有影响,如除尘器的处理能力不够,造成选粉风量不足;袋式除尘器清灰效果不好通风阻力变大,也会影响选粉机的选粉性能;使用中选粉机的风阀调节不当同样也影响选粉效率。

5. 提高选粉性能的途径。

提高选粉机性能的最佳途径是对存在问题的环节进行优化和合理的设计。

5.1 优化设计撒料盘,提高物料进入分级区的分散效果。如采用多层撒料技术

对原有系统进行改造等

5.2 采用新技术改造撒料环节。如采用流态化撒料技术改造现有撒料装置。基

本原理是:利用流态化技术使物料在进入分级区前充分流态化,流态化后的物料颗粒之间都有空气,也就是说颗粒之间有空气相隔,相互之间不接触,物料中无颗粒团存在,流态化后的物料直接进入分级区,这样分级效率必然提高。

5.3合理设计环形区域。最大限度的提高风速,增加速度梯度形成的切向剪切力,提高打散颗粒团的能力,达到提高选粉效率的目的。

5.4 在使用中合理调整选粉机的工作参数,提高选粉性能

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圆捆打捆机结构及原理

圆捆打捆机结构及原理 引言 圆捆打捆机适于各类天然草场、种植草场以及农田进行作业。圆捆打捆机与割草机、搂草机、圆捆装卸机及运输车配套可以实现牧草或稻、麦等农作物秸秆收获的全程机械化作业。 圆捆打捆机作为牧草和秸秆收获的主要机具在国外已广泛应用。随着我国农业产业结构的调整,近年来种植牧草面积的逐年增多,以及农作物秸秆的综合利用,对牧草和秸秆收贮装备提出了迫切需求。圆捆打捆机分为外卷式和内卷式两种,外卷式外紧内松,利于防雨和进一步通风干燥。因此,外卷式圆捆打捆机倍受青睐。 总体结构 圆捆打捆机按其功能应完成捡拾、喂入、成捆、捆绳、卸捆等作业。外卷式圆捆打捆机主要由传动系统、捡拾器、喂入机构、成捆室、捆绳机构、液压系统及卸捆装置组成。 工作原理 圆捆打捆机的工作原理(如下图所示)。拖拉机动力通过传动系统传递到各个工作部件,在田间作业过程中,随着机器的运转和前行,捡拾器的弹齿将地面草条捡拾起来,经过喂入机构送入成捆室,在旋转辊筒的作用下,物料旋转成草芯。随着原来越多的物料进入成捆室并不断旋转逐渐形成圆捆。持续不断的捡拾,物料将在圆捆外圆周上缠绕,形成了外紧内送的圆捆。

圆捆打捆机在农业作业中非常普遍,圆捆机是用来制备大型草捆的机械。按卷压室工作部件的结构,圆捆机可分为长皮带式、辊子式、短皮带式及链栅式;按草捆卷绕形成过程不同,可分为内卷式和外卷式。长皮带及链栅式属内卷式,卷压室空间可变,由捡拾器将牧草拾起,经喂入器被压成扁平草层进入预卷室,在上、下两组皮带的作用下,使牧草开始转动并被卷成草芯,随着牧草的连续喂入,草芯随着旋转形成草捆。 圆捆打捆机参数: 配套动力:4KW(或22马力柴油机,10kw发动机) 草捆重量:15-65kg 成捆尺寸:Φ550*520mm 生产效率:60-120秒/捆 额定转速:350转/分 青(黄) 饲草含水率:50-70% 外形尺寸:(长*宽*高):1600*1450*1060mm 机器重量:380kg 圆捆包膜机参数: 包膜尺寸:Φ550*520mm 包膜层数:2-6层 包膜效率:40秒/2层·捆 配套功率:1.1kw(Y90S-4)

光刻原理

光 刻 工 艺 一、目的: 按照平面晶体管和集成电路的设计要求,在SiO 2或金属蒸发层上面刻蚀出与掩模板完全相对应的几何图形,以实现选择性扩散和金属膜布线的目的。 二、原理: 光刻是一种复印图象与化学腐蚀相结合的综合性技术,它先采用照像复印的方法,将光刻掩模板上的图形精确地复制在涂有光致抗蚀剂的SiO 2层或金属蒸发层上,在适当波长光的照射下,光致抗证剂发生变化,从而提高了强度,不溶于某些有机溶剂中,未受光照射的部分光致抗蚀剂不发生变化,很容易被某些有机溶剂溶解。然后利用光致抗蚀剂的保护作用,对SiO 2层或金属蒸发层进行选择性化学腐蚀,从而在SiO 2层或金属层上得到与光刻掩模板相对应的图形。 (一)光刻原理图 (一)光刻胶的特性: 1.性能,光致抗蚀剂是一种对光敏感的高分子化合物。当它受适当波长的光照射后就能吸收一定波长的光能量,使其发生交联、聚合或分解等光化学反应。由原来的线状结构变成三维的网状结构,从而提高了抗蚀能力,不再溶于有机溶剂,也不再受一般腐蚀剂的腐蚀. 2.组成:以KPR 光刻胶为例: 感光剂--聚乙烯醇肉桂酸酯。 溶 剂--环己酮。 增感剂--5·硝基苊, 3.配制过程: 将一定重量的感光剂溶解于环己酮里搅拌均匀,然后加入一定量的硝基苊,再继续揖拌均匀,静置于暗室中待用。 感光剂聚乙烯醇肉桂酸酯的感光波长为3800?以内,加入5·硝基苊后感光波长范围发生了变化从2600—4700 ?。 (二)光刻设备及工具: 在SiO 2层上涂复光刻胶膜 将掩模板覆盖 在光刻胶膜上 在紫外灯下曝光 显影后经过腐蚀得到光刻窗口

1.曝光机--光刻专用设备。 2.操作箱甩胶盘--涂复光刻胶。 3.烘箱――烤硅片。 4.超级恒温水浴锅--腐蚀SiO2片恒温用。 5.检查显为镜――检查SiO2片质量。 6.镊子――夹持SiO2片。 7.定时钟――定时。 8.培养皿及铝盒――装Si片用。 9.温度计――测量温度。 图(二)受光照时感光树脂分子结构的变化 三、光刻步骤及操作原理 1.涂胶:利用旋转法在SiO2片和金属蒸发层上,涂上一层粘附性好、厚度适当、均匀的光刻胶。 将清洁的SiO2片或金属蒸发片整齐的排列在甩胶盘的边缘上,然后用滴管滴上数滴光刻胶于片子上,利用转动时产生的离心力,将片子上多余的胶液甩掉,在光刻胶表面粘附能力和离心力的共同作用下形成厚度均匀的胶膜。 涂胶时间约为1分钟。 要求:厚度适当(观看胶膜条纹估计厚薄),胶膜层均匀,粘附良好,表面无颗粒无划痕。 图(三)光刻工艺流程示意图

OSEPA选粉机说明书

OSEPA选粉机说明 书 1

诚信贵于金,包容宽于海,道德高于 山 O-Sepa选粉机 说 明 书 中国·江苏 盐城市兰丰环境工程科技有限公司 地址:江苏省盐城市盐都区丰宇工业园邮编:224014 销售热线:服务热线:

一、概述 (2) 二、型号说明 (2) 三、结构及工作原理 (3) 四、技术参数表与性能特点 (4) 五、安装 (7) 六、调试 (9) 七、使用、操作和维护 (11) 八、定货须知 (13) 说明:1)若因我公司技术改进所产生的结构和技术参数的变化,在不影响使用性能的情况下,我公司恕不另行通知; 2)若说明书中内容与实物不相符,以实物为准。 ( 3月版 / 3月印刷/ 本次印刷 100 本)

一、概述 1979年日本小野田公司创造了O-Sepa选粉机,1986年中国开始引进,当前国内的O-Sepa选粉机技术均起源于日本小野田技术,不同厂家针对国内O-Sepa选粉机的使用环境和国内现有的操作技术不断改进,我公司为了提高新型干法生产线粉磨技术,大力推进O-Sepa选粉机的使用,消化吸收了国外先进技术的基础上结合具体生产实践,在选粉机上做了大量的改进,推出了使用效果更好、效率更高的改进型O-Sepa选粉机。 二、型号说明 1.品种、规格 我公司生产的改进型O-Sepa选粉机是第三代选粉机的发展和延伸,一般粉体工业用的规格包括N500~N5000。 型号的组成及代表意义 N □□□□ 选粉机标准状况下的处理风量(Nm3/min) O-Sepa选粉机代号 2.用途及适用范围 改进型O-Sepa选粉机在水泥生产过程中主要是水泥圈流粉磨系统中的分级设备。也广泛应用于其它物料的分级,它具有高产低耗、处理量大、操作维护简单、产品颗粒级配范围窄等特点。 3.使用环境条件: 使用环境要求:温度: -25℃~+45℃; 湿度: ≤50%(40℃),≤90%(20℃) 海拔: ≤1000m

打捆机主要结构和工作原理

打捆机主要结构和工作原理 该机由机身、传动机构、喂料机构、密度调节机构、压草活塞机构、草捆长度控制机构 及车轮行走机构组成。 该机由电动机(或内燃机)通过传动机构带动连杆驱动喂料压板和活塞作往复运动;I 适量物料通过进料口、在喂料压板的作用下,进入储草腔内,再由压草活塞推入并被压 紧前进。当达到料捆长度时,将隔离板插入储草腔内,之后随草前行,待该板走出储草腔后, 即可用绳带捆绑料捆,出机待用:该机可在较平整的场地由汽车牵引作短距离的移动。玉米收割机的工作原理 现在国内让玉米棒和玉米杆脱离开来,并采用到收获机上主要有两种方式:一种为挤压式, 使用两棍子挤压玉米杆到玉米棒那里,就使玉米棒子挤压下来,这种方式主要用在开拓者和迪尔上;还有一种就是四刀或六刀在玉米棒下部切断,使玉米棒和玉米杆分离,这种方式使用在勇猛收获机上,采用的是四刀,凯斯使用的是六刀!我知道的就这两种! 秸秆还田机 、结构与工作原理 秸秆还田机是由拖拉机动力输出轴驱动的整地机械。使用时将机具与拖 拉机悬挂机构挂接,用传动轴(万向节)将拖拉机的动力输出轴与机具主传动箱 的主动轴相联接。拖拉机动力经动力输出轴、万向节总成传至主传动箱主动轴, 经传动箱减速并改变方向,经皮带将动力传递给驱动变速箱的动力输出轴,动力输出轴通过花键与刀轴连接,最终把动力传出,驱动刀轴旋转工作。 1 )刀轴部分锤片装配时均匀排列。高速旋转,能基本将玉米秸秆打碎,并与 土壤混合,起到还田的作用。 3)均匀抛洒部分本机的均匀抛洒部分固定在机架后方,可根据农艺要

求调整。 2、用途特点 秸秆还田机是为25-100马力拖拉机配套的新型耕作机械,一次性作业能实现作 物根茬的秸秆还田、粉碎、镇压等农田作业。具有传动平稳、结构合理,节能环 保等优点。能够实现秸秆粉碎还田、培肥地力,增强土壤有机质的作用。 激光切割机原理 激光切割机是一种最新的技术,目前已经运用到各种行业,包括金属切割、玻璃切割雕 刻等广泛领域。激光是一种光,与自然界其电发光一样,是由原子(分子或离子筝)跃迁产生的,而且是自发辐射引起勺。激光虽然是光,但它与普通光明显不同是激光仅在最初极短 的时间内依赖于自发辐射,此后的过程完全由激辐射决定,因此激光具有非常纯正的颜色,几乎无发散的方向性,雕刻机,极高的发光强度。激光同时又具有高相干性、高强度性、 高方向性,激光通过激光器产生后由反射镜传递并通过聚集镜照射到加工物品上,使加工物 品(表面)受到强大的热能而温度急剧增加,使该点因高温而迅速的融化或者汽化,配合激 光头的运行轨迹从而达到加工的目的。激光加工技术在广告行业的应用主要分为:激光切割、激光雕刻两种工作方式,对于每一种工作方式,我们在操作流程中有一些不尽相同的地方。激光原理激光是一种光,与自然界其电发光一样,激光雕刻原理 是由原子(分子或离子筝)跃迁产生的,而且是自发辐射引起勺。激光虽然是光,但它 与普通光明显不同是激光仅在最初极短的时间内依赖于自发辐射,此后的过程完全由激辐射 决定,因此激光具有非常纯正的颜色,几乎无发散的方向性,雕刻机,极高的发光强度。激光同时又具有高相干性、高强度性、高方向性,激光通过激光器产生后由反射镜传递并通过聚集镜照射到加工物品上,使加工物品(表面)受到强大的热能而温度急剧增加,使该点因 高温而迅速的融化或者汽化,配合激光头的运行轨迹从而达到加工的目的。激光加工技术在 广告行业的应用主要分为:激光切割、激光雕刻两种工作方式,对于每一种工作方式,我们在操作流程中有一些不尽相同的地方。激光雕刻:主要是在物体的表面进行,分为 位图雕刻和矢量雕刻两种:位图雕刻:我们先在PHOTOSHOP里将我们所需要 雕刻的图形进行挂网处理并转化为单色BMP格式,而后在专用的激光雕刻切割软件中打开 该图形文件。根据我们所加工的材料我们进行合适的参数设置就可以了,而后点击运行,激光雕刻机就会根据图形文件产生的点阵效果进行雕刻。 矢量雕刻:使用矢量软件如Coreldraw , AutoCad , lluustrator等排版设计,并将图形

茶叶色选机主要的原理

茶叶色选机主要的原理 茶叶色选机是利用色选光电传感器/CCD镜头对茶物料中异色叶片进行筛选工作。由于茶叶烘干后极易破碎,所以为在保证茶物料品相前提下提高色选精度顾茶叶色选机选择多层阶梯式机械结构。正常工作前,要根据不良茶物料的比例和种类,设置色选模式和机器产量;然后将待分选的茶物料通过专用茶叶提升机输送到色选机的摆动进料斗里,经摆动进料斗至振动喂料器,后通过振动喂料器振动向上层溜槽滑道(即色选通道)供料,茶物料在溜槽滑道中通过找正轨道排列,形成速率较为均匀的茶物料流下滑到上色选光电传感器检测区或上CCD镜头检测分选区进行扫描、分辨、判别,茶物料流中得不良米由高速喷气嘴喷气剔除茶物料中得不良品。通过上层分选的茶物料落入下层料斗进入下层溜槽滑道再次利用色选光电传感器检测区或上CCD镜头检测分选区进行扫描、分辨、判别,剔除,分选后经良品与二次次品仓进入下道工序。专门茶叶色选机工作原理见图1。 现以中瑞微视茶叶色选机对绿茶拣梗为例进行茶叶色选机的拣梗原理说明(参数值借用该品牌性能参数)。在进行绿茶拣梗时,其色差测定系统对茶叶色泽组成参数进行测定,从而得出茶叶色泽偏绿或偏黄的程度,一般情况下“-a*”值表示茶叶色泽偏绿的程度,“b*”值表示茶叶色泽偏黄的程度,“L”值代表茶叶的明亮度。而所有名优绿茶的插条和茶梗颜色存在颜色差别即色差,一般插条色泽绿翠,而茶梗色泽偏黄。故色差测定系统进行测定时,色泽偏绿的茶叶,“-a*”值也就偏大,并且茶条越嫩,“-a*”值就越大,满足一定要求的茶叶会被装有绿色色彩信号色差感应系统的茶叶摄像用彩色CCD镜头所捕捉,并进行摄影,然后将所摄影像输入计算机,通过计算,发出指令,使茶叶通过茶叶通道进入第2次拣梗或

投影光刻机对准系统功能原理

投影光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准,其标记的对准精度能达到±0.4μm(正态分布曲线的3σ值)。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次,而对准精度直接影响硅片的套刻精度,所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围,它在X方向和Y方向都只能扫描 ±44μm,所以硅片被传送到工件台上进行对准之前,需要在预对准工件台上先后完成两次对准,即机械预对准和光学预对准,以便满足精细对准的捕捉范围。注意:本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成:照明(对准光源)部分,双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示,在图中可以看出,对准系统中用了两个完全相同的光路,这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同,所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中,照明部分的主要部件就是激光发射器,它产生波长为633nm的线性极化光,避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光(硅片曝光用的光为紫外光)。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元,该激光将从双折射单元底部射出,通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上;而经过硅片表面的反射后由原路返回,第二次经过双折射单元,由双折射单元的顶部射出,再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内,硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后,将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象,Q-CELL 光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号,由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示,标记分为四个象限,每个象限有8μm或8.8μm的对准条,其中有两个象限的对准条用来对准X向,另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限,当在Q-CELL检测器的每一个单元中,两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候,就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束,一束激光将通过调制器到达Q-CELL 光电检测器,而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准,但是由于它们是同步的,彼此之间几乎看不到有何不同,所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是: 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动:该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号,其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理:在对准的时候,工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动,进行X轴向对准,当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时,

选粉机的结构、原理及巡检注意事项

选粉机的结构、原理及巡检注意事项 一、公司选粉机的基本参数及结构 型号:CKS-650 形式:远程控制 转子直径:Φ5370mm 转速调节范围:30~90r/min 分离效率:85~90% 选粉机启驱动装置:电机 选粉机功率:250KW (380ⅴ) 调速方式:变频调速 减速机油泵:1.5KW (380ⅴ) 油脂润滑系统:0.25KW (380ⅴ) 选粉机减速机油箱加热器:2KW (380ⅴ) 冷却方式:冷却水 冷却水量:2m3/h 冷却水压力:0.2Mpa 二、选粉机工作原理 粉磨后的物料在离心力的作用下被挤压逐步甩出磨盘;被上升的热气流带入选粉机,经过气流导向叶片喂入高速运转的笼型转子进行分离,细度合格的物料随气流出磨,不合格的大颗粒物料沿转子与静叶片的缝隙进入内锥,滑落至磨盘进行二次粉磨,依次完成选粉作业. 三、巡检注意事项 1、运转前准备的注意事项 ①检查传动减速机润滑油油位、油质; ②检查干油润滑油位、油质; ③检查各人孔门是否关闭好密封好;

④检查选粉机转子位置磨损情况,是否有异物卡死; ⑤检查各螺栓是否紧固,脱落; ⑥机体有无开裂脱焊现象。 2、运转中检查的注意事项 ①电机、减速机是否正常,是否有异音、异振、异味、异温; ②转子运转是否平稳,是否有异音、异振; ③干油脂系统润滑状况; ④检查各螺栓是否松动脱落。 3、停机后维护保养的注意事项 ①检查减速机油质、油量并及时补充,更换; ②检查转子叶片磨损情况,是否变形; ③检查静叶片磨损情况是否变形脱落; ④检查转子与壳体之间的间隙是否正常; ⑤检查主轴磨损及润滑情况,及时补润滑油; ⑥检查螺栓是否松动脱落,并及时紧固更换。

光刻机和光掩膜版

十三章 光刻II 光刻机和光掩膜版 前几章讲述了光刻胶材料的性质和工艺技术。在这一章里,我们介绍如何将图形转移到硅片表面上,包括以下内容:a)将图形投影到硅片表面的装置(即光刻对准仪或光刻翻版机),由此使得所需图形区域的光刻胶曝光。 b)将图形转移到涂有光刻胶的硅片上的工具(即光掩模版和中间掩模版)。在介绍光刻机或掩模版之前,把用以设计和描述操作光刻机的光学原理简要地说明一下。它们是讲明光掩模板和中间掩模版的基础。 在讨论光学原理之前,有必要介绍一下微光刻硬件的关键。那就是把图形投影到硅表面的机器和掩模版的最重要的特征:a)分辨率、b)图形套准精度、c)尺寸控制、d)产出率。 通常,分辨律是指一个光学系统精确区分目标的能力。特别的,我们所说的微图形加工的最小分辨率是指最小线宽尺寸或机器能充分打印出的区域。然而,和光刻机的分辨率一样,最小尺寸也依赖于光刻胶和刻蚀的技术。关于分辨率的问题将在微光刻光学一章中更彻底的讲解,但要重点强调的是高分辨率通常是光刻机最重要的特性。 图形套准精度是衡量被印刷的图形能“匹配”前面印刷图形的一种尺度。由于微光刻应用的特征尺寸非常小,且各层都需正确匹配,所以需要配合紧密。

微光刻尺寸控制的要求是以高准度和高精度在完整硅片表面产生器件特征尺寸。为此,首先要在图形转移工具〔光刻掩模版〕上正确地再造出特征图形,然后再准确地在硅片表面印刷出〔翻印或刻蚀〕。 加工产率是重要但 不是最重要加工特征。例 如,如果一个器件只能在 低生产率但高分辨率的 光刻机制版,这样也许仍 然是经济的。不过,在大 部分生产应用中,加工和 机器的产率是很重要的, 也许是选择机器的重要因素之一。 1.微光刻光学 在大规模集成电路的制造中。光刻系统的分辨率是相当重要的,因为它是微器件尺寸的主要限制。在现代化投影光刻机中光学配件的质量是相当高的,所以图形的特征尺寸因衍射的影响而受限制,而不会是因为镜头的原因(它们被叫做衍射限制系统)。因为分辨率是由衍射限度而决定的,那就必须弄明白围绕衍射限度光学的几个概念,包括一致性、衍射、数值孔径、调频和许多重要调节转换性能。下几节的目的就是要简要和基本地介绍这些内容。参考资料1·2讲得更详细。 衍射·一致性·数值孔径和分辨率 图(1):一束空间连续光线经过直的边缘时的光强 a)依据几何光学b)散射

Nikon光刻机对准系统功能原理

Nikon光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准,其标记的对准精度能达到±0.4μm (正态分布曲线的3σ值)。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次,而对准精度直接影响硅片的套刻精度,所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围,它在X方向和Y方向都只能扫描±44μm,所以硅片被传送到工件台上进行对准之前,需要在预对准工件台上先后完成两次对准,即机械预对准和光学预对准,以便满足精细对准的捕捉范围。注意:本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成:照明(对准光源)部分,双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示,在图中可以看出,对准系统中用了两个完全相同的光路,这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同,所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中,照明部分的主要部件就是激光发射器,它产生波长为633nm的线性极化光,避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光(硅片曝光用的光为紫外光)。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元,该激光将从双折射单元底部射出,通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上;而经过硅片表面的反射后由原路返回,第二次经过双折射单元,由双折射单元的顶部射出,再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内,硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后,将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象,Q-CELL光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号,由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示,标记分为四个象限,每个象限有8μm或8.8μm的对准条,其中有两个象限的对准条用来对准X向,另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限,当在Q-CELL检测器的每一个单元中,两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候,就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束,一束激光将通过调制器到达Q-CELL光电检测器,而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准,但是由于它们是同步的,彼此之间几乎看不到有何不同,所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是: 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动:该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号,其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理:在对准的时候,工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动,进行X轴向对准,当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时,将产生一个对准电信号,该信号以中断信号的形式输入计算机,X向对准的两个象限光栅都将产生其各自的中断信号。当产生中断信号的同时,计算机将记录下此时工件台的位置。在X向对准的时候,一个标记中两个象限的光栅同时参与,在每个象限中光栅条纹之间的间距是一个恒定的常数,但是这两个象限的光栅条纹间距并不相同,如图2所示。在对准扫描的过程中,每一个象限中的每一条光栅条纹都将会产生各自的一个中断信号,由于两个象限的光栅条纹间距不同,所以在扫描的时候只能有一个点将同时产生两个中断信号,而这个点就是在X

光刻机的技术原理和发展趋势

光刻机的技术原理和发展趋势 王平0930******* 摘要: 本文首先简要介绍了光刻技术的基本原理。现代科技瞬息万变,传统的光刻技术已经无法满足集成电路生产的要求。本文又介绍了提高光刻机性能的关键技术和下一代光刻技术的研究进展情况。 关键字:光刻;原理;提高性能;浸没式光刻;下一代光刻 引言: 光刻工艺直接决定了大规模集成电路的特征尺寸,是大规模集成电路制造的关键工艺。作为光刻工艺中最重要设备之一,光刻机一次次革命性的突破,使大模集成电路制造技术飞速向前发展。因此,了解光刻技术的基本原理,了解提高光刻机性能的关键技术以及了解下一代光刻技术的发展情况是十分重要的。本文就以上几点进行了简要的介绍。 光刻技术的基本原理: 光刻工艺通过曝光的方法将掩模上的图形转移到涂覆于硅片表面的光刻胶上,然后通过显影、刻蚀等工艺将图形转移到硅片上。 1、涂胶 要制备光刻图形,首先就得在芯片表面制备一层均匀的光刻胶。截止至2000年5月23日,已经申请的涂胶方面的美国专利就达118项。在涂胶之前,对芯片表面进行清洗和干燥是必不可少的。目前涂胶的主要方法有:甩胶、喷胶和气相沉积,但应用最广泛的还是甩胶。甩胶是利用芯片的高速旋转,将多余的胶甩出去,而在芯片上留下一层均匀的胶层,通常这种方法可以获得优于+2%的均匀性(边缘除外)。胶层的厚度由下式决定: 式中:F T为胶层厚度,ω为角速度,η为平衡时的粘度,ρ为胶的密度,t为时间。由该式可见,胶层厚度和转速、时间、胶的特性都有关系,此外旋转时产生的气流也会有一定的影响。甩胶的主要缺陷有:气泡、彗星(胶层上存在的一些颗粒)、条纹、边缘效应等,其中边缘效应对于小片和不规则片尤为明显。

选粉机说明书

NHX—Ⅲ系列高效转子式选粉机 使 用 说 明 书

目录 一、概述 二、工作原理 三、结构特性 四、规格与性能 五、选粉机外形尺寸 六、基础布臵尺寸参考图 七、安装与试运要求 八、操作维修及检验 九、产品细度的调节 十、使用注意事项 十一、主轴轴承目录 十二、磨机圈流改造注意点

一、概述 在水泥工业生产中,为提高粉磨系统的效率及降低产品的能耗,现普遍采用圈流粉磨系统。而作为该系统的重要组成部分的选粉机,其性能的先进与否直接影响到系统的工作效率。因此,选粉机的研制工作一直受到各科研院所及工矿企业的重视。 NHX-Ⅲ系列高效抗结露组合型双转子选粉机是我公司技术人员结合国内外先进选粉机技术,将平面涡流理论较好地运用在旋风式选粉机上,自行研制开发的最新型选粉机设备。经使用证明,选粉效率达到85~90%,且细度调节方面灵活,性能稳定可靠。 二、工作原理 NHX-Ⅲ系列高效抗结露组合型双转子选粉机的系统结构示意图1,其工作原理为: 1、调节阀 2、调速电机 3、主轴 4、进料口 5、风岔管 6、上转子 7、旋风管 8、选粉室 9、撒料盘10、下转子11、滴流装置12、外锥13、内锥14、粗粉出口15、细粉出口16、风机

1、出磨物料由选粉机上部料斗进入选粉机内壳,落到与转子成一体的组合式螺旋桨撒料盘上,在撒料盘的高速旋转作用下向四周撒出,同时受螺旋桨撒料盘叶片产生的上升气流作用向上扬起,在撒料盘螺旋桨叶片上形成物料沸腾。物料中较细的颗粒向上飘起,呈悬浮分散状态,而较粗或较重的物料被撒料盘叶片分散沿筒壁落下,完成第一次选粉。 2、撒料盘下方设有下笼形转子10,下笼形转子主轴一起转动,形成涡旋气流,将沿筒壁落下的粗重的物料再次打散,其中的细粉向上扬起,重新回到循环风中,再次分级,粗粉经滴流装臵,从内锥体排出。 3、撒料盘上方设有上笼形转子6。在选粉室内,上笼形转子分级圈表面附近的气流及分散于气流中的物料在分级圈的带动下与分级圈一起作高速转动,在分级圈周围形成均匀强烈的涡旋气流。在此区域内,任何位臵的离心力与抽吸力的关系都恒定不变,气流中的物料所受的离心力,大小可通过调速电机2主轴3的转速来调节。当转速增大时,该力也增大,此时如果保持风量一定,则切割粒径减小,产品变细;若转速减低,则产品变粗。 4、经上笼形转子分级后的细颗粒随循环风进入外部各个旋风集尘器进风口加设了导风板,在内锥筒增设了反射屏,下端增设了减速板,从而使旋风集尘器流体阻力大幅度下降。循环风在导板作用下,以较高的风速进入旋风收集器。在蜗牛角扩大部分风速突然降低,加速颗粒沉降,也提高了旋风集尘器的集尘效率。 三、结构特性 与传统选粉机相比,NHX-Ⅲ系列高效抗结露组合型双转子选粉机具有以下独特的优点: 1、采用可拆换组合式螺旋桨撒料盘。既具有撒料作用,又产生了上升气流使撒料盘叶面上的物料颗粒沸腾呈分散状态,可使物料颗粒增设分级、分散性能。 2、分级原理先进。结合多种选粉机理,利用方向相反的离心力和气流向心吸力的相平衡,物料都经过分级界面分明的选粉区,故分级精度高。 3、串联而成的下笼形转子可将上选粉室分离的粗粉物料颗粒重新扬起

打捆机的工作原理及操作要点 一

一、打捆机的工作原理及操作要点一、工作原理及工作过程:1. 工作原理本机配套动力适用于18马力以上的带后动力输出的拖拉机。主要通过捡拾机构、卷压滚筒机构、扎线机构和放捆机构自动完成软茎草类(稻、麦秸秆、牧草等)的捡拾、成型、打捆和放捆过程。打捆后的草捆尺寸为0.8m×0.5m,捡拾宽度0.8m。麦草打捆密度约90kg/m3。2. 工作过程拖拉机的动力输出轴通过万向传动轴,将拖拉机的动力输入到捆扎机的输入轴,通过链轮、链条分别传动卷压滚筒机构和拾草机构;使用拖拉机液压输出接口控制油缸活塞伸缩,实现放捆作业。拖拉机牵引捡拾打捆机跨骑在收货后成垄的秸秆草上,随着拖拉机的前进,挂上动力输出轴,已预调好适当高度的拾草机构开始转动,捡拾秸秆草喂入卷压室,随着捆扎机滚筒的连续转动,进入卷压室的秸秆草逐渐由小变大形成紧密圆捆。当草捆达到预定密度时,自动打开涨捆开关,报警喇叭鸣响,司机停止拖拉机前进,推动送绳离合器,送绳开始,当发现送绳加快时,松开离合器,拖拉机动力输出轴继续转动扎绳开始。绕预定圈数后,自动割断绳索,扎绳结束。司机拉动液压操作杆是液压阀换向,油缸工作,后机架打开,抛出草捆。放捆后,复位液压阀,关闭后机架,一个循环结束,拖拉机继续前进,捡拾开始下一个循环。 二、操作技术要点操作过程中要把握以下几个要点:1. 驾驶员应熟练掌握驾驶操作技术。作业时,应居中行驶,以防打捆出现大头现象。2. 捆扎生用外抽芯式结构,且结头少,强度高,以防绳断或绳卡。3. 送绳时油门要稳,保持中速油门,以保证送绳的质量。4. 送绳停止时,要立刻搬动液压阀,不要停顿,以免草捆被压辊搓散。放捆时不应减速,以便草捆靠旋转惯性放出.。

色选机说明书

CCD-280R产品说明 目录 第一章概述22222222222222222222222222222222222222221 第二章工作原理2222222222222222222222222222222222221 第三章技术参数2222222222222222222222222222222222222 第四章安装与说明22222222222222222222222222222222222 第五章操作与调整22222222222222222222222222222222225 第六章维护与保养22222222222222222222222222222222226 第七章常见故障与处理方法222222222222222222222222227 附:色选精度及色选带出比说明2222222222222222222222228 第一章概述 CCD大米色选机具有双视,二次分选功能的精选设备,同时保留了一次分选的功能,两者可以自由选择。在技术上采用了先进、环保、可靠的LED光源,双视CCD摄像图像数据采集专有技术和超强DSP运算处理内核以及高频电磁喷射机构,是集光、机、电、气、磁于一体的高科技产品,可将被选产品物料中的异色颗粒自动剔除,具有选别精度高,响应速度快,操作维护简便,结构紧凑,外观造型美观大方等特点,在国际上处于领先水平,可广泛用于粮食、油料、医药、化工等行业,特别适用于大米、花生、芝麻、瓜子、沙棘、豆类等颗粒状物料的精选。 第二章工作原理 被选物料从顶部的集米斗进入机器,通过供料装置(振动器)的振动,将被选物料沿供料分配槽下落,通过米道上端,顺米道加速下滑进入分选室内的观察口,并从图像处理传感器CCD和背景装置间穿过,在LED光源的作用下,CCD接受来自被选物料的合成光信号,使系统产生输出信号,并放大处理后传输至DSP运算处理系统,然后由控制系统发出指令驱动喷射电磁阀动作,将其中异色颗粒吹至出料斗的废料腔内流走。而好的被选物料继续下落至接料斗的成品腔内流出,从而使被选物料达到精选的目的。 1

双分离型高效选粉机使用安装说明书

一.概述 双分离式高效选粉机是专为辊压机联合粉磨系统开发的专用设备,它吸收国内外最新技术成果,对其关键结构进行技术改造和技术创新,解决以往选粉机在应用中存在的问题,提高选粉机的运转率和选粉效率,降低选粉机的空气阻力,提高选粉精度和降低能量消耗。 主要技术特点: 任意调节的调整涡流装置,可连续调整粒度分布的锐度,使得产品的颗粒级配好,分级精度高。改善了产品的颗粒级配,提高了产品质量。 涡轮式分级叶片,使选粉区的分选空间比其它型式的选粉机要大510倍。 在分级转子的内部安装了折流装置,使得转子的空气阻力大幅度降低,能量消耗减少。 转子上的分级叶片、分散、翼型导流装置和调整涡流装置采用了特殊的耐磨材料,使得选粉机的各个零部件使用寿命延长,提高了粉磨系统的运转率。 转子主轴承的润滑方式采用干油润滑,使得设备的运转率和可能性得到提高,降低销售成本,降低维修强度。 鉴于该产品的技术特点和技术优势,在国内水泥粉磨系统的项目中,完全替代了传统的O-Sepa选粉机产品。

二.结构和工作原理 1.结构概述 双分离式高效选粉机主要由壳体部分、回转部分、翼型导流装置、翼型导流板旋转装置等组成。 壳体部分由上壳体、中壳体、下壳体、进料装置、大弯管、上部支承盖板、传动支架组成。在壳体内装设有翼型导流装置,缓冲板,空气密封圈,下料锥管和折流锥装置。壳体侧面开设有检查门。 上壳体、中壳体和大弯管出口处内粘贴有耐磨陶瓷片。中壳体、下壳体、进料装置、翼型导流装置、缓冲板的各处均选用耐磨材料,下料锥管的内部以形成料衬来防止磨损。 壳体上部支承盖板承受选粉机主轴所联结的减速机、支座和电动机等重量。 回转部分由转子、主轴、主轴套、调心滚子轴承和止推轴承等组成。转子用键固定在主轴上,主轴通过传动部分的驱动而转动。 转子由撒料盘、分级叶片、二次挡料圈、折流板、上下轴套、联结板等组成。转子是选粉机的主要部分。 主轴及滚子轴承和止推轴承均安装在主轴套内。轴承采用干油润滑方式,并采用橡胶骨架油封和迷宫环进行双重密封。

煤磨动态选粉机使用说明

MX系列 煤磨动态选粉机使用说明书 江苏·盐城

目录 一、概述 二、结构工作原理 三、技术性能表 四、设备结构及各部位功能 五、技术革新及特点 六、安装要求 七、调试及运行 八、维护及维修

一、概述 我公司生产的MX系列高效动态煤粉选粉机是我公司2000年引进天津院图纸。它是在日本小野田公司O-Sepa原版图纸的基础上,成功应用国际先进水平的TSV4高效、低阻、节能涡轮转子技术,笼型转子选粉机和粗粉分离器组合为一体的新型高效动态选粉机,我公司引进该设备的生产技术以后,成功的嫁接了法国FCB公司国际选进TSV4选粉机涡轮转子技术及机翼状导流叶片。其分离的粒径范围为25μm至150μm,可以根据煤质变化和烧成情况的需要很方便的进行调节。是当前最为理想和可靠的煤粉分选设备。 二、工作原理 MX系列高效动态煤粉选粉机是将笼形转子选粉机和粗粉分离器组合为一体的设备,分为上、下两部分。上部为笼形转子选粉机;下部为粗粉分离器。 出磨物料由气体携带着进入选粉机下部的粗料套筒的立式内筒,气体中的物料在反击锥出受到碰撞作用而转向,由于上升风速的降低、提升气力的变小,粗颗粒向下降落并通过粗料出口离开选粉机;细颗粒由混合气体继续带到上部。到达位于导向风环与旋转着的笼形转子之间的选粉区,进行分选。细粉(即成品)由于气力的驱动,穿过笼形转子上的笼条并离开壳体上部的出风口进入(料、气)分离设备。 粗粉从选粉区降落下来进入内锥体,通过内锥体与反击锥之间的环形缝隙来实现物料的均匀分撒。这样,上升的混合气体可对此部分物料进行再分选,形成选粉机内部循环分选,以提高选粉机的效率。含尘气体携带着细粉从位于顶部的壳体上部的出风口进入分离设备。成品从分离设备卸出,经由输送设备进入煤粉仓。含尘气体进入收尘器,过滤后的气体通过系统风机后排入大气或部分在循环到系统中。

nikon光刻机

光刻机就是一台大照相机,带光刻胶的wafer就是底片,reticle上的图形就是风景,光源(汞灯或者激光)就是太阳光,当快门打开,光投射到reticle上,经过镜头的投射,就在wafer上成像了。和照相机不一样,每个风景只要拍一次就好了,reticle上的图形要拍很多次,要把整个wafer布满才算曝光结束。 从我熟悉的nikon光刻机说起:NIKON曾经是半导体行业的光刻之王,全世界80%的stepper都是nikon的,但是光刻机并不是日本人最先发明的,最早的大概是美国的GCA了,NIKON顶多算是GCA儿子。日本人是比较精明,他们买了一台GCA,把它拆开来仔细研究,在GCA的基础上进行了改进,再加上自己的优势->镜头(NIKON本来是军工企业,给小日本做潜艇望远镜的),推出了G4 (G4是我所知道的最老的型号的NIKON stepper了,不知道有没有G1-G3,如果有,我相信保有量也不是特别大,应该不是特别成熟)。紧接着G6, G7和G8的推出,把NIKON推入到巅峰时刻。那个时候全世界只知道NIKON,ASML和Canon 那时候根本不是对手。可以说在stepper上,NIKON是最大的赢家。随着技术的推进,stepper 已经跟不上时代的发展,大家开始往scanner上发展了,随着ASML推出创新的TWINSCAN,靠着产能的优势,一举打败了nikon,夺走了光刻机老大的地位,而且从那以后,NIKON一直没能翻身,市场被一点点蚕食,再也没有往日的辉煌了。 聊了一点历史,有些也是道听途说,不过大部分应该是真的,如果哪位兄弟了解得更详细,可以分享出来,让大家长长见识。CANON没接触过,据说12寸的STEPPER比较有市场,HYNIX用的就是CANON+ASML。 NIKON光刻机的主要组成部分:其实大部分光刻机组成都是一样的,一般分为:照明系(光源+产生均匀光的光路),STAGE(包括RETICLE STAGE和WAFER STAGE),镜头(这个是光刻机的核心),搬送系(wafer handler+ reticle handler),alignment (WGA, LSA, FIA)。另外半导体的工作温度是23度,要保证wafer在恒温和无particle的环境,一个chamber是必须的。 下面就是说一说各个组成部分怎么来进行工作的,可能有些地方说的不对,毕竟有一段时间没有去搞过它了,希望各位谅解。 照明系:顾名思义,用来照明的系统,光刻机的原理就是用光来投射到reticle上产生衍射,然后镜头收集到光汇聚到wafer上,形成图形,所以光是产生图形的必要条件。具体请翻阅一些工艺的相关资料,在这就不多说了。要有光首先要有光源,一般stepper都是用汞灯做光源,最早有1kw,2kw到最后发展到了5kw,越来越恐怖。后来为了提高分辨率,采用了新的光源:laser,分为Krf(248nm)和Arf(193nm),laser也是不断在增加功率,现在最高的可以达到60kw级别了(相当恐怖的激光能量)。为什么要发展大功率的汞灯和激光呢?这是产能的需求,在相同的曝光量下,光源的功率越高,曝光需要的时间越少,这样单位时间里面产能越高。 汞灯发出的光向各个方向扩散,我们需要把光汇聚起来,打到大光强的目的,这时候一个椭圆镜是必须的了。我们知道椭圆有两个焦点,我们把光源放到一个焦点上,那么光就会聚到另外一个焦点上,那就是快门的位置。同时这个椭圆镜还有另外一个功能,吸收不需要的光线。这种镜子上有一层涂层,一般500nm以上的红外光不被反射,而是被吸收。这些光会被产生热量,所以装汞灯的地方一定需要一个散热的东西,功率小一点的就用风扇吹,功率大的话就水冷了。 反射出来的光也不是全部需要的,我们只需要365nm(I-line)或者436nm(G-line)的波长,别的波长的光也是要淘汰的,这时候filter就上场了,它的作用就是过滤掉不要的东西,只让需要的波长的光通过。 激光作为光源就不需要上面的这些东西了,因为从激光器里面出来的光已经是很纯的

Z+RB系列色选机说明

Z+3RBL系列色选机说明 1索特克斯公司Z+3RBL系列光电色选机简介 1.1 Z+3RBL色选机色选原理 原料进入储存料斗,经过喂料器振动,持续不断地将物料分散并喂入溜槽,物料在流槽自由下落,以一定的速度均匀地流经光学检测部,在可见光和红外光的照射下,双色可见光相机和双色红外相机检测不同颜色和质地的物料在可见光和红外光下的反射率或透射率,并转化为电信号,送入数字信号处理系统;各种物料信息和输入信息进行比对,从而识别物料中的不良品,并通过喷射阀利用压缩空气,把不良的原料从物料流中分离出来。好的原料进入良品口,不好的原料进入不良品口,从而达到分离的效果。 加料料斗都 喂料器 料槽 红外摄像头 可见光摄像头 喷嘴 背景板 副品口 良品口 图一:色选机工作原理 2.2 Z+3RBL系列色选机——色选技术的革命 2.2.1 独特的技术: 高分辨率SORTEX Z+3RBL色选机综合应用InGaAs传感器、以客户为导向设计的可见光双色传感器,把食品安全方面的光学分选技术提升到一个新的高度,甚至在高含杂率的

情况下,剔除高难度的异物和异色颗粒,确保产品的安全性并使得产品颜色均一,同时最大程度地减少让费。 InGaAs技术(Indium Gallium Arsenide)最初用在太空和防卫工业,用来识别耕地和非耕地,植被和伪装材料之间的差异。这项技术被应用到食品光学分选领域,帮助食品加工企业从它的产品中剔除非常难以检测的不良品和异物。 2.2.2新颖的喷嘴系统: 气动喷嘴一定要超速,可靠,长寿和机械性能强。Z+3RBL系列色选机有192个高性能,寿命长的喷嘴,每个可维修的喷嘴使用寿命可高达20亿次,它保证喷射性能高,维修率低。这种新型的喷嘴经历了多年的研制,是为各种产量的原料加工需求而专门设计的独特部件。这种喷嘴是可以维修的,其寿命也是空前的,在必须调换时其费用也很低。喷嘴装卸非常简单无需工具;只要保证气源和电源的质量就能减少用户因喷嘴消耗的成本。 当喷嘴喷射物流时,气体经喷嘴结构自然吹出控制气体成功剔除副品,而且产量极大。Z+3RBL系列色选机在喷嘴阀和喷嘴之间有一套坚固的气体管道系统,这样将最大的能量从气阀送到喷嘴时非常准确。此外,坚固的硬管系统与软管结构相比,不易受周围环境影响而变热。 Z+3RBL系列色选机的喷嘴开口极小,水平喷射时确保最大限度控制气体扩散,垂直方向受喷嘴阀门打开和关闭的控制,其特制的开关频率速度高达几百个毫微秒。 正是由于喷嘴的精确工作与新的影像快速运算才能使Z+3RBL系列色选机进行高速运行。2.2.3先进的喂料系统: 改进的料斗,振荡盘和专门设计的料槽,确保物料精确地呈现在光学区和喷射区内。料斗的设计确保物料平铺直流而不是柱状流动。平铺直流能使物流均匀地连续地送到振荡盘,几乎自动清理。所有颗粒都以相同速度流动。而柱状流动则是中间流速快,二侧的速度慢,其结果是卸料不均匀,会产生潜在死角造成堵塞。 料斗将原料送到振荡盘上时经可调节料门控制,该料门有二个螺丝可进行上下调节,保证原料平铺直流到振荡盘上,整个喂料系统的零部件均由不锈钢制成,坚固耐磨。 特种阳极化处理的通道式料槽可用于复选,料槽的加热装置(选购件)可以处理那些在常温下喂料困难的物料。这种先进的喂料系统与新颖的喷嘴和高级影像技术相结合确保了Z+3RBL系列色选机色选产量大,得率高,损耗小。

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