半导体工厂设备维护管理系统的设计与实现在半导体晶圆制造厂中,共有扩散,薄膜,光刻,刻蚀,湿刻,芯片电性测量这六类设备,这些设备的维护管理工作对于晶圆的制造至关重要。B公司是国内某半导体晶圆制造厂,在半导体设备维护管理过程中,存在着人工制定工作计划效率低下,Excel版工作计划无法实现自动预警,故障设备继续使用将导致产品质量下降,工程师每日进入厂房点检设备浪费时间,设备是否需要维护只能通过人工判断,设备维护过程和结果不可监测几大问题。本文在分析以上问题的基础上,提出了基于时间的设备维护优化方案和基于规则的设备维护优化方案,设计并实现了一个设备监控与维护管理系统,系统的功能包括:基于时间的设备维修工作计划制定,基于规则的设备维修工作计划制定,设备参数设置,维护工作通知,维护工作记录,工作报告查看几个功能模块。测试及应用情况表明,该系统是可行及有效的。
与其他同类系统相比,本文的研究工作主要有以下特点:1.针对设备维护所需参数的收集问题,通过SECS(半导体生产设备通信标准)通信协议和RV中间件技术,实现了设备参数信息收集功能。应用情况表明,系统减少了工程师定期查看设备的工作量,显著提高了工程师工作效率。2.针对设备是否需要PM(预防性维护)只能人工判断问题,故障设备继续使用导致的产品质量下降问题,实现了基于规则的设备维护功能,使用计算机自动判断取代人工判断,应用情况表明,系统提高了工程师的工作效率。3.针对人工使用Excel制定工作计划效率低下问
题,Excel版工作计划无法实现自动预警问题,实现了基于时间的生产计划自动生成。
应用情况表明,系统显著提高了工程师制定工作计划的效率。
工厂设备远程监控管理方案 剖析工业设备运行维护中的痛点，围绕工业设备运行的核心控制系统，分析不同用户对联网及远程运维的应用需求，在关键远程运维环节，华辰智通，通过“软”“硬”兼施，通过工业网关及思普云工业互联网平台助力用户打造适合自身应用的工厂设备管理远程监控方案。 华辰智通工厂设备管理远程监控和运维方案功能概述 工业设备远程监控和运维管理系统由智能硬件接口设备、智能应用系统云平台套件以及大数据智能分析服务组成，通过智能采控终端采集设备，将各种数据上传到云平台，存储、整理、分析，通过智能应用系统实现时时在线监控、记录、查询、统计、分析、修改、报警等操作，实现远程智能化管理，提高企业智能化管理水平。 工厂设备云远程综合管理系统是专门针对PLC等工业控制器的远程综合管理系统。华辰智通科技有限公司自主研发的基于云平台PLC远程故障诊断维护及监控平台，就是在此需求上开发出来的。系统以云为基础构建了一套计算与服务体系，可以为客户提供海量的设备接入及客户访问机制。设备云远程综合管理系统基于虚拟专用网络（英文简称“VPN”）技术构建了一条设备与用户之间的专用安全通道，让设备厂商像在现场一样可以随时随地对设备进行编程，监控等所有操作。
HDRS 远程自动化监控及智能化管理平台 通过工厂设备云远程综合管理系统用户可以随时了解其销售出去的设备运行状态，所处位置等实时数据，一旦设备发生故障或者即将发生故障，系统为以短信，邮件等多种方式为用户或最终客户提供相关的报警或预警，从而保障设备稳定运行及最大限度降低故障时间。 设备云远程综合管理系统不是一套单纯的设备管理系统，而是一种先进的新型售后服务模式，在市场竞争激烈的今天，随着产品越来越同质化，只有服务才能创造出差异化，才能创造更多的附加值，所以好的服务才是征服客户最有效的手段。设备云远程综合管理系统所提供的设备管理，生产管理，故障预警等强大的功能正在实现这种优质服务最好的方式。
设备管理系统数据库 设备管理系统是一个以计算机网络技术为基础的进行设备信息数据监管的综合设备管理系统。它联结各个生产、管理和决策部门的设备管理，为企业的设备信息管理建立一个集中的共享数据库，实现设备管理的一体化数据采集、传输和处理，能够使各种点检、维修、备件、资材计划及维修合同预算等自动生成，用以完善各种标准，随时掌握设备的状态，实行有效的经济的维修，保持和改善设备的工作性能，减少故障，延长零部件的使用寿命，提高设备的功能投入率和精度保持率! 设备管理系统运行环境： 数据库服务器：PVI3000/1G/4x36G/1000/100M/15＂； WEB服务器：PVI3000/2G/2x36G/1000/100M/15＂； PC终端：PIII700/128K/10G/100/10M/15＂，WIN98/2000； 数据库平台：ORACLE、SQLSERVER、SYBASE等大型数据库； 服务器操作系统：WIN2000SERVER； 开发平台：TIB（DELPHI） 企业在生产、运营、试验等活动中所使用的机械、设施、仪器以及机具等设备资源需要持续、高效管理，在设备全程管理中，企业设备
管理重点在于设备信息化管理；维保计划的制定、执行与指挥调度；设备使用的可追溯型、设备运行与检修的实时掌控；设备维修费用的控制与管理；备件采购、消耗等过程跟踪管理……针对这些管理环节，设备管理系统软件能够提供安全、可靠、高质量、易扩展的行业解决方案，满足客户设备管理快速发展的业务需求，帮助企业运用技术、经济等手段管好、用好、修好、改造好设备，促进设备信息化管理改革、保证设备质量、降低设备故障率和事故率、节能降耗，并对企业设备管理提供决策支持，从而提高企业经济效益和社会效益！ 设备管理系统根据企业的设备标准、参数（如设备种类、品牌、配置、规格、型号等），以及企业资金预算制定设备采购计划，同时按照企业设备标准和各种参数（如用途、基本要求、质量标准等）进行评定，并基于审批意见系统自动提交上报设备采购计划。设备管理系统根据设备统计数据、状态，自动制定各种设备管理计划，如：设备维修计划、设备保养计划、设备更新计划，使生产设备保持最佳使用状态，进而提高生产效率。 该软件是一个企业最重要的资源之一。其包括在企业运营的方方面面当中，是企业内部信息管理系统的一个有机组成部分，是促成各生产部门间相互连接、合作的纽带。无论是生产设备、仪器设备、网络设备等等，以及关于这些设备的选择、购买、使用、维修、更新、改造，都是企业各个部门、各个运营环节必不可少的部分。许多企业设
300mm半导体工厂的AMHS系统 在半导体制造技术高度发达的今天，300mm的半导体工厂已经成为全球半导体行业的 主流。由于300mm半导体生产线的巨额投入，人们不得不尽可能的挖掘300mm工厂的生产效率，以期得到更大的晶圆产出。一个功能强大且性能稳定的AMHS系统在300mm工厂里扮演了一个非常重要的角色。AMHS系统不仅可以有效的利用宝贵的洁 净室的生产空间，并且还可以提高生产设备的利用率，缩短在制品WIP的Cycle Time，所以在很多的300mm的半导体工厂里，AMHS都被视为可以快速提升产能，增加生产效率的尖兵利器。 AMHS系统在300mm半导体工厂的应用特点 和200mm晶圆相比，更大的晶圆尺寸使得单批Lot的晶圆重量变得更大，仅凭在 200mm工厂Intrabay内的人工搬运已经远远无法满足300mm工厂的生产要求。因此，在300mm的半导体工厂里，生产方式的巨大变化也给AMHS系统提出了更高的要求。 搬送方式的巨大进化 首先，是AMHS搬送方式从200mm工厂的SEMI Auto方式到300mm工厂Full Auto 方式的转变。如图1红色轨道所示：在200mm工厂所采用的Semi Auto生产方式中的Wafer搬送，只包括中央区域Interbay的AMHS搬送。而Wafer到生产设备的部分需 要人工搬送来完成。而在300mm工厂里，由于wafer自身重量的增加，导致人工搬送 异常困难，故由AMHS系统取而代之直接将wafer搬送到生产设备，如图1中的蓝色轨道，这即是Full Auto的作业方式。这种方式极大减轻了生产一线操作人员的工作强 度，同时又避免了因人为事故而造成的损失。更为重要的是，在工厂产能迅速提升的过 程中，可以满足大规模搬送量的AMHS系统的巨大优势可以完全呈现。 其次，是Tool To Tool直接搬送的全厂性应用。为了进一步的节省FOUP的搬送时间，300mm晶圆厂的AMHS系统必须支持Tool To Tool的直接搬送。这种搬送模式可以 使得FOUP不必经过存储设备Stocker的中转，而直接从上一站的加工设备搬送到下 一站的加工设备。 如图1所示：在没有Tool To Tool直接搬送的工厂内，从Tool A到Tool B的搬送路径为Tool A→Stocker01—>Stocker02→Tool B。但是在具备Tool To Tool直接搬送功能的工厂内，如图2所示，从Tool A到Tool B的搬送路径为Tool A→Tool B。
设备管理系统性能介绍 随着信息科技的发展和分工的精细化，设备的种类、数量越来越多，企业的设备管理出现诸多问题，如：设备采购、管理、保养、维修困难，设备数据信息滞后；填写设备卡片、设备台帐、各种单据的工作人员多，效率差，工作交叉，导致设备管理效率低、质量差；设备管理备品、备件的仓储和使用不科学；现代设备管理技术不能满足未来企业信息化建设的需求。 设备管理系统性能介绍成为企业选型时关注的重点，也逐渐被看作企业信息化的重中之重，尤其是制造企业中对设备的依赖程度越来越高，生产设备呈现出自动化、智能化、集成化、数字化的趋势，设备管理的规范化、高效化成为制造企业生产效益提升的重要途径。本文将重点对设备管理系统介绍进行详细阐述，希望能够为对此有需求的朋友提供参考或帮助。 设备管理系统开发注重实现设备管理的智能化，通过信息化的方式及时更新设备档案信息、设备备件检修、备品使用、设备运行状态等，并根据企业设备管理标准指标、参数，实现高效的设备维护、维修、保养、采购、应用等方案的制定，及对设备全生命周期的信息化高效
管理，保证设备全程处于最佳状态。此外，设备管理系统能够将设备管理责任到岗，任务到人，减少大量重复无用的工作，提升设备综合效率，优化企业的设备资源配置，保证设备能够随时投入生产或使用，提高生产经营的效率。 信息时代科技发展日新月异，尤其是微电子、计算机以及信息技术呈现加速发展，设备管理软件发展的主要趋势是以设备运行状态监测为基础，获取设备状态信息，为设备维修提供依据。针对不同的设备故障，系统提供多种维修方式。今后，依托状态监测和故障诊断技术，设备管理系统将实现在线自动监测和故障诊断的一体化管理，以可靠性为中心的维修思想将成为设备管理系统的主导思想。 河南云工厂科技有限公司生产的设备管理系统采用先进的计算机技术、网络通信技术以及相应的通信设备、办公设备，实现设备信息的收集、传输、加工、储存、更新和维护，集设备基准信息库、设备日常保养、异常处理、检修维护、维修费用控制、备件跟踪消耗以及固定资产管理于一体，提升设备管理的整体效能，优化设备应用的战略决策，提高企业经济效益。系统应用信息采集将新装置、新材料和新技术加以优化组合对旧机实施修复，使修复后的旧机接近甚至超过新机的性能，当今，随着电液技术，CAD技术和材料工程技术在设备管理中广泛应用，系统将集成化、智能化对新型设备机械进行管理，缩短设备的更新周期。
设备管理体系标准简介 设备管理体系——要求（Plant Management System – Requirements，缩写为 “PMS”） （提示：以下图文资料属于成都华标企管的原创，版权所有，引用时请注明“资料来源：成都华标企业管理咨询有限公司”。）1、什么是“设备管理体系标准”（PMS）? “设备管理体系标准”就是企业在设备管理方面的标准。标准的名称是《设备管理体系——要求》，英文缩写为“PMS”（P lant M anagement S ystem- Requirements）。 设备管理体系标准(PMS)是企业在设备管理方面的标准。是从国内先进企业的优秀设备管理方法中，总结提炼形成企业设备管理最基本的通用要求，以引导企业建立健全和完善其设备管理系统，其目的在于促进企业设备管理整体水平的提升，使设备管理更好地服务于企业的主营业务（产品或服务）。 注1：于2012年，在中国设备管理协会的支持下，由国内设备管理专家蒋良君、黄集长主导，组成了“PMS标准技术小组”，从起草、研讨、征求意见、修改、审定，历时半年编制完成了设备管理体系标准《设备管理体系——要求》（PMS）、《全国设备管理星级评价标准》，作为中国设备管理协会推荐性标准，这是我们中国人自己的设备管理体系标准，填补了国内设备管理体系标准的空白。 注2：2013年1月，蒋良君和黄集长修订标准草案，2013年1月到3月22日，共收到23多份（名单，见标准编写参与者。）国内设备管理专家、学者及企业设备管理专业人士对优化标准草案的反馈意见。4-5月份，由设备管理标准起草小组通过对专家反馈意见进行综合分析与评估，充分吸收了各方面的意见，对 2012版的《设备管理体系-要求》作了大量修改，使设备管理体系标准的内容更翔实、全面，且有了质的提升，这对企业设备管理更具指导性。 注3：于2013年8月，在桂林“全国首届PMS(设备管理体系)大会”上，正式发布《设备管理体系-要求》PMS/T1-2013。（见下图）
智能工厂可视化设备管理运用 随着时代的发展，工业4.0概念以及中国实施制造强国战略第一个十年的行动纲领《中国制造2025》的出台，工业领域的传统工作模式受到了巨大的挑战，尤其是在确保盈利能力和长期生存能力方面，化工、电力、交通、制造等行业的业主面临着前所未有的挑战。 以低成本实现智能工厂安全、可持续生产、运营、维护和管理，需要快速获取与工厂实际状态一致的基础数据，智能工厂是实现这一目标的最佳手段。智能工厂是以数据为基础的信息管理平台；是一个以工厂设备基础数据为核心的数据仓库。智能工厂不仅仅是一个数据集成的平台，更是一个信息浏览的端口和项目数据移交的工具，为工厂的日常运营、维护、扩建和检维修项目提供了完整、准确和可信的基础数据。 通过信息生命周期管理，智能工厂的数据可以在工厂中不断更新、维护和再利用。智能工厂是工厂的无形资产；而且基础数据的智能化是一种管理的创新，可以提高工厂的工作效率和提升管理水平。 1.智能工厂的技术路线 智能工厂核心是实现企业资产的智能化，而资产密集型企业的核心资产是设备（装置），三维可视化动态设备管理应用是在智能工厂平台基础上运用三维仿真和虚拟现实技术构建行业逼真的三维模拟现实场景。将企业资产三维模型以及信息属性有机地结合起来（行业数据、音频、视频等流媒体）。采用基于网络的信息处理技术，实现资产运行监视、操作与控制、综合信息分析与智能告警、运行管理和辅助应用（维护、安防和环境监测）等功能的一体化监控管理，大幅度的提高了企业资产运营能力。 三维可视化动态设备管理平台基于X3D可扩展三维语言与组件技术，将不同软件厂商的三维GIS、三维CAD、BIM、三维工厂、三维仿真模型进行转化，聚合形成统一X3D实景仿真模型。X3D实景仿真模型通过持续更新三维数据与扩展不同类型的数据信息，包括：工程数据、资产数据、工艺自动化数据、监控监测数据、信息系统数据，可在实景仿真的空间里统一展示地理、地质、建筑设施、设备资产、自动化、监控、监测及其他扩展信息，以产生更高级的运行控制与协同管理。 2.可视化企业资产布局全景 三维可视化动态设备管理平台对企业智能工厂地形地貌、建筑、车间结构、设施设备等几何建模，直观、真实、精确地展示各种设施、设备形状及生产工艺的组织关系，设施、设备的分布和拓扑情况。使用户在电脑上就可以浏览整个企业现场，如同亲临现场。同时系统将装置模型与实时、档案等基础数据绑定在一
Cleanroom System [ 洁净室系统] /ceiling grid 、无a, 内装修工程：(高架地板工程、洁净室隔墙板系统、铝合金龙骨吊顶尘 涂装、环氧地坪等)、压差控制系统、ESD防静电等； b, 循环空调系统：(包括部分供热与通风系统，比如MAU/OAC、AHU、FFU、DDC、 FCU、粗、中、高、超高过滤器、化学过滤器etc.、送气风机、排气风机etc.); c, FOUNDATION:防震机座、粉尘监测智能系统 /DMS系统、风淋室、传递窗、层流罩、洁 净工作台、洁净洗手器、洁净衣架、洁净电梯、正压洁净楼梯间系统、化学品储存冷库和压缩机etc. Mechanical System ［机械系统］ 中央动力,Central utility:Mechenical( 热水、冷冻水、软水、工艺设备冷却水PCW、 生产上水、自来水、饮用水、一般蒸汽和洁净蒸汽等管路供应系统；锅炉、冷冻机、冷却塔、空压机等厂务设施) Specialty Gas and Bulk Gas ［特殊气体和大宗气体］ a, Bulk Gas:GAS YARD 气站,CQC(N2/H2/O2/Ar/He/ 天然气)【包括普通和超纯/精制气体】，压缩空气(CDA)--有些FAB还将机台用CDA和厂务设备用CDA供应系统分开，呼吸空气供应系统等； b, Specialty Gas System ( 部分特性有重迭): (1) 易燃性气体(Flammable Gas) (2) 毒性气体(Toxic Gas) (3) 腐蚀性气体(Corrosive Gas) (4) 惰性气体(Inert Gas) (5) 氧化性气体(Oxide Gas) (6) 低压/保温气体(Heat G as) Water Treatment System ［水处理系统］ a, 超纯水供应系统、热/温纯水供应系统、一次纯水(RO水)供应系统etc. b, 工艺废水处理(酸、碱、含氟排水、slurry/cmp、研磨排液、温排水、纯水回收、一 般排水、TMAH显影液、H2O2、硫酸排液、磷酸排液、NH3排液etc.) c, 办公用给排水系统：饮用水供应、自来水供应、生活污水处理、雨水排放系统etc Exhaust System［工艺排气系统］ a, 工厂SCRUBBER:酸、碱、有机VOC、粉尘、一般排气etc.［有些FAB还包括了紧急排烟/事故排风系统］ b, LOCAL SCRUBBER( 一般附属于工艺设备):依其原理大概可分成下列几类(1)电热水洗式；(2)燃烧水洗式(3)填充水洗式;(4)干式吸附式。 Chemical Dispensing System［化学品供应系统］ 包括化学品供应系统和化学品回收系统，具体使用的化学品种类根据每个FAB产品的 不同而不同： a,Chemical Dispe nsi ng System 化学品供应系统
设备的管理与维护 一、设备的管理和维护的目的和意义 注塑机是工厂起"当家"作用的设备，管理和维护质量的好坏，直接关系到设备能否长期保持良好的工作精度和性能，关系到液压设备的故障率和作业率，关系到加工产品的质量，关系到工厂的生产效率和经济效益的提高；应本着抓好"防"重于"治"这个环节，便能使设备少出故障，减少停机维修的时间，大大提高机器设备的使用寿命、工作性能和安全性能，其经济效益是非常显著的。 二、建立健全管理和维修的多项规章制度 工厂应配备专职的设备管理维护人员，定期对设备进行检查维护，并作出详细的保养记录，应做到； 1．建立健全维护保养记录； 2．建立巡检，专检制度； 3．建立健全可行的维护保养制度； 三、日常维护保养 日常维护保养是指注塑机设备的操作工人在机器使用前、使用中、使用后对设备进行例行检查，并作日检记录，通过日常检查维护，检查诸如泄漏，压力变动等现象，及早发现事故和故障苗头，及时处理，防止重大事故的发生。日常维护应列入责任制度加以执行。 （1）使用前检查 ■油箱内油量的检查:观察,油量应该确定在标准油量内; ■室温与油温的检查:一般可只在冬夏雨季进行.当室温(环境温度)低于0°C时，应预热油液；当室温高于35°C时，要考虑散热措施； ■压力表的检查：观察压力表是否指针摆动严重，是否能回零位以及量程状态等情况； ■温控部分检查：温控器、感温线、发热圈、交流接触器或固态继电器等检查,升温时间,温度偏差是否正常等 (2)使用中的检查
■启动时溢流阀要确认调至最低压力，即将调压手柄拧松，再点动油泵观察有无不正常情况：如泵是否能出油，是否有不正常声音，压力表是否波动厉害等； ■调节和检查溢流阀的调节压力，是否能连续均匀升降，一切正常后再调至设定压力； ■油温、泵壳温度、电磁铁温度的检查：油温在20°C-50°C时算正常，泵壳温度比室温高10°C-30°C也算正常，电磁铁温升按电磁铁铭牌所示; ■漏油情况检查：泵结合面、输出轴、管接头、油缸活塞杆与端盖结合处、油箱各侧面等处，各阀类元件安装面、安装螺纹及安装法兰等处漏油情况的检查； ■噪声振动检查：油泵有无"咯咯……"声音，电磁铁有无"嗡嗡……"声，管路有无振动声，油缸有无换向时的冲击声，管路是否振松等情况的检查； ■压力表的检查； ■电气元件工作情况，安全装置可靠程度检查； ■各机柱、油缸元件的紧固螺帽和螺丝是否松动检查。 〔3〕下班前（停机后）的检查 ■油箱油面检查：停机后如发现油面下降很多，应查明减少的部分油液的去处，是从何处外漏，流向何处（地面、地沟还是冷却水箱）； ■油箱、各液压元件、油缸等裸露表面污物的清扫和擦洗，电控箱内部清洁； ■各阀手柄位置应恢复到"卸压""停止""后退"等位置； ■如果方便，应用手触摸滤油器，确认污物堵塞的情况，做出记录和处置； ■检查控制开关按钮以及各电气元件是否松动，动作灵敏程度等； ■机柱与含油轴承活动连接运动部位加注润滑油； ■关掉电源，填写交接班记录。 上述日常检查维护，虽然要花掉一些时间和精力，但通过检查，观察诸如少许泄漏、少许压力变动，动作不良的现象，可及早发现故障和事故苗头，做出一些简单处理便可消除故障隐患，防止出大故障大事故，实在是事半功倍。因此建议要将日常维护工作列入责任制进行考核。
设备安全使用管理制度1 设备安全使用管理总则的方针，增强法制观念，严格遵守执行安全第一，预防为主”1.1严格执行国家“法规及安全操作规程和安全劳动保护方面的政策法令、党和国家有关安全生产、生产规章制度。凡不符合安全生产要求的厂房、设施和设备，员工有权向上级报告，遇有严1.2 重危及生命安全和设备安全的情况，员工有权拒绝操作并及时报告领导。项链、戒指、工作前必须按规定穿戴好劳动防护用品。上班时不准佩带耳环、1.3方能进女工须把发辫放入工作帽内，指甲套等饰品及非操作用品进入工作场所。防护信号、所操作的设备，必须随时排除故障隐患。入工作场地和检查操作设备。保险装置齐全、灵敏可靠，润滑良好，保证设备安全。工作 中集中精力，坚守岗位，不准擅自把自己的工作交给他人。调整设备、1.4 拆卸防护装置时要先关机停电。严格执行交接班制度，下班前 必须按规定切断电源气源，清理工作场地。1.5 检查、修理机械电气设备时，必须挂停电警告牌，非工作人员严禁 合闸。1.6 各种安全防护装置、照明信号、监测仪表、警示标记、防雷装置等不准随意1.7 拆除或非法占用。一切电气机械设备的金属外壳必须有可靠的接地安全措施。1.8 高空作业必须扎好安全带、戴好安全帽，电工必须穿戴绝缘鞋、手套，严禁1.9 投掷工具、材料等物资。对易燃、易爆、易腐蚀、剧毒、放射等物品，必须分类妥善保存，严格管1.10
理。操作使用者必须按规定穿戴好防护用品。． 1.11 各种消防器材工具，按消防规范放置齐全，不可随便动用。发生重大事故或恶性未遂事故时要及时挽救，保护现场并立即报告领导和1.12 相关机构。 2 设备消防安全管理规定保持车间内环境整洁，各种物料码放整齐并远离热源，注意室内通风。 2.1 2.2 保证车间内防火通道的畅通，出入口、走道处，严禁摆放任何物品。车间内不得私接乱拉电源线，如确实需要，需报生产部批准，由专门的电工2.3 办理，使用后应及时拆除。 2.4 操作使用设备，必须严格遵守操作规程，严禁违章作业。 2.5 燃油锅炉运行期间，要加强巡视，发现异常及时处理。避免各种电气设备、线路受潮和过载运行，防止发生短路，酿成事故。 2.6 禁止在车间内使用明火，如确实需要须征得生产部同意，在采取有效安全措2.7 施后，方可使用。使用期间须由专人负责，使用后保证处理妥当无隐患。 2.8 车间消防员要按时车间各部位进行检查，发现问题及时报告。消防器材及设施，必须专人负责，定点放置，定期检查，保证完好，随时可2.9 用。 下班前，应检查车间内所有阀门、开关、电源是否断开，确认安全无
目录 前言――――――――――――――――――――――― 摘要――――――――――――――――――――――― 第一章系统需求分析 第二章系统设计 2．1系统方案确定 2．2系统功能实现 第三章怎样开发一个人事工资管理系统？ 3．1 编程环境的选择 3．2 关系型数据库的实现 3．3 二者的结合（DBA） 第四章 Visual basic下的控件所实现的功能 4．1实现菜单选项 4．2 实现工具栏 4．3 帮助 第五章系统总体规划 5．1 系统功能 5．2 流程图 第六章系统具体实现 6.1 用户界面的实现 6.2 数据库的实现 第七章结束语 第八章主要参考文献 第九章程序源代码、各功能模块的程序流程图 --------------前言-------------- 设备管理信息系统是一个企事业单位不可缺少的部分,它的内容对于企事业单位的决策者和管理者
来说都至关重要,所以设备管理信息系统应该能够为用户提供充足的信息和快捷的查询手段。但一直以来人们使用传统人工的方式管理设备的信息，这种管理方式存在着许多缺点,如:效率低、保密性差,另外时间一长,将产生大量的文件和数据,这对于查找、更新和维护都带来了不少的困难。本论文主要介绍的是设备管理信息系统的整个设计过程。 随着计算机技术的不断发展，计算机应用于各大领域，并给人们的生活带来了极大的便利，在固定管理系统亦是如此。以往设备员由于缺乏适当的软件而给其工作带来了很多不便。本论文所介绍的便是一个设备管理信息系统，以方便在设备安排和设备管理信息上的工作任务。 该系统适用于普通设备的管理，在使用上力求操作容易，界面美观，另外，本系统具有较高的扩展性和可维护性，可能在以后需要的时候进行软件升级。 整个系统的开发过程严格遵循软件工程的要求，做到模块化分析、模块化设计和代码编写的模块化。 作为计算机应用的一部分,使用计算机对设备信息进行管理,具有着手工管理所无法比拟的优点.例如:检索迅速、查找方便、可靠性高、存储量大、保密性好、寿命长、成本低等。这些优点能够极大地提高设备管理信息的效率,也是企业的科学化、正规化管理,与世界接轨的重要条件。 --------------摘要-------------- 设备管理信息系统是典型的信息管理系统(MIS),其开发主要包括后台数据库的建立和维护以及前端应用程序的开发两个方面。对于前者要求建立起数据一致性和完整性强、数据安全性好的库。而对于后者则要求应用程序功能完备,易使用等特点。 经过分析,我们使用MICROSOFT公司的VISUAL BASIC开发工具,利用其提供的各种面向对象的开发工具,尤其是数据窗口这一能方便而简洁操纵数据库的智能化对象,首先在短时间内建立系统应用原型,然后,对初始原型系统进行需求迭代,不断修正和改进,直到形成用户满意的可行系统。 整个系统从符合操作简便、界面友好、灵活、实用、安全的要求出发，完成设备管理信息的全过程，包括每一物品，例如办公设备、家具、计算机及其他有价值的设备分配一个唯一的物品编码，并根据此编码在计算机中建立设备信息库，对设备的新增、领用、折旧等进行管理，使管理人员可对设备的流向进行跟踪，随时掌握设备的现状及公司雇员领用设备情况，减少设备丢失现象，解决查找、盘点困难等问题，提高管理人员的工作效率。因此，开发这样一套管理软件成为很有必要的事情,在下面的各章中我们将以开发一套设备管理信息系统为例,谈谈其开发过程和所涉及到的问题及解决方法。 企业要想不断提高设备的使用效率，并且在预期的时间内收回所投资金和实现预期的投资收益，就要加强设备管理信息。设备管理信息的主要内容有： ?设备日常管理 ?设备使用效率管理 ?设备投资规模变动的边际收入与边际成本分析 ?设备折旧管理 论文主要介绍了本课题的开发背景，所要完成的功能和开发的过程。重点的说明了系统设计的重点、设计思想、难点技术和解决方案。 关键字：Visual Basic6.0，控件、窗体、数据库，设备管理信息 第一章. 系统需求分析 1.1现行业务系统描述 设备管理信息对每个企业单位都是十分重要的工作，设备管理信息的好，可以使设备发挥最大效益，杜绝各种不良设备，反之则会造成生产资料利用率低下，甚至造成设备流失。 本管理系统是为适应于的设备管理信息而开发的软件。从设备使用的角度管理设备，协助学校建立一套完善的数据管理模型，提供全面数据的编辑、查询、系统管理等等功能，达到对设备科学管理的目
３0０mm半导体工厂的AMHS系统 在半导体制造技术高度发达的今天,30０mｍ的半导体工厂已经成为全球半导体行业的主流。由于30０mm半导体生产线的巨额投入，人们不得不尽可能的挖掘3０0mm工厂的生产效率,以期得到更大的晶圆产出。一个功能强大且性能稳定的AMHS系统在３0０ｍｍ工厂里扮演了一个非常重要的角色。AMHS系统不仅可以有效的利用宝贵的洁净室的生产空间,并且还可以提高生产设备的利用率，缩短在制品WＩＰ的Ｃycｌe Ti ｍe,所以在很多的3０0ｍm的半导体工厂里，AMＨＳ都被视为可以快速提升产能，增加生产效率的尖兵利器。 AMHS系统在300mm半导体工厂的应用特点?和200mm晶圆相比,更大的晶圆尺寸使得单批Ｌot的晶圆重量变得更大，仅凭在2０0ｍm工厂Iｎtｒabay内的人工搬运已经远远无法满足３00mｍ工厂的生产要求。因此,在300ｍm的半导体工厂里,生产方式的巨大变化也给AMHS系统提出了更高的要求。 搬送方式的巨大进化 首先，是AMHS搬送方式从2０0mm工厂的SEＭI Auto方式到３00mｍ工厂FｕｌｌAutｏ方式的转变。如图1红色轨道所示:在２0０ｍm工厂所采用的Semi Auｔo生产方式中的Wａfer搬送,只包括中央区域Inｔerbaｙ的AMHS搬送。而Wafer到生产设备的部分需要人工搬送来完成。而在300ｍｍ工厂里,由于wａfｅr自身重量的增加,导致人工搬送异常困难，故由ＡMHS系统取而代之直接将wafer搬送到生产设备,如图１中的蓝色轨道,这即是FullＡuto的作业方式。这种方式极大减轻了生产一线操作人员的工作强度，同时又避免了因人为事故而造成的损失。更为重要的是,在工厂产能迅速提升的过程中,可以满足大规模搬送量的AMHＳ系统的巨大优势可以完全呈现。 其次,是ToｏｌＴo Ｔool直接搬送的全厂性应用。为了进一步的节省ＦOUＰ的搬送时间，３00mｍ晶圆厂的AＭHS系统必须支持Toｏl To Toｏl的直接搬送。这种搬送模式可以使得ＦOUP不必经过存储设备Stockeｒ的中转,而直接从上一站的加工设备搬送到下一站的加工设备。 如图１所示：在没有Tｏol To Toｏl直接搬送的工厂内,从Tool A到ＴｏｏｌB的搬送路径为Toｏl A→Stockｅr01—＞Stｏｃker0２→ＴooｌB。但是在具备ＴooｌT ｏＴｏoｌ直接搬送功能的工厂内，如图2所示,从Ｔool Ａ到ＴｏoｌB的搬送路径为TooｌA→Tｏol Ｂ。
企业设备管理系统解决方案 适用对象 电力、冶金、石化等设备量大、设备管理复杂的企业 系统简介 太极设备管理系统以提高设备运行的经济效益为目标，协助企业建立综合维修模式下的科学管理体系，对设备档案及设备检修的信息共享，实现设备检修工单等网上流转，为设备管理人员节约送单时间，提高设备管理的办公效率，使设备管理人员更多地关注设备运行和设备检修工作。 功能描述 1、基本信息管理 基本信息是整个设备管理系统的基础，为保证信息的正确、统一和权威性，信息内容应机动部统一编制，并由机动部有关人员或指定的系统管理员统一输入。 1.1组织机构管理 依据企业的管理部门信息，在系统内把企业与设备管理相关的部门输入系统。并按管理的层次结构建立组织机构，体现各组织机构的上下级关系。依据编码原则，录入部门的编码和名称。 1.2岗位管理 依据企业的岗位信息，在系统内把岗位信息输入系统。并把岗位分配到相关的部门。 1.3用户管理 把系统的用户信息输入到系统中。并把用户分配到相关的岗位下。并分配功能权限。 1.4功能权限管理 灵活的功能权限分配。系统可以分配功能到部门，也可以分配功能权限到用户。 1.5设备信息管理 单位名录、装置名录和设备名录的建立。设备标准分类信息的录入。 2、设备档案管理 设备档案依据设备标准分类信息建立档案。根据企业的实际情况定制档案的内容和类别。现有炉类、塔类、反应器类、贮罐类、热换设备类、通用机械类、动力设备类、仪器仪表类和起重运输设备类档案。 3、设备更新及大修计划管理 设备更新和大修计划是企业的年度设备维修计划。确定设备维修费用总数，按检修周期、及设备运行情况预先列入设备更新和大修计划，并完成计划的编制。 系统实现设备更新立项审批表的录入、上报审批和打印。实现设备更新计划的编制、上报、汇总、整理和打印。实现设备大修立项审批表的录入、上报审批和打印。实现设备大修计划的编制、上报、汇总、整理和打印。 4、压力容器检验管理 压力容器检验计划生成。从压力容器档案中按压力容器检验周期和压力容器检验时间确定需要检验是压力容器，形成压力容器检验计划。供设备管理人员使用，送设备检测中心检验。压力容器检验报告生成。把压力容器档案数据和设备检测中心检验结果，按国家规定报告格式可以形成压力容器检验报告。可以查询和打印。
设备管理解决方案 一、产品简介 随着工业制造企业生产水的提高，设备的种类和功能繁多，自动化程度也越来越高，以机器设备为主体进行生产的工业制造企业设备管理水平将直接影响到企业生产发展。随着企业设备规模的日益壮大，设备在企业固定资产总额中所占的比例也越来越大，所以设备管理的运行效果好坏，直接影响着整个工业制造企业的效益。 中海创集团福州奥迈软件有限公司近年来一直不断研究制造业信息化设备管理系统，为各生产制造型企业提供专业的设备管理解决方案，从、设备档案管理、运行管理、点检管理、采购管理、备件管理、维修管理、安全管理、事故管理等无缝衔接，帮助企业实现降低设备管理成本，提高设备管理和利用效率，提高企业的市场竞争能力。 我们的解决方案从企业整体业务发展全局考虑，结合最新的IT技术需求，构建一个基于新一代业务架构平台的备件管理系统，系统采用集中式部署，多层体系结构，并能按需定制、灵活掌控。
二、方案特点 （一）设备档案综合管理 提供设备的设备部件和设备参数、设备文档的管理；可处理各种设备变动业务，包括原值变动、部门转移、设备状态变动、安装位置调整等变动。实现设备信息的共享。 （二）设备运行更正常、稳定 通过本系统以实现采取严密的维修及保养计划来维护作业的动态安排，科学有序的对设备进行维修和保养。并记录设备维修及保养的各个过程，做到有据可依、责任到人。 （三）成本更可控 通过科学严谨的过程管理，由于进行了过程管理，一方面可以通过科学管理实现减少设备维护成本，另一方面可以减少人为原因造成的浪费；减少企业库存资金占用，提高企业资金利用率。
（四）事务处理更便捷、有效 通过消息中心、任务中心，为企业各级人员处理事务产生提醒，以任务中心代替传统线下审批环节，事务处理更快捷，有效提高各岗位协调效率。 （五）灵活方便的适应性 设备管理子系统中的模块可裁减、业务流程可设置、业务可重组、数据可隔离、数据可保密，从而使设备管理子系统在安全的环境下，达到最大的灵活应用程度；（六）应用构架具有很强的可扩展性 充分尊重客户的个性化需求，根据客户的需求，提供定期系统升级服务，通过标准化服务与个性化服务相结合，为客户提供快速、有效的实施服务。 （七）协调管理更高效 实现对集团企业、大企业、中小企业设备管理信息化支持，如单一工厂设备、多工厂设备管理等，实现跨地区、跨时区、跨系统、跨网络多地点、多岗位员工协同管理； 三、方案价值 通过建设信息化设备管理系统，使企业提高管理效率，节约资源，获得较好的效益，其价格如下 （1）将企业设备的执行层、控制层、数据处理层、系统运行采集层无缝衔接。（2）可提供各种设备信息的输入、修改、分析、统计报表和系统维护等功能，解决大量繁锁的手工劳动，提高工作效率，改善服务水平，促进企业设备管理方
郑州轻工业学院本科 数据库课程设计总结报告 设计题目：设备管理系统 学生姓名：xx 、xx 系别：计算机与通信工程学院 专业：计算机科学与技术 班级：计算机科学与技术10~01 学号：xx 指导教师：张保威金松河 2012 年12月30 日
郑州轻工业学院 课程设计任务书 题目设备管理系统 专业、班级计算机科学与技术10－1 学号 xx 姓名 xx 学号 xx 姓名 xx 主要内容： 了解设备管理的基本流程，根据构思活出E---R图。根据所化E---R图，对相应的试题和关系建立表格，实现数据的初始化。用SQL建立数据库表，然后再用其他软件建立界面（如此设备管理系统用的是C#实现界面），将建立好的界面同数据库进行链接，实现对数据库的简单的增删改查。 E-R图思路： 部门向设备处申请所需设备的数量及类型，设备处产生采购清单递交给采购员。 采购员从供应商获得设备存放在设备存放处，设备管理员将设备分配到需要设备的各个部门，部门将设备分给员工进行使用。 在使用设备的过程中，如果设备在保修期限内出现质量问题部门向设备处申请，设备退回供应商；如果设备损坏，由部门向维修人员报修；若无维修价值，则申请报废。 基本要求： 立足于科技日益发达，自动化组不占据主要市场，要求学生根据自己所学的数据库知识，建立简单的数据库实现对设备管理的机械化，自动化。 1：能够数量掌握SQL； 2:能够运用其他辅助工具做图形界面。 3：能够实现对C#和数据库的链接。 4：作出的系统能够对数据库进行简单的增删改查。 5：通过机械化，自动化工具的使用，提高工作效率、准确率。 主要参考资料等： 《数据库系统概论》作者：王珊萨师煊出版社：高等教育出版社 《数据库系统概论》课堂课件。 完成期限：两周 指导教师签名： 课程负责人签名： 2012年 12月 30 日
半导体生产线设备联机 管 理 方 案 编制时间：2016年5月3日
第一章半导体生产线设备运营现状 一、管理思路和管理工具落后 我国工业自动化水平还很落后，自动化技术是探索和研究实现自动化生产制造过程的方法和技术，涉及机械、微电子、计算机、机器视觉等综合性技术领域，也就是在工业工厂里尽可能地利用设备联机和设备取代人工劳动。 设备联机监控是工业4.0的基础，设备联机是实现工业4.0和工业互联网的前提和基础，把机器和设备通过网络连接起来，才能真正实现工业4.0。 工业4.0时代，仍在用摄像头管理工厂，你能看到什么？只有一幅幅杂乱无章的镜头，稍不留神即可存在安全隐患，且管理成本也偏高。
二、半导体生产线设备管理困难，投资回报率有很大提升空间。 在半导体制造行业，看似良好运作的生产车间实际上并不一定以最好的工作状态进行工作，设备和操作人员的价值存在很大的改善空间，这无形之中为企业带来巨大损失。 上千万的设备资金投入，我们的产能还有多少潜力可挖？ 产品品质异常频发波动，由那批物料、那台机器造成？ 客户投诉或品质异常----费尽人力追查材料来源、追查生产批次、追查产线工序、追查操作人员、追查设备的历史生产状态吗？ 故障频发，维修误工、浪费材料、交期告急，设备的故障-----可不可预先防控？ 计件、计时薪酬统计劳神费力，纠纷不断----能不能自动核算？ 产能告急，故障频发----生产部与设备部，谁的过失与责任？
1.设备管理难 车间设备厂家、种类多种多样，设备稼动率的状况不能做到实时，长期的统计，设备运行数据不能及时同步到管理层。 2.救火多余预防 被动型维修、事后维修多，无法实现预测维修少做保养或保养计划贯彻不力。 3.绩效考核难 设备稼动率数据获取困难，技术员绩效考核困难，无数据化指标维修依靠个人积累，经验传承少。 第二章半导体生产线设备联机的兴起与发展 一、设备联机系统的立项原因 设备监控系统即通过网络技术手段将设备联机管理。 1.从业务层面考虑，由于制造企业生产设备成本昂贵，不易进行系统化管理。设备效率、设备维护情况等是提高生产设备利用率的重要指标参考。是实现制造信息化管理的第一步。 2.从市场层面考虑，客户对设备管理需求迫切，容易见到效果。 3.从公司运营成本层面考虑，设备联机系统标准化程度高，实施成本可控，是切入一个客户的良好工具。
企业设备管理系统 公司经常需要采购一些设备，用以满足公司正常运营的需要，采购回来的设备不能堆 放在库房里就不管了，谁想用的时候就去拿，谁想换的时候就去换。如此，公司的设备恐怕会越来越少，公司正常的运营就会受到阻碍。因此，需要对公司的设备进行库存治理，保证设备借出和归还有序，还要能查到设备的借出情形。企业设备治理系统正好能满足这个需求，它提供了对设备库存、设备借出、设备归还和设备统计信息的治理。 4.1 系统设计 系统设计是系统开发最为关键的一环，良好的系统设计需要把握系统的需求，并合理 地划分功能模块。企业设备治理系统的系统设计还需要把握一个关键点，确实是明确设备的惟一性，尽管设备可能一模一样，然而也应该区别开来，因为我们的借出、归还以及借出历史的统计差不多上要具体到某一个设备的，需要对每一个设备给予不同的设备编号，通常会 制作标签贴在设备上，这可能是库房治理员常做的工作，设备编号的方式能够依照公司具体决定。 4.1.1 功能描述 企业设备治理系统包括设备库存治理、设备借出归还治理和设备统计信息治理，详细 的功能描述如下。 1. 设备库存治理 设备库存治理包括新设备入库、修改设备信息和陈旧设备的库存清理。新设备入库是 对新采购的设备进行入库的操作。修改设备信息是对入库设备的名称、购买人、入库时刻、设备说明等信息的修改。库存清理，是清理库存中不能再用的设备。 2. 设备借出归还治理 设备借出归还治理包括设备借出治理和设备归还治理。关于设备借出治理，假如设备 差不多借出，要提示用户谁借走了设备。当借出成功的时候，需要在列表中显示借出人、借 出时刻和借出设备信息，假如归还成功，还需要显示设备归还时刻。 3. 设备统计信息治理 设备统计信息治理包括对设备借出历史信息、设备使用频率信息和未归还设备列表信 息的治理。设备借出历史统计显示了一个设备所有的借出历史，便于跟踪设备的使用情形假如设备显现问题，还能够顺藤摸瓜，查到谁有可能把设备弄坏了，从而找到设备损坏的缘故，便于及时修理。设备使用频率统计提供了设备借出次数的统计信息，假如一个设备借出的专门频繁，那么企业能够考虑多购买这种设备，从而提高公司的效率。未归还设备列表提供了尚未归还的设备信息，企业能够明白借出设备的使用情形。 4.1.2 功能模块设计 从上面的功能描述中，能够把企业设备治理系统分为 3 个模块：设备库存治理、设备 借出归还治理和设备统计信息治理。在每一个模块下又提供了更为具体的功能。详细的企业设备治理系统的功能模块图，如图4-1 所示。
工厂自动化导入及管理 艾晓飞 随着中国人口红利的消失，劳动力短缺和人力成本增长已经成为中国未来制造业的常态，劳动密集型企业的生存和发展受到了前所未有的冲击，一部分企业冒着水土不服的风险开始搬迁到东南亚地区和中国内陆地区，还有一部分企业开始尝试通过导入自动化设备取代人工，希望可以一劳永逸地解决劳动力短缺和人力成本增长的问题。从手工操作生产模式过渡到自动化生产模式这个转身貌似华丽，但过程会非常地痛苦，充满各种困难和挑战，需要有相应的技术准备、资金渠道及坚韧的毅力方可完成。 一、工厂自动化导入 1、自动化导入需要具备以下两个条件之一：A、产品具有单一、大批量的属性；B、企业具备产品研发能力，可以掌控产品的外形及工艺设计以确保自动化设备对未来产品的兼容； 2、自动化导入需要具备多源的资金渠道；工厂在导入自动化的过程中，投入大，周期长，需要具有多源的资金渠道以确保自动化项目的顺利进行；如无法从资本市场融资则需要控制自动化导入的规模及步伐，先以试验线的模式进行技术攻关、路线探索及人才培养； 3、工厂自动化导入路线图：第一年以导入单台设备及样板线的形式进行技术攻关，建立团队，建立项目管理流程，量身定做自动化发展路线，建立设备管理体系；第二年以产品自动化生产为核心，重新定义产品研发体系，规范同类产品外形及工艺设计，简化生产环节，整合并优化测试方案，提高产品直通率，在此期间导入改进版自动化设备及生产线，招募并培养团队成员，优化项目管理流程及设备管理体系，选择设备厂商；第三年第五年自动化项目扩展到各产品系列； 二、工厂自动化项目管理 1、项目评估与立项： 自动化项目的标的一定是单一、大批量的产品，另外，产品剩余的生命周期要足够长，因为项目从立项到验收也至少需要3~4个月的时间；新产品不适合做为自动化项目的标的，因其市场情况不明朗，很容易造成自动化项目的夭折或变更；考虑自动化设备对后续产品的兼容性，企业需要对产品的研发环节有一定的把控能力，产品标准化，设备模块化，使产品与设备互相匹配； 2、项目执行方式 自动化项目具有一定的复杂度，一般做法是建立基本团队同外部自动化公司对接即可；项目较少时可临时从各部门抽调相应人员组成团队即可，并不需要成立专门的部门负责自动化，一般包括采购、研发、工程及生产团队成员；当时机成熟时可建立自动化团队，最小规模的自动化团队应该包括电气工程师，结构工程师及维护技术员； 3、供应商选择 标准设备供应商选择只需要关注供应商资质、行业地位及团队规模，必要时需要对其特定设备的市场应用情况加以考察；自动化线供应商选择一般需要供应商具有同类项目经验，另外需要对其同类项目的使用情况做详细的调研以确保其真实性及可靠性；涉及较大资金投入的项目需要供应商进行前期投入，所以需要对供应商的流动资金情况做调研，以确保项目的顺利完成；