硅的历史
1、锗的研究
1947年末巴丁(bardeen)和巴拉顿(brattain)证明在锗中存在二极管效应,随后晶体生长、提纯和掺杂工艺在20世纪40、50年代被发展起来,另外,对硅等其他半导体材料的兴趣渐有增长。但由于当时的条件无法提取出高纯硅,在20世纪40年代硅的半导体性质仍然被怀疑。1949年皮尔森(Pearson)和巴丁(bardeen)给出了硅半导体特性的证据。但由于所用的样品不是单晶,因此比锗的半导体性能低3倍,仅有一小部分研究者投入到硅及其晶体生长的研究中。
于此同时,微波的重要性不断提高,部分基于多晶硅的各种半导体探测器由于尺寸小、截止频率高,在微波应用方面取代了微波管。硅开始进军通讯技术。另外锗有80度热应力的限制,在产热量提高的情况下变得不适合做半导体材料。
但是20世纪50年代早期工业界,硅离作为一种半导体材料的普遍应用还很远。
2、硅的研究小组
从20世纪50年代开始,关于硅的研究小组主要有:贝尔实验室的G.K.迪尔(Teal)小组(1952年去德州仪器),主要研究硅单晶的生长;西门子集团的W.Heywang小组。西门子想再重要的新兴的半导体物理和技术领域展开竞争,而且拥有一定的研发优势:已拥有自己的整流器制造设备,有晶体管生产设施;西门子与豪斯科(Halske)材料研究实验室1951年开始主要从事硅的纯化,制出高纯度硅。在普莱茨菲尔德(Pretzfeld)的E.斯潘科(E.Spenke)领导下仍然在从事硒研究的功率整流器实验室,也加入到硅的工作中。
3、硅的大规模生产
1)垂直区熔法:1952年贝尔实验室斯尤尔(,降低杂质含量,需要开展不同西门子小组之间的紧密合作,另一方面开展与化学供应商瓦克的合作。经过若干技术改进、适用于大规模生产,可以制造直径为几个厘米,长度超过1m的硅棒。然而由于垂直区熔自身在物理上得局限,致使这些棒的直径受到制约。
2)经典坩埚提拉法:由于对更大直径硅晶片持续增长的需求,垂直区熔法被根据切克劳斯基(czochralski)法设计的经典坩埚提拉法取代,该方法在美国被广泛使用。
4、硅的器件应用
西门子-舒克特,斯潘科和他得小组为了在高功率整流器中的商业应用不懈地致力于硅的研发和技术提高以取代老得硒技术。这种新方法,包括器件技术,在1956年为应用做好了准备,并首先用于西门子机车中的功率整流器。整个国际西门子功率电子市场给这些整流器的应用提供了空间。西门子不追逐在硅市场垄断的政策,而是给全部高纯硅的制造过程颁发许可,不仅颁给德国瓦克,也颁给其他主要位于美国和日本的化学公司。这些许可协议也包括合作,以便进一步的改进能够被交换,以及发展国际范围的合作。
1957年基尔比(Killby)搭建了第一批功能化的集成电路。1960年贝尔实验室的康(Kahng)和艾塔拉(Atalla)首次研制出MOS晶体管。这两项发明为硅集成电路在信息技术中用用所必要地大规模市场开辟了道路。
5、硅工业的发展
大规模工业生产高品质单晶硅对于计算机通讯系统、传感器、医疗设备、光伏器件、卫星、宇宙飞船等都有重大影响,美国的贝尔实验室、德州仪器公司、欧洲的菲利普、西门子和瓦克等全球大公司抓住了机遇成为初期的硅生产厂家。20世纪50年代开发的西门子c制程包括有高品质的单晶硅、多熔区区域提纯硅和悬浮区熔硅(FZ)等关键技术,这些技术后被瓦克公司采用,FZ硅片最初主要是用于功率器件。切克劳斯基直拉工艺是另一种硅生产技术,CZ硅片用于德州仪器和仙童公司设计的集成电路。
1970年前后,多晶硅在MOS工艺中的首次应用是MOS技术的一次关键突破,因为他利
用了多晶硅的主要优势,从那时起,由于多晶硅的诸多性质如雨硅技术中所使用的其他材料的兼容性,超过1000度的温度稳定性,易于掺杂和氧化以及能够产生等角台阶覆盖,多晶硅已被用于各种类型器件的制作中。
1970-1976年,采用冷壁大气压反应炉进行多晶硅沉积,硅栅PMOS和NMOS集成电路成为20世纪70年代早期半导体市场的主角。1976年,低压化学气相沉积工艺被用于沉积多晶硅薄膜,从那时起lpcvd系统一直是用于集成电路多晶硅沉积的主要手段。
随着光伏产业的发展,由铸锭多晶硅生产的太阳电池被认为是成本低、生产效率高而且转换效率损失不太大的唯一现存工艺。铸锭技术必须用便宜的原材料,因为在切片过程中将损失60%原材料。由于上述原因,光伏产业一直在使用微电子工业的不合格材料,目前光伏市场的增长比微电子市场快,原材料的成本翻了3倍,其结果是硅原材料称为最严重的问题。
1975年,瓦克公司为替代传统的直拉技术生产廉价太阳电池衬底材料提出了一种新的称为铸锭工艺的方法,随后世界上众多研究小组和公司开发了其他许多铸锭工艺技术,例如Solarex(UCP)、Crystal-System(HEM)、CGE/photowatt(Polix)、IBM(DS)、NEC/OTC(NMR)Eurosolare、Cystalox、Bayer。
1981-1985年间,OTC和SERI开发了一种感应加热的冷坩埚铸锭技术。由住友SiTiX公司(前OTC)、EMP-Madylam和Photowatt一起开发的垂直连续拉制方法由EMIX SA使用。
1975年有三家公司同时首次生产出硅带材料Westinghouse的dendritic WEB技术称为“web”带硅工艺,ASE-Americas(前MobilTyco/Mobil-Solar)公司使用两个石墨模片的边缘限制生产工艺称为EFG工艺,Motorola采用激光熔化的带晶体生长工艺称为RTR工艺,法国cge公司开发了一种在炭片上沉积双面膜的RAD工艺。硅带技术正在迅速发展。
6、硅工业的扩散
随着半导体和光伏产业的迅速发展,对硅的需求大量增加,硅工业也逐渐扩散到世界各地,包括全球性公司如瓦克公司等地全球扩张和其他发展中国家硅工业的发展。
硅的知识点概述 一、硅及其化合物之间的相互转化关系 二、CO2和SiO2 物质二氧化硅二氧化碳 化学式 SiO2 CO2 晶体类型原子晶体分子晶体 物理性质硬度大、熔沸点高、常温下为固体、不溶于水熔沸点低,常温下为气体,微溶于水 化 学 性 质①与水反应不反应 CO2+ H2O H2CO3 ②与酸反应 SiO2+ 4HF = SiF4↑+2H2O 不反应 ③与碱反应盛碱液的试剂瓶用橡皮塞 SiO2+ 2NaOH = Na2SiO3+H2O(反应条件:高温) CO2(少量)+ 2NaOH= Na2CO3 + H2O CO2(过量)+NaOH = 2NaHCO3
④与盐反应 SiO2 + Na2CO3 =Na2SiO3+ CO2↑(反应条件:高温) SiO2+ CaCO3 = CaSiO3 +CO2↑(反应条件:高温) Ca(ClO)2+ CO2+ H2O=CaCO3↓ + 2HClO CO2 + Na2CO3 + H2O = 2NaHCO3 ⑤与碱性氧化物反应 SiO2 + CaO = CaSiO3 (反应条件:高温) CO2 + Na2O =Na2CO3 三、硅、硅酸及硅酸盐: 1.硅:单质硅有晶体硅和无定形硅两种。晶体硅为原子晶体,灰黑色、有金属光泽、硬度大而脆、熔沸点高。导电性介于导体和绝缘体之间,是常用的半导体材料。 化学性质: ①常温Si + 2F2= SiF4 ; Si + 4HF= SiF4 +2H2 ; Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2↑ 的硅,工业上用焦炭在电炉中还原二氧化硅制取粗硅:SiO 2+ 2C = Si + 2CO↑ 2.硅酸(H2SiO3或原硅酸H4SiO4):难溶于水的弱酸,酸性比碳酸还弱。 3.硅酸钠:溶于水,其水溶液俗称“水玻璃”,是一种矿物胶。盛水玻璃的试剂瓶要使用橡胶塞。能与酸性较强的酸反应:Na2SiO3 +2HCl = H2SiO3↓(白)+ 2NaCl;Na2SiO3+ CO2 + H2O =H2SiO3↓+ Na2CO3
引言 目前伴随着国内代工行业的兴起,在产业链的前端材料行业,大直径硅片的国产化迫在眉睫。为了国内半导体产业做到自主可控,我们必须发展大直径硅片材料产业。 日本在半导体材料方面的全球份额占比很高,最近发生的日本禁止向韩国出口半导体材料事件,导致韩国半导体行业不得不转向其他渠道解决难题,这从侧面反映了日本作为半导体材 料的大国,一举一动都会牵扯到全行业产业链的神经。 中国的硅材料产业:起了大早,未赶上班车 在国际贸易冲突频发的今天,半导体已经成为了“重灾区”。广为人知的有两个事件导火索, 一个是中兴事件,一个是华为风波。还有一例就是日本禁止向韩国出口半导体材料举措。2019年200mm硅片需求显著下降,而300mm硅片需求却维持坚挺,月需求量超过600万片。 我国大硅片主要依赖进口。因为我们的大硅片产业还处于一个起步阶段。1997年中国拉制成 功直径300mm硅单晶棒,大硅片研发项目启动时间并未比国外晚太多。后期研发由于产业 投入不足,市场环境尚未形成。 目前,国内近100万片的月需求量主要依赖进口。张果虎形象的比喻说,“中国的300mm硅 材料,起了大早,未赶上班车。” 中国正在全力发展大硅片产业,如何突破并形成产业竞争力,如何掌握“杀手锏”?日本的经 验值得我们参考和研究。 日本大硅片的现状 半导体硅材料起步于欧美,日本起步落后于欧美,但今天实现了反超,并取得绝对领先地位,占据全球60%以上份额。2019年全球半导体市场下降,日本信越等却维持良好营收和利润增长。 日本的半导体材料核心企业主要有两家:信越Shinetsu和胜高SUMCO。信越的主要产品是 在PVC、硅片、电子功能材料三个领域,并占据全球第一的市场份额。其中硅片为信越化学 的一个事业部业务。胜高SUMCO是由Mistsubishi M. Silicon、SumitomoSiTix、KomatsuElec.等多家公司合并而成。 全球300mm硅片出货量最大的是信越,其次是胜高。两家的月出货量合计超过350万片,远远超出第三家Globalwafer的月出货量90万片。日本这两家300mm硅片出货量占全球比例达到55%,占据主导地位近20年。(来源:SEMI数据)
非晶硅太阳能电池 赵准 (吉首大学物理与机电工程学院,湖南吉首 416000) 摘要:随着煤炭、石油等现有能源的频频告急和生态环境的恶化.使得人类不得不尽快寻找新的清洁能源和可再生资源。其中包括水能、风能和太阳能,而太阳能以其储量巨大、安全、清洁等优势使其必将成为21世纪的最主要能源之一。太阳是一个巨大的能源,其辐射出来的功率约为其中有被地球截取,这部分能量约有的能量闯过大气层到达地面,在正对太阳的每一平方米地球表面上能接受到1kw左右的能量。 目前分为光热发电和光伏发电两种形式。太阳能热发电是利用聚光集热器把太阳能聚集起来,将一定的工质加热到较高的温度(通常为几百摄氏度到上千摄氏度),然后通过常规的热机动发电机发电或通过其他发电技术将其转换成电能。光伏发电是利用界面的而将光能直接转变为电能的一种技术。目前光—电转换器有两种:一种是光—伽伐尼电池,另一种是光伏效应。由一个或多个太阳能电池片组成的太阳能电池板称为光伏组件,将光伏组件串联起来再配合上功率控制器等部件就形成了光伏发电装置。因为光伏发电规模大小随意、能独立发电、建设时间短、维护起来也简单.所以从70年代开始光伏发电技术得到迅速发展,日本、德国、美国都大力发展光伏产业,他们走在了世界的前列,我国在光伏研究和产业方面也奋起直追,现在以每年20%的速度迅速发展。 关键词:光伏发电;太阳能电池;硅基太阳能电池;非晶硅太阳能电池
1.引言 1976年卡尔松和路昂斯基报告了无定形硅(简称a一Si)薄膜太阳电他的诞生。当时、面积样品的光电转换效率为2.4%。时隔20多年,a一Si太阳电池现在已发展成为最实用廉价的太阳电池品种之一。非晶硅科技已转化为一个大规模的产业,世界上总组件生产能力每年在50MW以上,组件及相关产品销售额在10亿美元以上。应用范围小到手表、计算器电源大到10Mw级的独立电站。涉及诸多品种的电子消费品、照明和家用电源、农牧业抽水、广播通讯台站电源及中小型联网电站等。a一Si太阳电池成了光伏能源中的一支生力军,对整个洁净可再生能源发展起了巨大的推动作用。非晶硅太阳电他的诞生、发展过程是生动、复杂和曲折的,全面总结其中的经验教训对于进一步推动薄膜非晶硅太阳电池领域的科技进步和相关高新技术产业的发展有着重要意义。况且,由于从非晶硅材料及其太阳电池研究到有关新兴产业的发展是科学技术转化为生产力的典型事例,其中的规律性对其它新兴科技领域和相关产业的发展也会有有益的启示。本文将追述非晶硅太阳电他的诞生、发展过程,简要评述其中的关键之点,指出进一步发展的方向。 2.太阳能电池概述 .太阳能电池原理 太阳能电池是通过光电效应或者光化学效应把光能转化成电能的装置。太阳能电池以光电效应工作的结晶体太阳能电池和薄膜式太阳能电池为主流,而以光化学效应工作的湿式太阳能电池则还处于萌芽阶段。太阳能电池工作原理的基础是半导体PN结的光生伏特效应。所谓光生伏特效应就是当物体受到光照时,物体内的电荷分布状态发生变化而产生电动势和电流的一种效应。 为了理解太阳能电池的运做,我们需要考虑材料的属性并且同时考虑太阳光的属性。太阳能电池包括两种类型材料,通常意义上的P型硅和N型硅。在纯净的硅晶体中,自由电子和空穴的数目是相等的。如果在硅晶体掺杂了能俘获电子的硼、铝、镓、铟等杂质元素,那么就构成P型半导体。如果在硅晶体面中掺入能够释放电子的磷、砷、锑等杂质元素,那么就构成了N型半导体。若把这两种半导体结合在一起,由于电子和空穴的扩散,在交接面处便会形成PN结,并在结的两边形成内建电场。太阳光照在半导体 p-n结上,形成新的空穴-电子对,在p-n结电场的作用下,空穴由n 区流向p区,电子由p区流向n区,接通电路后就形成电流。这就是光电效应,也是太阳能电池的工作原理。 太阳能电池种类 太阳能电池的种类有很多,按材料来分,有硅基太阳能电池(单晶,多晶,非晶),化合物半导体太阳能电池(砷化镓(GaAs),磷化铟(InP),碲化镉(CdTe), 铜铟镓硒(CIGS)),有机聚合物太阳能电池(酞青,聚乙炔),染料敏化太阳能电池,纳米晶太阳能电池;按结构来分,有体结晶型太阳能电池和薄膜太阳能电池。
大数据的发展历程总体上可以划分为三个重要阶段,萌芽期、成熟期和大规模应用期,20世纪90年至21世纪初,为萌芽期,随着,一批商业智能工具和知识管理技术的开始和应用,度过了数据萌芽。21世纪前十年则为成熟期,主要标志为,大数据解决方案逐渐走向成熟,形成了并行计算与分布式系统两大核心技,谷歌的GFS和MapReduce等大数据技术受到追捧,Hadoop平台开始大行期道,2010年以后,为大规模应用期,标志为,数据应用渗透各行各业,数据驱动决策,信息社会智能化程度快速提高。 数据时代的到来,也推动了数据行业的发展,包括企业使用数据获取价值,促使了大量人员从事于数据的学习,学习大数据需要掌握基础知识,接下从我的角度,为大家做个简要的阐述。 学习大数据需要掌握的知识,初期了解概念,后期就要学习数据技术,主要包括: 1.大数据概念 2.大数据的影响
3.大数据的影响 4.大数据的应用 5.大数据的产业 6.大数据处理架构Hadoop 7.大数据关键技术 8.大数据的计算模式 后三个牵涉的数据技技术,就复杂一点了,可以细说一下: 1.大数据处理架构Hadoop:Hadoop的特性、Hadoop生态系统、Hadoop 的安装与使用; 2.大数据关键技术技术:数据采集、数据存储与管理、数据处理与分析、数据隐私与安全; 3.大数据处理计算模式:批处理计算、流计算、图计算、查询分析计算
数据的核心技术就是获取数据价值,获取数据前提是,先要有数据,这就牵涉数据挖掘了。 本文内容由北大青鸟佳音校区老师于网络整理,学计算机技术就选北大青鸟佳音校区!了解校区详情可进入https://www.doczj.com/doc/6912539563.html,网站,学校地址位于北京市西城区北礼士路100号!
第四讲无机非金属材料的主角——硅 ※知识要点 一.硅 硅在地壳中的含量仅次于,为26.3%。硅在自然界中以存在,主要为 和。单质硅有和两种。晶体硅的结构类似金刚石,是带有的色固体。熔点,硬度。在常温下化学性质。晶体硅的导电性介于和之间,是良好的。硅成为的关键材料,硅也是人类将转化为的常用材料。 硅的化学性质: 常温下:单质硅的性质很稳定,只与F2 ,强碱及氢氟酸反应,反应的方程式分别为 加热的条件下:单质硅可以与一些非金属反应,如氧气、氢气、氯气等,反应的方程式分别为 二.二氧化硅 1.二氧化硅(SiO2):SiO2的熔点,硬度,溶于水。其的存在形态有和两大类,统称为。石英晶体是结晶的二氧化硅,石英中无色透明的晶体是,具有彩色带环状或层状的称为。SiO2的空间构型是。 2.二氧化硅的化学性质很 1)氢氟酸是唯一能与SiO2反应的酸:方程式为 ∴氢氟酸会腐蚀玻璃,可以用来刻蚀玻璃。 思考:能否用玻璃瓶盛装氢氟酸?如不能,应用什么盛装? 2)SiO2是一种氧化物,但溶于水,也不能与水反应生成H2SiO3 。 SiO2与碱性氧化物反应生成盐:SiO2+ CaO —— SiO2能和强碱反应:。 ∴强碱会腐蚀玻璃,装强碱溶液的试剂瓶应该用塞。
3、工业上利用SiO2可制高纯硅,反应原理用方程式表示是: SiO2 + C —— 3.二氧化硅的用途: 三.硅酸 硅酸是一种溶于水的酸(酸性比碳酸还),不能使指示剂变色。 1、硅酸与碱反应: 2、硅酸制备: 由于SiO2,故不能和水反应制取硅酸。硅酸的制备一般可以通过和某些酸反应,例如 Na2SiO3 + HCl —— Na2SiO3 + CO2+ H2O —— 3、硅酸不稳定: 硅胶多孔,吸附水分能力,常用作 四.硅酸盐(一般溶于水,化学性质) 硅酸钠(Na2SiO3)的水溶液俗称为,可用作、、 及等。 硅酸盐的组成大多比较复杂,表示它们的时候可以将其改写成SiO2和相应金属氧化物的形式。如:Na2SiO3改写成 高岭石Ai2(Si2O5)(OH)4改写成 五.硅酸盐工业 1.玻璃 以、、为原料,在下发生复杂的化学、物理变化。 生产过程中涉及的主要反应有, 。 所得产品的主要成分是、、。 玻璃是(纯净物或混合物),它固定的熔点,只在一定的温度范围内软化。 2.陶瓷:主要原料。 3.水泥
2020年半导体硅材料企业三年发展战略规划 2020年7月
目录 一、公司发展战略 (3) 二、未来三年发展计划 (4) 1、发展目标 (4) 2、发展计划 (4) (1)技术开发与产品扩充计划 (4) (2)人才储备计划 (4) (3)市场开拓计划 (5) (4)完善公司治理计划 (5) (5)筹资计划 (6) 三、发展计划的假设条件及将面临的困难 (6) 1、发展计划所依据的假设条件 (6) 2、实现发展计划可能面临的困难 (7) 四、公司发展计划和公司现有业务的关系 (7)
公司将以IPO为契机,以公司发展战略为导向,通过募投项目的顺利实施,在巩固分立器件用硅研磨片行业地位的前提下,未来将加大产品深加工,提升半导体单晶硅抛光片的研发和制造能力,拓展高端分立器件和集成电路用硅材料市场,进一步深挖细分领域产品应用,开发新的增长点,推进公司主营业务持续、健康、快速发展。 一、公司发展战略 公司以推进中国半导体单晶硅材料国产化进程为企业使命,以成为世界先进的半导体硅材料制造商为愿景,始终秉承“品质中晶、美好生活”的经营理念,贯彻“追求技术创新,成就完美品质”的质量方针,以“MTCN”制造能力(Manufacture)、技术水平(Technology)、客户关系(Client relations)领先的内涵为战略指引,以质量为核心,以技术优势为依托,以市场为导向,有计划、有步骤、积极稳妥地实施公司规模化、特色化和品牌化的战略目标。公司借力首次公开发行并上市,进一步增强综合实力和核心竞争力,在巩固现有半导体硅产品行业地位的前提下,提升半导体单晶硅抛光片的研发和制造能力,抓住现有全球半导体产业转移和国家政策环境的机遇,实现产品深加工延伸,进一步拓展产品细分领域应用,丰富产品种类,提升产品质量,降低相关产品应用市场的进口依赖,开发新的业务增长点,实现新的利润增长。
云计算与大数据基础知识 一、云计算是什么? 云计算就是统一部署的程序、统一存储并由相关程序统一管理着的数据! 云计算cloud computing是一种基于因特网的超级计算模式,在远程的数据中心里,成千上万台电脑和服务器连接成一片电脑云。因此,云计算甚至可以让你体验每秒超过10万亿次的运算能力,拥有这么强大的计算能力可以模拟核爆炸、预测气候变化和市场发展趋势。用户通过电脑、笔记本、手机等方式接入数据 中心,按自己的需求进行运算。 云计算是一种按使用量付费的模式,这种模式提供可用的、便捷的、按需的网络访问,进入可配置的计算资源共享池(资源包括网络,服务器,存储,应用软件,服务),这些资源能够被快速提供,只需投入很少的管理工作,或与服务供应商进行很少的交互。 通俗的理解是,云计算的“云”就是存在于互联网上的服务器集群上的资源,它包括硬件资源(服务器、存储器、CPU等)和软件资源(如应用软件、集成开发环境等),所有的处理都在云计算提供商所提供的计算机群来完成。 用户可以动态申请部分资源,支持各种应用程序的运转,无需为繁琐的细节而烦恼,能够更加专注于自己的业务,有利于提高效率、降低成本和技术创新。 云计算的核心理念是资源池。 二、云计算的基本原理 云计算的基本原理是,在大量的分布式计算机集群上,对这些硬件基础设施通过虚拟化技术构建不同的资源池。如存储资源池、网络资源池、计算机资源池、数据资源池和软件资源池,对这些资源实现自动管理,部署不同的服务供用户应用,这使得企业能够将资源切换成所需要的应用,根据需求访问计算机和存储系统。 打个比方,这就好比是从古老的单台发电机模式转向了电厂集中供电的模式。它意味着计算能力也可以作为一种商品进行流通,就像煤气、水电一样,取用方便,费用低廉。最大的不同在于,它是通过互联网进 行传输的。 三、云计算的特点 1、支持异构基础资源 云计算可以构建在不同的基础平台之上,即可以有效兼容各种不同种类的硬件和软件基础资源。硬件基础资源,主要包括网络环境下的三大类设备,即:计算(服务器)、存储(存储设备)和网络(交换机、路由器等设备);软件基础资源,则包括单机操作系统、中间件、数据库等。 2、支持资源动态扩展 支持资源动态伸缩,实现基础资源的网络冗余,意味着添加、删除、修改云计算环境的任一资源节点,或者任一资源节点异常宕机,都不会导致云环境中的各类业务的中断,也不会导致用户数据的丢失。这里的
中国半导体硅材料行业研究 -行业发展环境、技术、特征及行业上下游 行业发展环境 1、有利因素 (1)国家政策大力支持 半导体产业是对信息安全、国民经济极其重要的战略性产业,近几十年来,中国在半导体领域实现了飞速发展,并成为中国信息产业的核心。近年来国家高度重视半导体产业的发展并出台了一系列政策,《中华人民共和国国民经济和社会发展第十三个五年规划纲要》、《“十三五”国家战略性新兴产业发展规划(2016-2020 年)》、《“十三五”国家信息化规划》等产业政策均将半导体产 业列为重点发展领域;《国家集成电路产业发展推进纲要》的出台,为中国集成电路产业实现跨越式发展注入了强大动力。《战略性新兴产业重点产品和服务指导目录(2016 版)》、《战略性新兴产业分类(2018)》的发布,明确了关键 电子材料之一的半导体硅材料作为战略性新兴产业重点产品,同时提出要重点发展快恢复二极管(FRD)、发光二极管(LED)、功率肖特基二极管等电子元器件,此外还新增了半导体晶体制造,明确将电子级单晶硅片作为战略性新兴产业。国家政策的支持为半导体硅材料行业的发展奠定了坚实的基础,创造了良好的政
策环境。 (2)下游行业需求旺盛 半导体硅材料的下游需求为集成电路和分立器件领域,最终应用于消费电子、汽车电子、家用电器、通讯安防、绿色照明、新能源等终端产品中。随着电子信息产品的逐步普及,终端产品的持续更新和升级,智能手机、平板电脑、数字电视、汽车电子、个人医疗电子、物联网、三网合一等成为半导体产业发展的动力,并带动相关的材料、设备产业的发展。在下游市场强劲需求的带动下,全球现有的半导体硅片产能无法满足下游半导体芯片的需求,因此国内外各大厂商均加大投资,扩大产能。在国家政策的支持、全球半导体产业转移的大趋势、电子信息化的不断深化发展背景下,半导体分立器件和集成电路行业有望持续发展,保持增长,这为核心材料半导体硅片市场的发展提供了广阔的前景。
硅酸钠基本知识简介 英文名:Sodium silicate, Water glass. 硅酸钠是无色固体,密度2.4g/cm3,熔点1321K(1088℃)。溶于水成粘稠溶液,俗称水玻璃、泡花碱。是一种无机粘合剂。 固体硅酸钠南方多称水玻璃,北方多称泡花碱,硅酸钠的水溶液通称水玻璃。纯固体硅酸钠为无色透明固体,市售硅酸钠多含有某些杂质,略带浅蓝色。 硅酸钠俗称水玻璃,液体硅酸钠为无色、略带色的透明或半透明粘稠状液体。固体硅酸钠为无色、略带色的透明或半透明玻璃块状体。形态分为液体、固体、水淬三种。理论上称这类物质为“胶体”。普通硅酸钠为略带浅蓝色块状或颗粒状固体,高温高压溶解后是略带色的透明或半透明粘稠液体。 市面上出售的AR分析纯水玻璃为Na2SiO3·9H2O,放置在空气中吸潮、结块。在水中的极易溶解。 泡花碱也就是硅酸钠(Na2SiO3),溶于水后形成的粘稠溶液,通称水玻璃,呈碱性。它的用途非常广泛,往往根据其粘结性强的特点,被用做硅胶,而且耐酸、耐热。有毒,但对一般的接触没有影响,误食则会对人体的肝脏造成危害 分类介绍 1、硅酸钠分两种,一种为偏硅酸钠,化学式Na2SiO3,式量122.00。另一种为正硅酸钠,化学式Na4SiO4,式量184.04。 2、正硅酸钠是无色晶体,熔点1291K(1088℃),不多见。水玻璃溶液因水解而呈碱性(比纯碱稍强)。因系弱酸盐所以遇盐酸,硫酸、硝酸、二氧化碳都能析出硅酸。保存时应密切防止二氧化碳进入,并应使用橡胶塞以防粘住磨口玻璃塞。工业上常用纯碱与石英共熔制取Na2CO3+SiO2→Na2SiO3+CO2↑,制品常因含亚铁盐而带浅蓝绿色。用为无机粘接制剂(可与滑石粉等混合共用),肥皂填充剂,调制耐酸混凝土,加入颜料后可做外墙的涂料,灌入古建筑基础土壤中使土壤坚固以防倒塌。 3、偏硅酸钠是普通泡化碱与烧碱水热反应而制得的低分子晶体,商品有无水、五水和九水合物,其中九水合物只有我国市场上存在,是在上世纪80年代急需偏硅酸钠而仓促开发的技术含量较低的应急产品,因其熔点只有42℃,贮
精心整理 云计算与大数据基础知识 一、云计算是什么? 云计算就是统一部署的程序、统一存储并由相关程序统一管理着的数据! 云计算cloudcomputing是一种基于因特网的超级计算模式,在远程的数据中心里,成千上万台电脑和服务器连接成一片电脑云。因此,云计算甚至可以让你体验每秒超过10万亿次的运算能力,拥有这么强大的计算能力可以模拟核爆炸、预测气候变化和市场发展趋势。用户通过电脑、笔记本、手机等方式接入数据中心,按自己的需求进行运算。 二、 三、 1 );软件2 任一资源节点异常宕机,都不会导致云环境中的各类业务的中断,也不会导致用户数据的丢失。这里的资源节点可以是计算节点、存储节点和网络节点。而资源动态流转,则意味着在云计算平台下实现资源调度机制,资源可以流转到需要的地方。如在系统业务整体升高情况下,可以启动闲置资源,纳入系统中,提高整个云平台的承载能力。而在整个系统业务负载低的情况下,则可以将业务集中起来,而将其他闲置的资源转入节能模式,从而在提高部分资源利用率的情况下,达到其他资源绿色、低碳的应用效果。 3、支持异构多业务体系 在云计算平台上,可以同时运行多个不同类型的业务。异构,表示该业务不是同一的,不是已有的或事先定义好的,而应该是用户可以自己创建并定义的服务。这也是云计算与网格计算的一个重要差异。 4、支持海量信息处理 云计算,在底层,需要面对各类众多的基础软硬件资源;在上层,需要能够同时支持各类众多的异构的业务;
而具体到某一业务,往往也需要面对大量的用户。由此,云计算必然需要面对海量信息交互,需要有高效、稳定的海量数据通信/存储系统作支撑。 5、按需分配,按量计费 按需分配,是云计算平台支持资源动态流转的外部特征表现。云计算平台通过虚拟分拆技术,可以实现计算资源的同构化和可度量化,可以提供小到一台计算机,多到千台计算机的计算能力。按量计费起源于效用计算,在云计算平台实现按需分配后,按量计费也成为云计算平台向外提供服务时的有效收费形式。 四、云计算按运营模式分类 1、公有云 公有云通常指第三方提供商为用户提供的能够使用的云,公有云一般可通过Internet使用,可能是免费或成本低廉的。 烦。B 2 3 五、 六、 1、传统的IT部署架构是“烟囱式”的,或者叫做“专机专用”系统。 图2传统IT基础架构 这种部署模式主要存在的问题有以下两点: 硬件高配低用。考虑到应用系统未来3~5年的业务发展,以及业务突发的需求,为满足应用系统的性能、容量承载需求,往往在选择计算、存储和网络等硬件设备的配置时会留有一定比例的余量。但硬件资源上线后,应用系统在一定时间内的负载并不会太高,使得较高配置的硬件设备利用率不高。 整合困难。用户在实际使用中也注意到了资源利用率不高的情形,当需要上线新的应用系统时,会优先考虑部署在既有的基础架构上。但因为不同的应用系统所需的运行环境、对资源的抢占会有很大的差异,更重要的是考虑到可靠性、稳定性、运维管理问题,将新、旧应用系统整合在一套基础架构上的难度非常大,更多的用户往往选择新增与应用系统配套的计算、存储和网络等硬件设备。
中国硅材料产业现状分析 有研半导体材料股份有限公司供稿 硅材料是制造半导体器件和太阳能电池的关键材料,面对着两个发展着的产业,一个是半导体产业,一个是太阳能光伏产业。半导体产业已经从原来周期性大起大落,平均增速达17%左右,步入一个增速减缓、起伏不大的新时代。而光伏产业正处在以平均30%的年增长速度迅猛发展的时代。作为这两大产业的主要原料,多晶硅紧缺的局面近期内仍将持续。 1 半导体硅片产业 (1)全球半导体硅产业 全球硅片材料生产,主要集中在日、美、德三国,其他还有韩国、马来西亚、芬兰、中国大陆和中国台湾地区。生产的硅片主要有抛光片、外延片、回收片、SOI片及非抛光片等。根据SEMI硅制造商团体(SEMI SMG)最新统计,2007年世界半导体用硅片的产量为86.61亿平方英寸(1英寸=25.4毫米)销售额为121亿美元,产量和销售额增长率分别为8%和21%。世界硅片出货量经历了连续6年的增长。2002-2007年世界硅片的产量和销额如表1所示: 表1 2002-2007年世界硅片的产量和销售额 2002 2003 2004 2005 2006 2007 销售额/亿美元 55 58 73 79 100 121 产量/亿英寸246.81 51.49 62.62 66.45 79.96 86.61 其中: 抛光片 35.21 38.21 46.57 外延片 9.43 11.11 13.63 14.44 18.21 非抛光片 2.17 2.26 2.42 2.25 2.54 注:抛光片包括正片、陪片,但不包括回收片。 从表1可见,在全球硅硅片总交货面积中抛光片约占75%,硅外延片约占
第二部分:【基本理论】替换PDF文件中的第二部分 一、碳、硅及化合物的关系网络 1、相互转化关系 2、硅的性质和制备: 物理性质:①硅在自然界中只有态,没有态。其含量在地壳中居第位,是构成矿 物和岩石的主要成分。②晶体硅为原子晶体。灰黑色,有金属光泽,硬而脆的固体,是半导体,具有较 ......................... 高的硬度和熔点。 ........ 化学性质:硅的化学性质不活泼。 ①常温下,只能与氟气、氢氟酸及强碱溶液反应: Si + 2F2 = SiF4 、Si + 4HF = SiF4 + 2H2↑、Si + 2NaOH + H2O =。 ②在加热条件下,能与氧气、氯气等少数非金属单质化合:Si + O2 SiO2 制备:在电炉里用碳还原二氧化硅先制得粗硅:SiO2 + 2C。 将制得的粗硅,再与C12反应后,蒸馏出SiCl4,然后用H2还原SiCl4可得到纯硅。有关的反应为:Si 十2C12 SiCl4、SiCl4 + 2H2 Si + 4HCl 应用:①高纯硅可作材料;②晶体硅还可做光电转换材料及制作生物工程芯片。 3、二氧化硅的性质和应用: ①SiO2为晶体,是一种坚硬难熔的固体,硬度、熔点都很高。 ②二氧化硅的化学性质很稳定,不能跟酸(氢氟酸除外)发生反应。 ③二氧化硅是一种酸性氧化物,所以能跟碱性氧化物或强碱反应。 SiO2 + CaO CaSiO3 、SiO2 + 2NaOH = Na2SiO3 + H2O(碱溶液不能在使用磨口玻璃塞的试剂瓶中)④二氧化硅是一种特殊的酸性氧化物。 a.酸性氧化物大都能直接跟水化合生成酸,但二氧化硅却不能直接跟水化合,它的对应水化物(硅酸)只能用相应的可溶性硅酸盐跟盐酸作用制得。 首先,让SiO2和NaOH(或Na2CO3)在熔化条件下反应生成相应的硅酸钠:SiO2+2NaOH;然后,用酸与硅酸钠作用制得硅酸:Na2SiO3+2HCl === 。
中国硅产业发展方向与挑战 得益于新能源、新材料等领域需求的快速增长,目前我国硅产业整体实现了长足发展,硅产业技术水平大幅提升。工业硅、多晶硅、单晶硅、有机硅在过去的十年中,产业规模、工艺装备、技术经济指标等方面都取得了长足进步,综合实力明显提高。硅产业规模已跻身我国有色金属工业继铝、铜、铅、锌之后的第五大品种,并且国家统计局已经将硅产品列入国家统计的范畴i。 尽管在国家支持新材料、新能源产业发展的背景下,硅产业取得了一定的成绩,但是硅产业市场仍然面临一些变局和挑战。当前我国硅产业正处于战略转型期,面临着创新能力有待加强、发展质量亟待提升、协调发展不通畅以及行业绿色发展认知等多重挑战,转型发展的任务十分艰巨。 首先,在创新发展、高质量发展方面,硅产业高质量发展要围绕国家战略需求,着力突破电子级多晶硅、单晶硅生产的关键核心技术和工艺。通过发展智能制造,彻底解决产品批次稳定性问题,促进产业迈向中高端,满足我国集成电路等现代制造业发展和维护国家安全的需要。其次,在国内外协调发展方面,从国内产业结构调整上要积极引导工业硅、多晶硅、铸锭、拉晶产能向能源丰富的西部地区有序转移的同时,实现产业规模的合理控制,使产品有市场,需求有保障,供给结构与需求结构相互匹配,实现全产业链的平稳运行与高质量发展。再者,在国际贸易纠纷方面,硅产业相关产品一直以来都是国际贸易纠纷的关注点,早在20世纪90年代,工业硅出口就被欧美国家征收高达200%以上的反倾销税,同时,在我国有机硅、多晶硅发展初期,均受到海外企业的技术封锁和产品倾销。此外,在行业绿色发展方面,国内硅产业应积极贯彻绿色发展理念,在提高产品质量的同时,显著降低能源消耗以及各种废弃污染物的产生,力争建成科技含量高、资源消耗低、环境污染少的绿色制造体系,企业应该将安全标准化作为一项基本要求。 因此,对于我国硅产业的未来发展,要特别重视以下几点:一是要坚持结构调整;二是要坚持技术创新;三是要坚持绿色发展;四是要坚持开放发展;五是要注重防范风险。以下对硅产业中几个主要门类发展情况进行更深入介绍。 1、工业硅
多晶硅薄膜材料同时具有单晶硅材料的高迁移率及非晶硅材料的可大面积、低成本制备的优点。因此,对于多晶硅薄膜材料的研究越来越引起人们的关注,多晶硅薄膜的制备工艺可分为两大类:一类是高温工艺,制备过程中温度高于600℃,衬底使用昂贵的石英,但制备工艺较简单。另一类是低温工艺,整个加工工艺温度低于600℃,可用廉价玻璃作衬底,因此可以大面积制作,但是制备工艺较复杂。 目前制备多晶硅薄膜的方法主要有如下几种: 低压化学气相沉积(LPCVD)这是一种直接生成多晶硅的方法。LPCVD是集成电路中所用多晶硅薄膜的制备中普遍采用的标准方法,具有生长速度快,成膜致密、均匀、装片容量大等特点。多晶硅薄膜可采用硅烷气体通过LPCVD法直接沉积在衬底上,典型的沉积参数是:硅烷压力为13.3~26.6Pa,沉积温度Td=580~630℃,生长速率5~10nm/min。由于沉积温度较高,如普通玻璃的软化温度处于500~600℃,则不能采用廉价的普通玻璃而必须使用昂贵的石英作衬底。LPCVD法生长的多晶硅薄膜,晶粒具有择优取向,形貌呈“V”字形,内含高密度的微挛晶缺陷,且晶粒尺寸小,载流子迁移率不够大而使其在器件应用方面受到一定限制。虽然减少硅烷压力有助于增大晶粒尺寸,但往往伴随着表面粗糙度的增加,对载流子的迁移率与器件的电学稳定性产生不利影响。 固相晶化(SPC)所谓固相晶化,是指非晶固体发生晶化的温度低于其熔融后结晶的温度。这是一种间接生成多晶硅的方法,先以硅烷气体作为原材料,用LPCVD方法在550℃左右沉积a-Si:H薄膜,然后将薄膜在600℃以上的高温下使其熔化,再在温度稍低的时候出现晶核,随着温度的降低熔融的硅在晶核上继续晶化而使晶粒增大转化为多晶硅薄膜。使用这种方法,多晶硅薄膜的晶粒大小依赖于薄膜的厚度和结晶温度。退火温度是影响晶化效果的重要因素,在700℃以下的退火温度范围内,温度越低,成核速率越低,退火时间相等时所能得到的晶粒尺寸越大;而在700℃以上,由于此时晶界移动引起了晶粒的相互吞并,使得在此温度范围内,晶粒尺寸随温度的升高而增大。经大量研究表明,利用该方法制得的多晶硅晶粒尺寸还与初始薄膜样品的无序程度密切相关,T.Aoyama等人对初始材料的沉积条件对固相晶化的影响进行了研究,发现初始材料越无序,固相晶化过程中成核速率越低,晶粒尺寸越大。由于在结晶过程中晶核的形成是自发的,因此,SPC多晶硅薄膜晶粒的晶面取向是随机的。相邻晶粒晶面取向不同将形成较高的势垒,需要进行氢化处理来提高SPC多晶硅的性能。这种技术的优点是能制备大面积的薄膜,晶粒尺寸大于直接沉积的多晶硅。可进行原位掺杂,成本低,工艺简单,易于形成生产线。由于SPC是在非晶硅熔融温度下结晶,属于高温晶化过程,温度高于600℃,通常需要1100℃左右,退火时间长达10个小时以上,不适用于玻璃基底,基底材料采用石英或单晶硅,用于制作小尺寸器件,如液晶光阀、摄像机取景器等。准分子激光晶化(ELA)激光晶化相对于固相晶化制备多晶硅来说更为理想,其利用瞬间激光脉冲产生的高能量入射到非晶硅薄膜表面,仅在薄膜表层100nm厚的深度产生热能效应,使a-Si薄膜在瞬间达到1000℃左右,从而实现a-Si向p-Si的转变。在此过程中,激光脉冲的瞬间(15~50ns)能量被a-Si薄膜吸收并转化为相变能,因此,不会有过多的热能传导到薄膜衬底,合理选择激光的波长和功率,使用激光加热就能够使a-Si薄膜达到熔化的温度且保证基片的温度低于450℃,可以采用玻璃基板作为衬底,既实现了p-Si薄膜的制备,又能满足LCD及OEL对透明衬底的要求。其主要优点为脉冲宽度短(15~50ns),衬底发热小。通过选择还可获得混合晶化,即多晶硅和非晶硅的混合体。准分子激光退火晶化的机理:激光辐射到a-Si的表面,使其表面在温度到达熔点时即达到了晶化域值能量密度Ec。a-Si在激光辐射下吸收能量,激发了不平衡的电子-空穴对,增加了自由电子的导电能量,热电子-空穴对在热化时间内用无辐射复合的途径将自己的能量传给晶格,导致近表层极其迅速的升温,由于非晶硅材料具有大量的隙态和深能级,无辐射跃迁是主要的复合过程,因而具有较高的光热转换效率,若激光的能量密度达到域值能量密度Ec 时,即半导体加热至熔点温度,薄膜的表面会熔化,熔化的前沿会以约10m/s的速度深入材料内部,
* 1: 100. 云计算 (一)大数据(BigData) 1. 定义:海量数据或巨量数据,其规模巨大到无法用当前主流的计算机系统在合理时间内获取、存储、管理、处理并提取以帮助使用者决策。 2. 特点:1)数据量大(Volume)----- PB 级以上 2)快速(Velocity)----- 数据增长快 3)多样(Variety)----- 数据来源及格式多样 4)价值密度低(Value )----- 从大量、多样数据中提取价值的体系结构 5)复杂度(Complexity)-----对数据处理和分析的难度大 3.大数据与云计算的关系: 从技术上看,大数据与云计算的关系就像一枚硬币的正反面一样密不可分。大数据必然无法用单台的计算机进行处理,必须采用分布式计算架构。 它的特色在于对海量数据的挖掘,但它必须依托云计算的分布式处理、分布式数据库、云存储和虚拟化技术。 (二)云计算(Cloud Computing) 1.定义:1)云计算是一种商业计算模型。它将计算任务分布在大量计算机构成的资源池上,使各种应用系统能够根据需要获取计算力、存储空间和信息服务。 //分布式计算 2)云计算是通过网络按需提供可动态伸缩的廉价计算服务。 2. 特点:1)超大规模 2)虚拟化 3)高可靠性 4)通用性 5)高可伸缩性 6)按需服务 7)极其廉价 3. 服务类型分类: 1)SaaS (软件即服务::Software as a Service) //针对性更强,它将某些特定应用软件功能封装成服务如:Salesforce online CRM
2)PaaS (平台即服务:Platform as a Service)//对资源的抽象层次更进一步,提供用户应用程序运行环境如:Google App Engine ,Microsoft Windows Azure 3)IaaS (基础设施作为服务:Infrastructure as a Service)//将硬件设备等基础资源封装成服务供用户使用,如:Amazon EC2/S3 4. 云计算的实现机制(体系结构) 1)SOA (面向服务的体系结构):它将应用程序的不同功能单元(称为服务)通过这些服务之间定义良好的接口和契约联系起来。使得其服务能以一种统一的、通用的方式进行交互。 SOA可以看作是B/S模型、XML/Web Service技术之后的自然延伸。 2)管理中间件:(关键部分) 3)资源池层:将大量相同类型的资源构成同构或接近同构的资源池。 4)物理资源层:计算机、存储器、网络设施、数据库和软件等 5. 云计算与网格计算 1)网格是基于SOA、使用互操作、按需集成等技术,将分散在不同地理位置的资源虚拟化为一个整体。 2)关系类似于TCP/IP 协议之于OSI 模型 6. 云计算与物联网 1)物联网有全面感知,可靠传递、智能处理三个特征。云计算提供对智能处理所需要的海量信息的分析和处理支持。 2)云计算架构与互联网之上,而物联网依赖于互联网来提供有效延伸。因而,云计算模式是物理网的后端支撑关键。 * 1.1: 1. Google 云计算原理 (一)文件系统GFS 1)系统架构 2)实现机制:
导体:导体是很容易导电的物质,电阻率约为10-6-10-8Ωcm, 绝缘体:极不容易或根本不导电的一类物质。 半导体:导电性能介于导体和绝缘体之间的一类物质,目前已知的半导体材料有几百种,适合工业化的重要半导体材料有:硅、锗、砷化镓、硫化镉,电阻率介于10-5-1010Ω(少量固体物质如砷、锑、铋,不具备半导体基本特性,叫做半金属。 冶金级硅(工业硅):将自然级自然界的SI02矿石冶炼成元素硅的第一步,冶金级硅分为两类:1、供钢铁工业用的工业硅,硅含量约为75%。2、供制备半导体硅用,硅含量在99.7%-99.9%,它常用作制备半导体级多晶硅的原料。 多晶硅:1、改良西门子法,2、硅烷法,3、粒状硅法。 改良西门子法:多晶硅生产的西门子工艺,在11000C左右德高纯度硅芯上还原高纯三氯氢硅,生成多晶硅沉积在硅芯上。过程:1、原料硅破碎;2、筛分(80目)——沸腾氯化制成液态的SIHCL3——粗馏提纯——精馏提纯——氢还原——棒状多晶硅——破碎——洁净分装。 硅烷法:原料破碎——筛分——硅烷生成——沉积多晶硅——棒状多晶——破碎、包装。单晶硅:硅的单晶体,具有基本完整的点阵结构的晶体,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导体,纯度要求达到99.9999%甚至达到99.9999999%用于制造半导体器件、太阳能电池等。 区域熔炼法:制备高纯度、高阻单晶的方法。 切克劳斯基法(直拉法):制作大规模集成电路、普通二极管和太阳能电池单晶的使用方法。硅棒外径滚磨:将单晶滚磨陈完全等径的单晶锭。 硅切片:硅切片是将单晶硅原锭加工成硅圆片的过程(内圆切片机刀口厚度在300-350um,片厚300-400um。线切机刀口厚度不大于200u,片最薄可达200-250u.). 硅磨片:一般是双面磨,用金刚砂作原料,去除厚度在50-100u,用磨片的方法去除硅片表面的划痕,污渍和图形,提高硅片表面平整度。用内圆切片机加工的硅片一般都需要进行研磨。 倒角:将硅切片的边沿毛刺、崩边等倒掉。 抛光片:大规模集成电路使用的硅片。 硅材料电性能的三个显著特点: 1、对温度的变化十分灵敏,当温度提高时,电阻率将大幅度下降。 2、微量杂志的存在对电子的影响十分显著,纯硅中加入百万分之一的硼,电阻率就会 从2.14*103下降至4*10-3Ω。 3、半导体材料的电阻率在受到光照时会改变其数值大小。 本征硅:绝对纯净没有缺陷的硅晶体称作本征硅,本征硅中导电的电子和空穴都会由于其价键破裂而产生。体内电子和空穴浓度相等。 N型硅:在纯硅中掺入V族元素(如、磷、砷等),能够提供自由电子的杂质统称为施主杂质,掺入施主杂质的硅叫N型硅。以电子为多数载流子的半导体。 P型硅:在纯硅中掺入III型元素(如硼)以后,具有接受电子的杂质成为受主杂质,掺入受阻杂质的硅叫做P型硅。以空穴为多数载流子的半导体。 单晶:一块晶体如果从头到尾按照同一种排列重复下去叫做单晶体, 多晶:许多微小单晶颗粒杂乱的排列在一起称为多晶体。 晶体中的缺陷:点缺陷、线缺陷、面缺陷、孪晶、旋涡、杂质条纹、堆垛层错、氧化层错、滑移线等 电阻率: 高能粒子探测器:要求几千乃至上万Ω的FZ单晶。
硅材料 重要的半导体材料,化学元素符号Si,电子工业上使用的硅应具有高纯度和优良的电学和机械等性能。硅是产量最大、应用最广的半导体材料,它的产量和用量标志着一个国家的电子工业水平。 目录 英文名:silicon 化学成分 硅的性质 主要技术参数 晶体缺陷 类型和应用 单晶硅的制作 单晶硅的应用 未来前景 英文名:silicon 在研究和生产中,硅材料与硅器件相互促进。在第二次世界大战中,开始用硅制作雷达的高频晶体检波器。所用的硅纯度很低又非单晶体。1950年制出第一只硅晶体管,提高了人们制备优质硅单晶的兴趣。1952年用直拉法(CZ)培育硅单晶成功。1953年又研究出无坩埚区域熔化法(FZ),既可进行物理提纯又能拉制单晶。1955年开始采用锌还原四氯化硅法生产纯硅,但不能满足制造晶体管的要求。1956年研究成功氢还原三氯氢硅法。对硅中微量杂质又经过一段时间的探索后,氢还原三氯氢硅法成为一种主要的方法。到1960年,用这种方法进行工业生产已具规模。硅整流器与硅闸流管的问世促使硅材料的生产一跃而居半导体材料的首位。60年代硅外延生长单晶技术和硅平面工艺的出现,不但使硅晶体管制造技术趋于成熟,而且促使集成电路迅速发展。80年代初全世界多晶硅产量已达2500吨。硅还是有前途的太阳电池材料之一。用多晶硅制造太阳电池的技术已经成熟;无定形非晶硅膜的研究进展迅速;非晶硅太阳电池开始进入市场。 化学成分 硅是元素半导体。电活性杂质磷和硼在合格半导体和多晶硅中应分别低于0.4ppb和0.1ppb。拉制单晶时要掺入一定量的电活性杂质,以获得所要求的导电类型和电阻率。重金属铜、金、铁等和非金属碳都是极有害的杂质,它们的存在会使PN结性能变坏。硅中碳含量较高,低于1ppm者可认为是低碳单晶。碳含量超过3ppm时其有害作用已较显著。硅中氧含量甚高。氧的存在有益也有害。直拉硅单晶氧含量在5~40ppm范围内;区熔硅单晶氧含量可低于1ppm。 硅的性质 硅具有优良的半导体电学性质。禁带宽度适中,为1.12电子伏。载流子迁移率较高,电子迁移率为1350厘米2/伏·秒,空穴迁移率为480厘米2/伏·秒。本征电阻率在室温(300K)下高达2.3×105欧·厘米,掺杂后电阻率可控制在104~10-4 欧·厘米的宽广范围内,能满足制造各种器件的需要。硅单晶的非平衡少数载流子寿命较长,在几十微秒至1毫秒之间。热导率较大。化学性质稳定,又易于形成稳定的热氧化膜。在平面型硅器件制造中可以用氧化膜实现PN结表面钝化和保护,还可以形成金属-氧化物-半导体结构,制造MOS场效应晶体管和集成电路。上述性质使PN结具有良好特性,使硅器件具有耐高压、反向漏电流小、效率