等离子体高效率点火的有关操作要求
等离子体点火需要您的高水平操作，坚定信心，了解特点，保证安全
一、等离子体点火是较高水平的燃烧调整操作
等离子体点火是一项新的科学技术，在电站锅炉点火上应用这项技术使很多电厂和调试单位，在锅炉燃烧技术上、理论上和调试水平上都提高了一大步。
等离子体点火技术不仅仅只是等离子体发生器和等离子体燃烧器两大核心技术，还包括冷炉制粉、燃烧调整（如煤种不匹配、煤质偏差太大、运行参数要依据燃烧状态、火焰温度来确定）、火焰、壁温监视及相应的一些安全措施，是一项系统工程。
等离子体点火不单单是点着火就行了，还有关键的燃尽率问题。其中包括匹配的一次风速、风量，合适的二次风总量与配置，磨煤机运行方式等等较高水平的燃烧调整技术。其参数是根据需要随机调整的，如磨煤机可工作在最小出力、最小通风量以下状态稳定运行。
由于等离子体燃烧技术与现在普及的锅炉运行技术有一定的差异，目前还没有被人们完全所掌握。因此在等离子体技术应用过程中出现了一些问题。
在等离子体技术应用过程中出现的问题
锅炉爆燃：洛阳热电；大通电厂（大通06年10月29日点火，投入二层时锅
炉爆燃）；海勃湾；长春一热；阚山；岱海电厂（7月12日#3炉第四次点火约1.5小时左右B磨煤机又振动，调整B磨风量由57 t/h调整到75 t/h导致炉正压MFT）等；
锅炉尾部烟道二次燃烧：石嘴山（06年当时的一电厂）、×海电厂（飞灰可
燃物达到57%）、大同二电、哈密电厂（燃煤水分Mt=37%，Mad=16.39%、飞
灰可燃物最低处为58.14%）等；
等离子体燃烧器的结构也是根据特定的煤质设计的，煤质适用的范围也是有限的。若超出这个范围，相应点火操作就得在设备规范内选取特殊的参数、方式安全地进行。可能初始阶段升温、升压会慢一点，个别不紧要的自动暂时投不上，磨煤机最低风量保护定值可暂时适当下调等。
等离子体点火要求并且能够在初始点火后就达到较高的燃尽率。所以等离子体点火真的是较高水平的操作，其成功应用也更需要方方面面的努力。
1）新机组调试中调试人员高水平的发挥和积极性。
等离子体点火是特殊的锅炉点火操作。特别是劣质烟煤、褐煤等有时可能需要超出常规的特殊操作，要求并且能够在初始点火后就达到较高的燃尽率。这就需要调试人员（包括运行管理者）了解等离子体点火技术的原理、特点及条件，积极、超水平地发挥调试技术，才能保证高效率、安全地应用等离子体点火技术直接点燃煤粉。
2）高技术水平的运行人员正确地调整与控制。
如台湾和平电力进行模拟操作培训；白××电厂点火操控人员因操作不熟、调整不到位、风速较高，多次操作点不着火，当风速降到20 m/s左右，点着时炉膛负压变化较大。
酒泉第一位操作的人；某铝业电厂#2炉点火，第二次操作就不用再指导了，其实1#炉也是他们操作，预热器着火了。
3）单位领导的认识、管理、配合。
如营口鲅鱼圈电厂、上海崇明电厂管理很好；
长春二热也很好，当给粉机来粉不正常时，经理、专工经验丰富、又很谦虚亲自调整、控制直至燃烧稳定。
金川电厂生产领导按非常规要求在现场指挥、亲自操作；并组织实地点火操作培训，效果很好。
而××电厂2011年11月30日点火，厂领导不让外单位人进控制室，没点着火时问我们怎么回事；
××第一台600MW机组锅炉点火，各方面条件完全可以不用投油，但上级公司工作组指示必须先投油。
某电厂（××山）领导对等离子体点火技术有不正确的认识，还有的相关人员也认为什么都懂，听说点得一直不太好（经理电话让准备去一趟）。
4）168后检修、维护人员的维护水平，设备管理。
如修后勾没挂，进退没反馈；没24V，掉根线；还有的载体风压不合适，新丰15kPa、靖远20kPa。
5）勾通培训与售后服务
加强点火前关于如何点火的沟通以及培训，特别是对降低一次风速点火或一次风速超出30以上运行，和热态调平问题的沟通。几乎点火过程中出现的几个大的事故，都与一次风速高、给煤量大、煤质状态不清、热态时一次风速偏差大、二次风配置不当有关。
等离子体点火技术发展到今天，等离子体燃烧器、等离子体发生器已经规范化、典型化，趋于完善，但是点火操作不当，调整、控制与煤种不适应、调控与设备特性不适，即达不到节油的目的还可能引发事故。
对劣质煤、褐煤、新疆煤种，应注意进行早期沟通，说明降低一次风速点火的必要性。
二、等离子体燃烧器点燃煤粉的条件
等离子点火装置具有直接点燃煤粉的能力，但也是有条件的，特别是点燃的初始过程、着火的瞬间。基本条件有：煤质、煤量、风速、浓度、细度、一次风温等。
条件1煤质、煤量：
煤质满足设计要求或接近设计是点好火的先决条件。
煤量要根据锅炉类型、煤质选定。
条件2一次风速：
一次风速直接影响煤粉浓度、煤粉细度、着火热和煤粉的着火时间，是影响劣质煤种点火的最重要因素。
采用等离子体点火技术，一次风速适应范围较大，依煤质而定，可在13~35m/s左右的范围运行。煤质好时，风速可达30~35m/s，收到基挥发分为20%以下的煤质，要控制在15m/s以下；较差煤质或褐煤要降低到13~10m/s点火、运行；只要分离器调整合适，13~10m/s风速运行是能够保证不堵管的。
华能××电厂#3炉运行调整不当，给煤量达到60t/h没看出问题，磨煤机堵煤。
再如新疆××中泰化学#1炉（150MW机组锅炉设计锅炉燃料消耗量70.43t/h，12年7月11日初始点火总风量达380t/h，磨入口风量42t/h一次风速估算在20m/s以上，预热器下部灰斗飞灰可燃物高达40%）。
条件3煤粉细度
刘总讲：煤粉细度对火燃传播速度影响很大，在浓度0.4 kg/kg时平均粒径由33u下降到9u，火焰传播速度提高近一倍。
如锡林#3电2012年10月9日点火，煤粉粗，#4角不着火。
减少通风量，煤粉更细（动态分离器影响很小）。由刘总培训讲到的阳城电厂试验数据，可以看出一组量化的风量—煤粉细度对应数据，即通风量49729 kg/h，细度(R75)为38.9% ；而风量为26819 kg/h时细度降低到16.2%。这符合气固两相流的规律，调试时可参考借鉴。
天山铝业#1炉分离器挡板由37%调整到32%就改变了炉内煤粉火星冲刷炉底的现象。
条件4煤粉浓度
有爆炸危险的浓度和氧量对烟煤下限为0.32~0.47 kg/kg，褐煤是0.2~0.25 kg/kg，最易爆浓度时1.7~2 kg/kg；氧量烟煤在19%,褐煤是18%。
等离子燃烧器设计浓度在0.3~0.6 kg/kg
石嘴山电厂我们要求规范操作，要求减煤要减风，就是要保证在10t/h出力时的煤粉浓度。同时为了使磨煤机尽快达到着火浓度，还要求减少投入燃烧器的数量，即五变四或四变三。
石家庄电厂单层6只燃烧器，5只燃烧器点火好于6只，四只燃烧器才能达到较好的燃烧状态。
三、点火操作中几个主要问题
在运行、燃烧调整上，国电科（2002）650号关于印发《电站锅炉等离子点火技术应用指南》的通知在调试和运行方面提出了一些原则性要求和指导意见；我公司锅炉专家（也是原电力部专家）又在等离子体燃烧器点火、燃烧调整措施中，以保证燃烧良好、保证安全为目的，给定了依据现场实际煤种，锅炉冷
态、首次点火及点火初期较为合适的参数及调整方法，还提供了在升温升压过程中节点性的操作原则及启示，有较强的指导意义。
但在目前等离子体点火操作中还存在调试人员和电厂运行主管、运行人员不掌握上述指导原则，不能适应较差煤质的点火操作，造成一些点火事故。
×××电厂#10炉首次点火于2009年6月28日开始，至30日历经五次点火于6月30日20时54分事故停炉，#3一次风管堵、左侧空气预热器着火。1）完成一次风在线监视（测）的标定、一次风管调平；
调平问题很重要。
如苏龙电厂偏差10m/s、菏泽电厂偏差也有4~7m/s；有很快着火的,有长时间不着火的，如华能海门百万机组锅炉一次风管均分器问题。
完成在磨入口热风加热器冷态投入的条件下，磨煤机入口风量的标定。
利用准确、灵敏的磨煤机入口压力表调平一次风管风速、风量
（有磨煤机入口风量表更好）其步骤
2）操作要稳相关影响考虑尽力要全面。
煤质低劣时，
运行中调整风速要稳，每次调节量小于0.5～1m/s；增加煤量应在磨煤机出口温度有上升1～2℃时，再半吨半吨地加煤；减少风量时可以快一点，但必须跟着减少煤量。
煤质好时，风速调节量可在1～3 m/s。
初始增加给煤量时，一般要注意控制磨煤机入口风量略有增加或维持原风速。进一步增加煤量时，要缓慢，并要适度增加磨煤机入口风量，但必须保证燃烧器的燃烧效果。
某×电厂试运，给水泵滤网堵后，厂内一高管做在盘后下令给煤量由30t/h 加到60t/h，调总尽管不满意，但还是执行了，结果呢不亦乐乎。
锡林××电厂#2炉2012年10月9日临检后点火，减少风量不减煤（给煤量20 t/h时，#4一次风速17 m/s，#4燃烧器不着火，当一次风速降低到12.6 m/s 时，#4燃烧器着火很好，,由于未减小给煤量，几分钟后，磨煤机出现堵煤现象）。
土耳其某600MW机组#1炉点火时，磨煤机入口风量为56t/h，当给煤量再次（布煤时为20t/h）增加到20t/h后，磨煤机入口风量持续降低到45t/h，很容易造成磨煤机煤大、堵磨。分析土耳其停炉后发现一次风管、燃烧器堵粉、结焦现象以及加装等离子体燃烧器点火后运行中A磨液压变加载装置地脚拉断与加煤不加风习惯有关。（掌握参数变化的规律，观察参数是否稳定，找好提前量。）
3）热态调平问题
浓度偏差也要靠改变风速来弥补。
华能海门1000MW机组锅炉，经由西安热工研究院调试，在一次风速调平状态下，测定同一磨煤机的各一次风管煤粉浓度偏差高达40%，且管道短的煤粉量大、浓度高。
因风速不同、浓度不同，等离子体燃烧器的点火燃烧效果不同，
4）等离子体燃烧器壁温的控制问题
不同结构的燃烧器，喷口端壁温测点安装位置特点不同，因此要根据燃烧器的结构、喷口壁温测点位置、特点确定其作用、选定壁温控制参数。
多级筒燃烧器喷口壁温测点安装在内筒上的不受二次风影响；而燃烧器喷口壁温测点安装在外筒壁上的（包括Ⅲ型燃烧器等），受喷口结构和二次风温度影响也较大，如贵州××电厂总装（旧）图结构或华能平凉电厂2013年改造的燃烧器限定温度应低些（400℃以下）；在停弧运行状态，该点壁温一般不应超过热风温度，稳燃时该点温度可能因温度反应较慢或温度较高，判断煤粉是否点燃可能不明显，应经稳燃负荷试验后确定是否可参考。
对于Ⅲ型燃烧器燃用煤质好，风速低了燃烧器结焦；风速高了燃尽率低。点火时可采取减少等离子体燃烧器运行，增大煤粉浓度的方式，不得采取降低煤粉细度的办法控制壁温。
扩容式等离子体燃烧器壁温超过260℃且仍有上升趋势，或上升速率过快时应采取限制壁温升高措施，一般扩容式等离子体燃烧器壁温应控制在360℃以下，450℃以上既有结焦可能。
利用四画面火焰控制燃烧、控制壁温。（2012年4月8日霍州电厂等离子
体点火，点火初始控制四画面火焰处于闪动状态，即将煤粉点燃又避免过早结焦。）只要煤种和燃烧器不匹配，调整范围过小，控制结焦困难，或Ⅲ型燃烧器、易结焦的点火罩，一是要预前控制，找好提前量；二就是改为监视四画面火焰，看火焰状态进行控制。
5）给煤量的选定
亚临界锅炉的初始投入功率一般为锅炉最大连续负荷（BMCR）的5％～7％；
超临界机组初始容许投入功率约为锅炉最大连续负荷（BMCR）的8％～10％。
东胜无油电厂330MW机组，ZGM95G-Ⅱ型磨煤机，点着火后，保持9.6t/h 给煤量运行；
石嘴山电厂330 MW亚临界机组，同类型磨煤机曾8 t/h运行，升压速度低于启动曲线。
海拉尔鄂温克电厂锅炉最大连续蒸发量：1950 t/h，直流摆动燃烧器，墙式切园燃烧。磨煤机为长春MPS225HP-Ⅱ型中速磨煤机，最大出力为88.1 t/h，最小出力为22.03 t/h，最小通风量为112.9 15.05 kg/s。2011年6月1日晚上该厂进行点火。5:32时点火后参数（因煤质好燃烧状态较好）：B给煤量为12.94 t/h；5:38时B给煤量仅为12.91 t/h；5:49时B给煤量16.97 t/h；7:35时稳定运行参数：B给煤量也只有13.98 t/h。
康平电厂600MW机组锅炉HP-1063磨煤机最小出力23.35 t/h，最小通风量88.1 t/h。2008年5月19日投入第二台（E）磨时给煤量减小到21.5 t/h；点火总结及建议：初始给煤量26 t/h，见火后将煤量减少到18t/h以下,稳定运行。
营口鲅鱼圈电厂1795 t/h超超临界锅炉，HP-1063型中速辊式磨煤机，额定出力60.4 t/h (设计煤种),53.4 t/h (校核煤种),总燃料量235 t/h；最小出力16.8 t/h,最小通风量88.11 t/h,一次风管内径￠590mm。2007年7月7日点火给煤量15.7 t/h；吹管运行给煤量19～34 t/h。
华能金陵电厂1000MW机组锅炉HP1163、DYN中速磨煤机2009年11月
6日中午点火给煤量25-30 t/h
华能海门电厂1036MW机组2009年3月15日点火给煤量30 t/h，着火后煤量减到24-25 t/h，吹管时给煤量保持在32.5 t/h
6）二次风配置问题
二次风总量大于额定风量的40%；着火后点火燃烧器二次风门开度达到60%以上；直流燃烧器周界风门开度要小；关小其他二次风门，风箱风压一般要达到0.5kPa以上。
均等配风可燃物要升高的。
如新疆××电厂二次燃烧期间二次风门开度：
AA40%、A10%、AB27.6%、B15.6%、BB19.6%、BC19.6%、C42%、再往上基本都在40%以上。调试人员认为“燃烧区域风量要小”。
和丰电厂调试人员反映：等离子体点火的玛纳斯、红一、乌苏等飞灰可燃物都在40%以上。而就在和丰电厂点火时，我们采用了同酒泉电厂相同的配风方式，燃烧效果、燃尽率良好。
7）加氧燃烧器
首先要了解不同燃烧器的特性
操作控制方法
四、防爆问题：
运行方式、各项参数的有效控制是保证提高燃烧率、不发生锅炉爆燃、二次燃烧的关键。在燃烧器的设计上，经过模化、理论研究、经过定量分析、试验是安全的。
等离子点火是不能发生爆燃的，而不正确地投油不适时地投入给粉（包括未拉弧投粉）或一次风速与煤质不匹配、配风不当才能有可能发生爆燃。
××电厂爆燃问题。2011年8月5日1:08时启动B磨煤机运行，时至5:35时，锅炉大小爆燃20余次，超过350～822 Pa的有8次。至8:20时，因尾部烟道特别是电除尘处温度上升过快，有二次燃烧的危险，调试决定在燃尽B磨及A 层粉管里的煤粉后停炉。
××电厂中储式制粉系统，在富氧点火试验时，初始点火阶段就有正压现象，在机组跳闸后重新点火，锅炉频繁打枪。锅炉正压有多个因素（粉仓下粉不畅、给粉机转数400r/min以下煤粉浓度低、氧气阀偏大氧气量调整不稳定、二次风配置不当等），但改变了配风，现象就好多了，没有了炉内的爆燃现象。
投入第二层时，我公司调试措施中的要求同样适用于低负荷稳燃操作。
我公司调试措施在第二台磨的投入及低负荷稳燃一节中，第二条在等离子燃烧器不超温的前提下，尽可能将其出力在可以保证点燃的范围内加到最大，再投入第二台磨煤机。
安全注意事项3.5.5在等离子体点火过程中，磨煤机给煤量应控制在等离子体点火状态下的燃烧器的设计出力范围内。等离子体燃烧器的设计出力为原燃烧
器设计出力的80%。
山西孝义××热电厂670t/h锅炉，A磨煤机对应燃烧器安装了等离子体燃烧器，B磨煤机对应燃烧器未安装等离子体点火装置又无助燃油枪。2013年5月14日在锅炉减负荷操作中，在没有停止B磨煤机运行且仍有近20t/h给煤量时，将等离子体燃烧器对应的A磨煤机出力降低到17t/h运行，使B磨煤机对应的B层燃烧器点火能量不足，B层燃烧器灭火。恢复时由于操作不当（A层等离子体发生器并未跳闸，运行正常，部分主要保护未投入，恢复时先启动B磨煤机、后启动A磨煤机），3分钟后，锅炉发生爆燃，水冷壁鳍片有撕裂现象。这是典型的稳燃能力不够又扩大事故的案列。
我们曾在多次培训中强调过稳燃问题。对此再次要求在锅炉点火启动投入第二层（为非等离子体）燃烧器或锅炉低负荷稳燃时，等离子体燃烧器对应的磨煤机出力一般不能低于该磨煤机设计出力的70%。只有在锅炉负荷超过断油负荷或停止所有非等离子体燃烧器运行后，方可进一步降低等离子体燃烧器出力运行。
又如国华××电厂#1炉(在等离子体低负荷稳燃情况下，锅炉汽包水位波动大，炉膛内部风压不稳定)。
某热电分公司#1炉二次燃烧事故
某厂×月28日20:01时点火，于29日2:50时出现二次燃烧迹象，至3:00时省煤器入口前烟气温度不正常地升高70没有发现。于3：20时左右空气预热器跳闸才发现问题；又处理不果断，至3:37时停止磨煤机运行、停止发生器电弧，3:39时才停止送、引风机运行。从出现迹象到停止风机运行长达约50分钟。为吸取教训，安全措施应增加按安全措施落实到位，检查到位；监盘认真负责，对锅炉尾部烟道各段烟气温度建实时曲线重点监视，观察、比较多条曲线变化，发现异常，果断、正确处理。
其思考问题还有为什么省煤器前烟气温度首先不正常升高？该厂锅炉为亚临界锅炉尾部竖井烟道没有再热器，且省煤器又为51mm光管省煤器，省煤器前应没有积粉的可能。
该厂点火过程中，二次风与炉膛差压0.13 kPa，总风量484.39 t/h，总煤量29 t/h，而各角二次风门由下往上开度依次为：AA层38%；A层20%；AB
层9.25%；B层8%；BC层12.25%；C层12.0%；CD1层15%；CD2层46%；D层60%；DE层80%；E层90%；EE层95%；再往上各层均为100%。
管理制度编号：YTO-FS-PD820 等离子体点火安全注意事项通用版 In Order T o Standardize The Management Of Daily Behavior, The Activities And T asks Are Controlled By The Determined Terms, So As T o Achieve The Effect Of Safe Production And Reduce Hidden Dangers. 标准/ 权威/ 规范/ 实用 Authoritative And Practical Standards
等离子体点火安全注意事项通用版 使用提示：本管理制度文件可用于工作中为规范日常行为与作业运行过程的管理，通过对确定的条款对活动和任务实施控制,使活动和任务在受控状态，从而达到安全生产和减少隐患的效果。文件下载后可定制修改，请根据实际需要进行调整和使用。 1.总则 1.1 为了保证等离子体点火工程设备现场安全、高效地施工、调试、运行和维护，避免人身伤害及设备损坏，编制该安全注意事项； 1.2 该注意事项适合于等离子体点火工程的组织人员、安装人员、现场调试人员和电厂的运行及维护人员； 1.3 烟台龙源电力技术股份有限公司（以下简称烟台龙源公司）对于等离子体点火工程必须指定现场负责人，负责与甲方、调试单位等有关方面联系及协调工作，建议甲方指定专人负责相关工作的协调； 1.4 现场工作必须遵守有关的安全规程及两票三制等保证安全的制度和要求； 1.5 烟台龙源公司必须提出等离子体点火工程调试大纲，呈请甲方审查并纳入整个机组的调试大纲； 1.6 在锅炉启动过程中，必须在确保安全的条件下实现等离子体点火，特别是防止发生炉膛爆破、二次燃烧等设备损坏和人员伤害事故。
( 操作规程 ) 单位：_________________________ 姓名：_________________________ 日期：_________________________ 精品文档 / Word文档 / 文字可改 窑炉烧成工安全操作规程(标准 版) Safety operating procedures refer to documents describing all aspects of work steps and operating procedures that comply with production safety laws and regulations.
窑炉烧成工安全操作规程(标准版) 1，工作时，必须穿戴劳动保护用品，严禁穿短裤、拖鞋、凉鞋，防止高温烫伤。 2，送气、点火必须提前开启排烟风机3-5分钟，再进行，防止窑内煤气浓度过高，产生炸窑。 3，定期对煤气分支管道和煤气阀门检查是否泄漏，如发生泄漏应及时处理或更换。 4，处理煤气泄漏时，必须保持环境通风，禁止使用明火。 5，运行中的风机、传动电机、电线、电缆若有异常，严禁乱动乱拆、应马上找维修电工、班长解决。 6、经常检查炉内喷枪燃烧情况，及时调整配比，保证炉内煤气充分燃烧。 7、窑炉喷枪的调整要及时准确，以免气温、气压不稳造成事故，
随时观察仪表的工作情况，每隔1小时观察窑炉内是否有堵塞现象，并做好记录。 8、烧成工每小时对窑炉温度和负压、干燥器温度进行记录，窑炉温度和设定温度不同时，及时对助燃风机、火枪煤气软管进行检查处理。 温度设定：窑炉以设定温度为准上下浮动30度；干燥塔以设定温度为准上下浮动50℃ 9、每小时一次目测砖的平直度，测量磨边后砖的平直度，基平直度超标（弯曲不超过1.4㎜；上翘0.8㎜），砖的弯曲，上翘呈自然状态时，及时调节高温带四块仪表的温度。基出现不规则变形时，立即汇报，以便尽早处理。 10、每半小时一次测量砖的尺寸，大时，高温带上下温度各加一度；小时，各减一度。若一片砖的尺寸相差5㎜时调整上下烧咀的火焰长度，每次调节不得超过两节窑炉。并做好标记，出砖后测量。 11、空窑时及时通知煤气站，然后检查棍棒的粘结情况，并将
等离子体点火安全注意事项 1. 总则 1.1为了保证等离子体点火工程设备现场安全、高效地施工、调试、运行和维护，避免人身伤害及设备损坏，编制该安全注意事项。 1.2 该注意事项适合于等离子体点火工程的组织人员、安装人员、现场调试人员和电厂的运行及维护人员。 1.3烟台龙源电力技术股份有限公司（以下简称烟台龙源公司）对于等离子体点火工程必须指定现场负责人，负责与甲方、调试单位等有关方面联系及协调工作，建议甲方指定专人负责相关工作的协调。 1.4现场工作必须遵守有关的安全规程及两票三制等保证安全的制度和要求。 1.5烟台龙源公司必须提出等离子体点火工程调试大纲，呈请甲方审查并纳入整个机组的调试大纲。 1.6 在锅炉启动过程中，必须在确保安全的条件下实现等离子体点火，特别是防止发生炉膛爆破、二次燃烧等设备损坏和人员伤害事故。 2. 人身安全 2.1 维护等离子体发生器（更换阴极、阳极等）时应首先停止等离子体发生器，切断整流柜控制电源，并切换至就地控制位置，拔出交流侧保险，并挂“有人工作，禁止操作”警示牌，确认等离子体发生器无电后方可开始工作。 2.2 在就地观察炉膛燃烧情况时身体应站在观火孔侧面，防止炉膛负压波动时火焰喷出伤人；炉膛燃烧不稳时严禁在观火孔、人孔等部位停留。 2．3等离子体发生器运行的时候，严禁取下发生器罩壳，防止触电。 3. 设备安全 防止炉膛爆破的关键是提高燃烧效率和防止炉膛灭火 3.1 冷炉点火，点火初期尽可能提高等离子体点火初期的燃烧效率。 3.1.1 输煤、制粉、除灰、除尘、吹灰系统设备完好，满足锅炉燃煤运行的要求。 3.1.2 等离子体点火用煤应满足设计煤种。调试过程中，当发现实际使用煤种与等离子体点火系统设计煤种不符时，应及时更换合格煤种，以保证锅炉启动的安全。 3.1.3 等离子体点火系统投入前必须进行一次风管风速的调平，其误差应符合制粉
窑炉车间安全操作规程 压力机人员安全操作规程 一、启动压机前，认真查看压机周围是否有人、物等，确认安全后，方可启动。 二、压机在正常工作中，严禁整修布料器、锤头、模具、翻坯器等，处理故障时，必须停机并打起保险杠后作业。 三、维修压机，擦试或更换模具时，必须打起保险杠，以免锤头滑落。 四、电器设备严禁乱动，电缆、电线严禁乱扯，以免发生危险。 五、修理压机上部时，要系好安全带，由专人监护，并且停机停电、经有关领导同意后，方可进行操作。 六、在清扫卫生时，要用专用工具，禁止钻到设备下面清理卫生。 XXXXXXXXXXXXXXXX
传送带工安全操作规程 一、搬砖时，手要远离皮带轮处，严禁从皮带下面向上顶砖，以免伤手。 二、发现掉拉带时，要找维修工处理，严禁私自处理。 三、发生机械故障，要找维修工、电工或班长处理，严禁违章作业。 四、电器开关柜上严禁放杂物，以免造成事故。 XXXXXXXXXXXXXXXX 印花机工安全操作规程 一、印花机运转时，印花机上严禁坐人，不得脚踩印花机及线架传动部位。 二、擦板时，应确认网架安全杆已被锁住，方可进行擦板，以防落网伤人。 三、擦板或调整印花机时，身体要离开印花机控制板，以防触动控制开关，造成机器伤人，放板时，严禁用手触摸。 四、擦板后放砖，严禁手放在皮带轮附近。 五、操作人员在工作上，要集中精力严禁打闹。
六、印花机各部件，电眼、电柜等严禁私自乱动。 七、严禁跨越传动部位。 八、如有紧急情况，马上关闭急停开关，找有关人员进行故障排除。 XXXXXXXXXXXXXXXX 施釉线工安全操作规程 一、喷釉线、电机、电线、插头等电器，按规定位置摆放，严禁用湿手触摸，若有电线破损等要及时找电工排除。 二、防护网必须齐全有效，不允许在皮带轮附近搬砖，以防伤手。 三、釉箱清理磁铁时，须有一人监护，防止出现意外。 四、在更换釉箱时，必须提前准备好备用釉箱，将需要换下的釉箱，釉泵先切断电源，方可更换，严禁带电移动釉箱。 XXXXXXXXXXXXXXXX
编号：SM-ZD-31743 转炉烟气放散点火安全操 作规程 Through the process agreement to achieve a unified action policy for different people, so as to coordinate action, reduce blindness, and make the work orderly. 编制：____________________ 审核：____________________ 批准：____________________ 本文档下载后可任意修改
转炉烟气放散点火安全操作规程 简介：该规程资料适用于公司或组织通过合理化地制定计划，达成上下级或不同的人员 之间形成统一的行动方针，明确执行目标，工作内容，执行方式，执行进度，从而使整 体计划目标统一，行动协调，过程有条不紊。文档可直接下载或修改，使用时请详细阅 读内容。 1、煤气点火工必须经煤气安全知识培训，并考试合格后方可上岗。严禁非值班人员进行操作。 2、进入煤气区域工作，必须2人以上，带煤气作业应事先通知工段有关人员和煤气防护站，并佩戴空气呼吸器。 3、接班后，对区域煤气管网及设备设施进行全面检查，确保煤气管网阀门、法兰、仪表接头连接处检查确认无泄漏，固定式报警器工作正常，检查发现隐患应及时整改，对不能处理的问题向工段汇报，并采取临时性安全措施，确保运行安全可靠，并做好相关记录。 4、煤气点火工必须熟悉所属区域煤气管道、设施及设备。煤气管道阀门、设施及设备上须悬挂明显的标识牌、警示牌及看牌，保证各类示牌标识清楚、醒目。 5、对转炉煤气点火装置进行检修及检查人员应于岗位人员联系，岗位人员要及时进行煤气危险告知，并做好安全
操作规程编号：LX-FS-A73394 窑炉点火安全操作规程标准范本 In The Daily Work Environment, The Operation Standards Are Restricted, And Relevant Personnel Are Required To Abide By The Corresponding Procedures And Codes Of Conduct, So That The Overall Behavior Can Reach The Specified Standards 编写：_________________________ 审批：_________________________ 时间：________年_____月_____日 A4打印/ 新修订/ 完整/ 内容可编辑
窑炉点火安全操作规程标准范本 使用说明：本操作规程资料适用于日常工作环境中对既定操作标准、规范进行约束，并要求相关人员共同遵守对应的办事规程与行动准则，使整体行为或活动达到或超越规定的标准。资料内容可按真实状况进行条款调整，套用时请仔细阅读。 1、检查所有煤气烧嘴都已完全关闭。 2、将窑炉煤气管道上的放散阀门完全打开。 3、启动窑炉引风机。 4、启动煤气助燃风机。 5、将电磁跳闸系统开关接通 6、通知煤气站，让他们送煤气。 7、从煤气排空出取样化验，测其含氧量， 8、当煤气中的含氧量低于0.5%时方可点火。 9、点燃浸少许油的棉纱作火把，靠近煤气烧火嘴点火孔。 10、调节助燃风阀门，让火苗刚好抽到火孔
内， 11、慢慢开启煤气阀门，直到从烧喷出蓝色火焰。 12、如果刚点燃的火焰有熄火，应立即关闭煤气阀门，重新点火。 13、烧嘴点燃以后，再将煤气排空阀门完全关闭 请在该处输入组织/单位名称 Please Enter The Name Of Organization / Organization Here
管理制度编号：LX-FS-A54025 等离子体点火安全注意事项标准范 本 In The Daily Work Environment, The Operation Standards Are Restricted, And Relevant Personnel Are Required To Abide By The Corresponding Procedures And Codes Of Conduct, So That The Overall Behavior Can Reach The Specified Standards 编写：_________________________ 审批：_________________________ 时间：________年_____月_____日 A4打印/ 新修订/ 完整/ 内容可编辑
等离子体点火安全注意事项标准范 本 使用说明：本管理制度资料适用于日常工作环境中对既定操作标准、规范进行约束，并要求相关人员共同遵守对应的办事规程与行动准则，使整体行为或活动达到或超越规定的标准。资料内容可按真实状况进行条款调整，套用时请仔细阅读。 1.总则 1.1 为了保证等离子体点火工程设备现场安全、高效地施工、调试、运行和维护，避免人身伤害及设备损坏，编制该安全注意事项； 1.2 该注意事项适合于等离子体点火工程的组织人员、安装人员、现场调试人员和电厂的运行及维护人员； 1.3 烟台龙源电力技术股份有限公司（以下简称烟台龙源公司）对于等离子体点火工程必须指定现场负责人，负责与甲方、调试单位等有关方面联系及协
调工作，建议甲方指定专人负责相关工作的协调； 1.4 现场工作必须遵守有关的安全规程及两票三制等保证安全的制度和要求； 1.5 烟台龙源公司必须提出等离子体点火工程调试大纲，呈请甲方审查并纳入整个机组的调试大纲； 1.6 在锅炉启动过程中，必须在确保安全的条件下实现等离子体点火，特别是防止发生炉膛爆破、二次燃烧等设备损坏和人员伤害事故。 2.人身安全 2.1 维护等离子体发生器（更换阴极、阳极等）时应首先停止等离子体发生器，切断整流柜控制电源，并切换至就地控制位置，拔出交流侧保险，并挂"有人工作，禁止操作"警示牌，确认等离子体发生器无电后方可开始工作； 2.2 在就地观察炉膛燃烧情况时身体应站在观火
等离子体点火安全注意事 项示范文本 In The Actual Work Production Management, In Order To Ensure The Smooth Progress Of The Process, And Consider The Relationship Between Each Link, The Specific Requirements Of Each Link To Achieve Risk Control And Planning 某某管理中心 XX年XX月
等离子体点火安全注意事项示范文本使用指引：此管理制度资料应用在实际工作生产管理中为了保障过程顺利推进，同时考虑各个环节之间的关系，每个环节实现的具体要求而进行的风险控制与规划，并将危害降低到最小，文档经过下载可进行自定义修改，请根据实际需求进行调整与使用。 1.总则 1.1 为了保证等离子体点火工程设备现场安全、高效地 施工、调试、运行和维护，避免人身伤害及设备损坏，编 制该安全注意事项； 1.2 该注意事项适合于等离子体点火工程的组织人员、 安装人员、现场调试人员和电厂的运行及维护人员； 1.3 烟台龙源电力技术股份有限公司（以下简称烟台龙 源公司）对于等离子体点火工程必须指定现场负责人，负 责与甲方、调试单位等有关方面联系及协调工作，建议甲 方指定专人负责相关工作的协调； 1.4 现场工作必须遵守有关的安全规程及两票三制等保 证安全的制度和要求；
1.5 烟台龙源公司必须提出等离子体点火工程调试大纲，呈请甲方审查并纳入整个机组的调试大纲； 1.6 在锅炉启动过程中，必须在确保安全的条件下实现等离子体点火，特别是防止发生炉膛爆破、二次燃烧等设备损坏和人员伤害事故。 2.人身安全 2.1 维护等离子体发生器（更换阴极、阳极等）时应首先停止等离子体发生器，切断整流柜控制电源，并切换至就地控制位置，拔出交流侧保险，并挂"有人工作，禁止操作"警示牌，确认等离子体发生器无电后方可开始工作； 2.2 在就地观察炉膛燃烧情况时身体应站在观火孔侧面，防止炉膛负压波动时火焰喷出伤人；炉膛燃烧不稳时严禁在观火孔、人孔等部位停留； 2.3 等离子体发生器运行的时候，严禁取下发生器罩壳，防止触电。
窑炉烧成工序安全操作规程 1 目的 确保烧成工艺的合理性及稳定性，从而保证产品质量稳定。 2 职责 2.1 工艺部负责下达烧成工艺卡。 2.2 窑炉主管、班长负责窑炉烧成曲线、压力制度和气氛制度的设定和调节。 2.3 司炉工负责烧成工序的操作和当班产品质量改善。 2.4 保养工负责窑炉的保养。 3 主要生产设备及工具 辊道窑窑体、进出砖平台、燃料供应和燃料系统、传动系统、排烟系统和冷却系统、自动控制系统；压力计、铁杆、铁钩、水平尺(管)、柴油小桶、直尺、肥皂水等。 4 操作规范 4.1 窑炉常规检查内容 4.1.1 做好上班前的准备工作，开好班前会，进行5分钟6S检查。 4.1.2 交接班时，要检查上一班工作记录、质检报表、温度记录表，了解上一班砖坯质量情况，如：砖坯的尺码、砖形、平整度、针孔状况、色号、是否对板、主要烧成缺陷等。 4.1.3 监视煤气压力、供电电压、传动变频和各风机变频频率（责任人；炉工） 4.1.4 进砖时要注意干燥与窑炉速度一致，进砖保持整齐，产品无碰撞现象（责任人：保养） 4.1.5 严格控制好各区温度，特别是烧成带温度，将其稳定在烧成曲线要求的±2度范围内（责任人：炉工）。随时观察表温，如果发现温度无论是超过设定温度并持续上升，还是低于设定温度并持续下降，如果不是疏砖引起，应着手检查控制电路、热电偶和执行器。 4.1.6 检查各喷枪的燃烧情况，使所有喷枪无火星、无突突声，火焰无歪斜、火焰颜色呈淡蓝色透明状、无灰色烟雾。 4.1.7 经常检查，定期添加石棉和更换孔砖周围的石棉保证隔热效果，无漏光、漏火、渗风现象，又不影响辊棒的灵活运转。 4.1.8 经常检查煤气管道的密封性，如感觉有煤气泄露的味道，可用肥皂水进行检查，此项工作必须有两人在场，以防煤气中毒。 4.1.9 保证辊棒运转连续平稳，输送顺畅，无叠砖，传动机构润滑良好。窑炉转速（各段传动电机变频）未经窑炉主管同意不得随意调节。 4.1.10 检查窑炉各个风机冷却水，确认风机运行平稳，无异常杂音，润滑良好，冷却系统顺畅无泄漏。
等离子体刻蚀机原理 什么是等离子体？ ?随着温度的升高，一般物质依次表现为固体、液体和气体。它们统称为物质的 三态。 ?当气体的温度进一步升高时，其中许多，甚至全部分子或原子将由于激烈的相 互碰撞而离解为电子和正离子。这时物质将进入一种新的状态，即主要由电子和 正离子（或是带正电的核）组成的状态。这种状态的物质叫等离子体。它可以称 为物质的第四态。 等离子体的应用 等离子体的产生
等离子体刻蚀原理 ?等离子体刻蚀是采用高频辉光放电反应，使反应气体激活成活性粒子，如原子或游离基，这些活性粒子扩散到需刻蚀的部位，在那里与被刻蚀材料进行反应，形成挥发性反应物而被去除。 ?这种腐蚀方法也叫做干法腐蚀。 等离子体刻蚀反应
?首先，母体分子CF4在高能量的电子的碰撞作用下分解成多种中性基团或离子。 CF4→CF3，CF2，CF，C，F ?其次，这些活性粒子由于扩散或者在电场作用下到达SiO2表面，并在表面上发生化学反应。 ?生产过程中，在CF4中掺入O2，这样有利于提高Si和SiO2的刻蚀速率。 等离子体刻蚀工艺 ?装片 在待刻蚀硅片的两边，分别放置一片与硅片同样大小的玻璃夹板，叠放整齐，用夹具夹紧，确保待刻蚀的硅片中间没有大的缝隙。将夹具平稳放入反应室的支架上，关好反应室的盖子。 检验方法 ?冷热探针法 检验原理 ?热探针和N型半导体接触时，传导电子将流向温度较低的区域，使得热探针处
电子缺少，因而其电势相对于同一材料上的室温触点而言将是正的。 ?同样道理，P型半导体热探针触点相对于室温触点而言将是负的。 ?此电势差可以用简单的微伏表测量。 ?热探针的结构可以是将小的热线圈绕在一个探针的周围，也可以用小型的电烙 铁。 检验操作及判断 ?确认万用表工作正常，量程置于200mV。 ?冷探针连接电压表的正电极，热探针与电压表的负极相连。 ?用冷、热探针接触硅片一个边沿不相连的两个点，电压表显示这两点间的电压为负值，说明导电类型为p，刻蚀合格。相同的方法检测另外三个边沿的导电类型是否为p型。 ?如果经过检验，任何一个边沿没有刻蚀合格，则这一批硅片需要重新装片，进行刻蚀。 一．等离子体刻蚀工艺原理: 等离子体刻蚀机是基于真空中的高频激励而产生的辉光放电将四氟化碳中的氟离子电离出来从而获得化学活性微粒与被刻蚀材料起化学反应产生辉发性物质进行刻蚀的。同时为了保证氟离子的浓度和刻蚀速度必须加入一定比例的氧气生成二氧化碳。 二．主要用途及适用范围： 该设备主要对太阳能电池片周边的P—N结进行刻蚀，使太阳能电池片周边呈开路状态。也可用于半导体工艺中多晶硅，氮化硅的刻蚀和去胶。 三．使用环境及工作条件： 1）环境温度：5℃—40℃； 2）相对湿度：<70%； 3）环境净化等级：>10000级； 4）大气压强：一个标准大气压； 5）电源：三相交流380（1±10%）V，频率50 （1±10%）Hz； 6）所用气体压力：0.1Mpa—0.2 Mpa；所用气体为四氟化碳、氧气和氮气。 7）每台设备要有良好的，独立的接地且接地电阻最好小于0.1Ω；四．总体结构： 本设备由真空管路系统、气路系统、反应室、压力控制系统、SY型射频功率源、电源供电及控制部分组成。 1）真空管路系统主要由2X—15型旋片式真空泵、电磁隔断放气阀、波纹管、碟阀、预抽阀、电磁隔断阀组成。 2）气路系统主要由控制四氟化碳、氧气、尾气、稀释、氮气的电磁阀及不锈钢管和软管组成。其中为了精确控制四氟化碳和氧气10:1的混合比例，在控制四氟化碳和氧气电磁阀的后级加了质量流量计。（这里要附带讲一下关于工作压差的问题，我们所用的质量流量计的工作压差为0.1Mpa—0.5Mpa。而反应室的辉光工作压力为80Pa或更低，尤其是在充气瞬间。因此这就是为什么要求供气压力设定为0.1Mpa—0.2 Mpa的原因。以前出现过由于硅片刻不通，操作
PICS-I-100型煤粉锅炉等离子体点火及稳燃系统用户手册 安徽省新能电气科技有限公司
目录 第1章煤粉锅炉等离子体点火系统概述 (1) 1.1 煤粉锅炉等离子体点火技术产生背景 (1) 1.2 煤粉锅炉等离子体点火的基本原理 (1) 1.3 PICS-I-100型等离子体点火系统的基本构成 (2) 1.4 产品的主要特点 (4) 1.4.1 等离子体点火器稳定高效 (4) 1.4.2 燃烧器的多级放大结构，有效减小了点火功率 (4) 1.4.3 等离子体点火系统适应性强 (4) 1.4.4 稳定可靠的直流电源技术 (4) 1.4.5 操作运行简单、人机友好的PLC控制系统 (4) 第2章产品技术规范 (6) 2.1 产品型号 (6) 2.2 PICS-I-100型等离子体点火系统的主要技术指标 (6) 2.3 产品满足的主要技术标准 (6) 2.4 产品使用的环境要求 (7) 第3章系统的组成与设备介绍 (8) 3.1 整流电源装置 (8) 3.1.1 整流变压器柜 (8) 3.1.2 整流控制柜 (9) 3.1.3 点火子系统测控电路 (9) 3.2 等离子体点火器 (10) 3.2.1 点火器阳极 (11) 3.2.2 点火器阴极 (11) 3.2.3 引弧装置 (11) 3.2.4 工质气体、冷却水和电连接口 (11) 3.3 等离子体燃烧器 (12) 3.4 火焰电视系统 (13) 3.5 工质气体和冷却风系统 (13) 3.6 冷却水系统 (16) 3.7 一次风加热系统 (18) 3.8 一次风风粉测速系统 (19) 第4章设备的到货、保管与安装 (21) 4.1 设备的到货验收与存放保管 (21)
窑炉烧成工安全操作规程 1，工作时，必须穿戴劳动保护用品，严禁穿短裤、拖鞋、凉鞋，防止高温烫伤。 2，送气、点火必须提前开启排烟风机3-5分钟，再进行，防止窑内煤气浓度过高，产生炸窑。 3，定期对煤气分支管道和煤气阀门检查是否泄漏，如发生泄漏应及时处理或更换。 4，处理煤气泄漏时，必须保持环境通风，禁止使用明火。 5，运行中的风机、传动电机、电线、电缆若有异常，严禁乱动乱拆、应马上找维修电工、班长解决。 6、经常检查炉内喷枪燃烧情况，及时调整配比，保证炉内煤气充分燃烧。 7、窑炉喷枪的调整要及时准确，以免气温、气压不稳造成事故，随时观察仪表的工作情况，每隔1小时观察窑炉内是否有堵塞现象，并做好记录。 8、烧成工每小时对窑炉温度和负压、干燥器温度进行记录，窑炉温度和设定温度不同时，及时对助燃风机、火枪煤气软管进行检查处理。 温度设定：窑炉以设定温度为准上下浮动30度；干燥塔以设定温度为准上下浮动50℃ 9、每小时一次目测砖的平直度，测量磨边后砖的平直度，基平直
度超标（弯曲不超过1.4㎜；上翘0.8㎜），砖的弯曲，上翘呈自然状态时，及时调节高温带四块仪表的温度。基出现不规则变形时，立即汇报，以便尽早处理。 10、每半小时一次测量砖的尺寸，大时，高温带上下温度各加一度；小时，各减一度。若一片砖的尺寸相差5㎜时调整上下烧咀的火焰长度，每次调节不得超过两节窑炉。并做好标记，出砖后测量。 11、空窑时及时通知煤气站，然后检查棍棒的粘结情况，并将缺少的辊棒安上。对上部烧咀进行清理。 7、风机吸热口、闸板高度和窑炉转速等不得乱调。需要调整时，与班长协商，主任批准后，方可进行，并做好记录。 12、窑炉出现故障时，先启动打摆功能，迅速关闭高温区煤气阀门，故障排除后恢复正常。变频器出现故障，传动停转时，要使用工频将砖转出。 13、每小时对各排污点排污一次，并把废水运到煤气站废水池内。排污时要侧身斜视，无水后立即关闭。 14、每小时检查窑炉压力，若浮动较大及时汇报班长处理，并做好记录。 15、窑炉两侧高温棉必须堵严，防止漏火引起火灾。妥善保管窑炉两侧的消防器材，确保有效。 16、停气时先打开主管路两侧放散阀门，把分路阀门和控制执行机关闭，送气后，接到煤气化验合格通知，方可点火。
等离子体点火安全注意事项 1.总则 1.1为了保证等离子体点火工程设备现场安全、高效地施工、调试、运行和维护，避免人身伤害及设备损坏，编制该安全注意事项； 1.2该注意事项适合于等离子体点火工程的组织人员、安装人员、现场调试人员和电厂的运行及维护人员； 1.3烟台龙源电力技术股份有限公司（以下简称烟台龙源公司）对于等离子体点火工程必须指定现场负责人，负责与甲方、调试单位等有关方面联系及协调工作，建议甲方指定专人负责相关工作的协调； 1.4现场工作必须遵守有关的安全规程及两票三制等保证安全的制度和要求； 1.5烟台龙源公司必须提出等离子体点火工程调试大纲，呈请甲方审查并纳入整个机组的调试大纲； 1.6在锅炉启动过程中，必须在确保安全的条件下实现等离子体点火，特别是防止发生炉膛爆破、二次燃烧等设备损坏和人员伤害事故。 2.人身安全 2.1维护等离子体发生器（更换阴极、阳极等）时应首先停止等离子体发生器，切断整流柜控制电源，并切换至就地控制位置，拔出交流侧保险，并挂有人工作，禁止操作警示牌，确认等离子体发生器无电后方可开始工作； 2.2在就地观察炉膛燃烧情况时身体应站在观火孔侧面，防止炉膛负压波动时火焰喷出伤人；炉膛燃烧不稳时严禁在观火孔、人孔等部位停留； 2.3等离子体发生器运行的时候，严禁取下发生器罩壳，防止触电。 3.设备安全 3.1冷炉点火，点火初期尽可能提高等离子体点火初期的燃烧效率； 3.1.1输煤、制粉、除灰、除尘、吹灰系统设备完好，满足锅炉燃煤运行的要求； 3.1.2等离子体点火用煤应满足设计煤种。调试过程中，当发现实际使用煤种与等离子体点火系统设计煤种不符时，应及时更换合格煤种，以保证锅炉启动的安全； 3.1.3等离子体点火系统投入前必须进行一次风管风速的调平，其误差应符合制粉系统技术协议的要求（各一次风管风速差≤5％）； 3.1.4调节磨煤机出口分离器挡板开度或旋转分离器转速，适当控制煤粉细度，入炉煤收到基挥发分Var≤20％，Aar≥35％的煤种，煤粉细度宜R90≤15％；入炉煤收到基挥发分Var≤20％，Aar≥40％的煤种，煤
内部编号：AN-QP-HT736 版本/ 修改状态：01 / 00 The Procedures Or Steps Formulated T o Ensure The Safe And Effective Operation Of Daily Production, Which Must Be Followed By Relevant Personnel When Operating Equipment Or Handling Business, Are Usually Systematic Documents, Which Are The Operation Specifications Of Operators. 编辑：__________________ 审核：__________________ 单位：__________________ 点火安全操作规程通用范本
点火安全操作规程通用范本 使用指引：本操作规程文件可用于保证本部门的日常生产、工作能够安全、稳定、有效运转而制定的，相关人员在操作设备或办理业务时必须遵循的程序或步骤，通常为系统性的文件，是操作人员的操作规范。资料下载后可以进行自定义修改，可按照所需进行删减和使用。 1. 由办公室接市场开发部任务单、花名册后第一时间内通知物资部，由物资部经理通知相关灶具、热水器、壁挂炉等供应商所派的维修技术人员。 2. 相关灶具、热水器、壁挂炉等供应商所派的维修技术人员在分析任务要求后，将工作分配要求反馈给办公室。 3. 办公室根据“工作分配要求”首先通知安全部组织相关人员，其次通知库管员准备点火材料、工具。 4. 安全部制定具体入户点火工作计划，并对抢修抢险队、设备维修技术人员、巡线队人
等离子体刻蚀 ●集成电路的发展 1958年：第一个锗集成电路 1961年：集成8个元件 目前：集成20亿个元件 对比： 第一台计算机（EN IAC，1946），18000 只电子管, 重达30 吨, 占 地180 平方米, 耗电150 千瓦。奔II芯片：7.5百万个晶体管 ●集成电路发展的基本规律 穆尔法则：硅集成电路单位面积上的晶体管数，每18个月翻一番，特征尺寸下降一半。 集成度随时间的增长： 特征长度随时间的下降：
集成电路制造与等离子体刻蚀 集成电路本质：微小晶体管，MOS场效应管的集成 微小晶体管，MOS场的制作：硅片上微结构制作----槽、孔早期工艺：化学液体腐蚀----湿法工艺 5微米以上 缺点: (a)腐蚀性残液----->降低器件稳定性、寿命 (b)各向同性 (c)耗水量大（why） (d)环境污染
随着特征尺寸的下降，湿法工艺不能满足要求，寻求新的工艺----> 等离子体干法刻蚀，在1969引入半导体加工，在70年代开始广泛应用。
等离子体刻蚀过程、原理： 4
刻蚀三个阶段 (1) 刻蚀物质的吸附、反应 (2) 挥发性产物的形成; (3) 产物的脱附, 氯等离子体刻蚀硅反应过程 Cl2→Cl+Cl Si（表面）+2Cl→SiCl2 SiCl2+ 2Cl→SiC l4（why） CF4等离子体刻蚀SiO2反应过程 离子轰击作用 三种主要作用 （1）化学增强物理溅射(Chemical en2hanced physical sputtering) 例如,含氟的等离子体在硅表面形成的SiF x 基与元素 Si 相比,其键合能比较低,因而在离子轰击时具有较高 的溅射几率, （2）晶格损伤诱导化学反应(damage - induced chemical reaction) 离子轰击产生的晶格损伤使基片表面与气体物质的反 应速率增大 （3）化学溅射(chemical sputtering) 活性离子轰击引起一种化学反应,使其先形成弱束缚的 分子,然后从表面脱附。 其他作用 ?加速反应物的脱附 ---> 提高刻蚀反应速度 ?控制附加沉积物---> 提高刻蚀的各向异性
操作规程编号：YTO-FS-PD917 点火安全操作规程通用版 In Order T o Standardize The Management Of Daily Behavior, The Activities And T asks Are Controlled By The Determined Terms, So As T o Achieve The Effect Of Safe Production And Reduce Hidden Dangers. 标准/ 权威/ 规范/ 实用 Authoritative And Practical Standards
点火安全操作规程通用版 使用提示：本操作规程文件可用于工作中为规范日常行为与作业运行过程的管理，通过对确定的条款对活动和任务实施控制,使活动和任务在受控状态，从而达到安全生产和减少隐患的效果。文件下载后可定制修改，请根据实际需要进行调整和使用。 1. 由办公室接市场开发部任务单、花名册后第一时间内通知物资部，由物资部经理通知相关灶具、热水器、壁挂炉等供应商所派的维修技术人员。 2. 相关灶具、热水器、壁挂炉等供应商所派的维修技术人员在分析任务要求后，将工作分配要求反馈给办公室。 3. 办公室根据“工作分配要求”首先通知安全部组织相关人员，其次通知库管员准备点火材料、工具。 4. 安全部制定具体入户点火工作计划，并对抢修抢险队、设备维修技术人员、巡线队人员下达任务时间、地点、具体要求。200户以上大区必须提前组织点火相关人员开会，以保证工作顺利进行。 5. 库管员负责准备并检查点火所需材料工具、磁卡、电沁、使用证、入户点火登记表、打压板、无人通知单、胶水、报警器、锤子、线卡子等相关工具。 6. 安全部、办公室、库管员完成准备工作后应在第一时间通知公司总经理准备工作完成，以便协调指挥。
点火安全技术操作规程示 范文本 In The Actual Work Production Management, In Order To Ensure The Smooth Progress Of The Process, And Consider The Relationship Between Each Link, The Specific Requirements Of Each Link To Achieve Risk Control And Planning 某某管理中心 XX年XX月
点火安全技术操作规程示范文本 使用指引：此操作规程资料应用在实际工作生产管理中为了保障过程顺利推进，同时考虑各个环节之间的关系，每个环节实现的具体要求而进行的风险控制与规划，并将危害降低到最小，文档经过下载可进行自定义修改，请根据实际需求进行调整与使用。 1、点火前要全面检查管道和机电设备，确认完好后才 能由操作人员按程序点火，必须有主管领导或专职管理人 员在场指挥。 2、新建或检修后的加热炉点火，点火前要确认对偏心 蝶阀及眼镜阀处于关闭状态，并要关闭所有的开闭器（烧 咀），打开各停气部位的放散阀，进行天然气放散。先用 氮气吹出管道内空气（新建管道要先用压缩空气吹扫管道 内的渣子等物）确认氮气成分合格后，开启蝶阀及眼镜 阀，然后用天然气吹赶氮气。经爆破实验合格后才逐段点 火。 3、提前半小时启动鼓风机，并将冷却水系统开闭阀全 部打开。
4、打开流量翻板低压切断阀、烟道阀门开到最大位置，炉门要全部打开进行炉膛放散。同时检查警报系统、冷却水系统、供气系统、天然气空气系统、烟道抽力、炉底转动等正常后方可点炉。 5、点火时，除参加点炉操作的加热炉组长、看火工、炉钳工和现场组织指挥人员外，其他无关人员都必须远离现场。 6、点火应先给火源后开天然气。必须有一人在远离炉门呈45度角处观察。若点不着火时，必须立即关闭天然气阀门。打开空气阀，放散15分钟后，重新做爆破实验，合格后再按顺序点火。 7、烧咀点着，燃烧正常后方可缓慢开气调整火焰，严禁突然增大天然气送入量，避免引起压力波动发生低压造成事故。 8、点火后发生个别烧咀熄灭必须重点，大部分烧咀熄
编号：SM-ZD-49718 液化气窑炉安全操作规程Through the process agreement to achieve a unified action policy for different people, so as to coordinate action, reduce blindness, and make the work orderly. 编制：____________________ 审核：____________________ 批准：____________________ 本文档下载后可任意修改
液化气窑炉安全操作规程 简介：该规程资料适用于公司或组织通过合理化地制定计划，达成上下级或不同的人员之间形成统一的行动方针，明确执行目标，工作内容，执行方式，执行进度，从而使整体计划目标统一，行动协调，过程有条不紊。文档可直接下载或修改，使用时请详细阅读内容。 1．装车 烧制过程中，首先匣钵堆码在窑车上，堆码的层数由产品规格品种而定，钵与钵之间应注意留有一定的间隙，不能排的太满，保证火道畅通，应按“不密不稀”的原则进行，以利于传热，减少温差。 2．点火前的准备 点火前窑体首先冷态进行检查，检查的内容有：供气系统是否具备供气条件，窑上检测仪表（测温锥、热电偶及数显表、光学高温计等）是否统调一致、水箱进出水和加热装置是否正常，检查合格方可点火。 3．低温阶段操作 点火前将气压调节至0.01Mpa以下，打开烟道闸板，上部观火孔打开，采用点火棒或打火机交错减半点燃窑下两边烧嘴，调节烧嘴上一次空气盘至火焰呈小火状态，使窑内
温度逐步上升。 窑内温度升于300℃后，关闭观火孔、逐步点燃其余烧嘴，调节供气阀门使窑内温度升至烧成温度。 4．保温阶段操作 当温度达到1000℃时进行保温操作，控制供气压力（可调节减压阀旁通管上的阀门）使环管压力在0.02Mpa左右，适当调整窑体烟道闸板和烧嘴一次空气盘的开度，使窑体排出的燃焰呈紫绿色，按照保温温度要求，调节供气压力达到升温速率。 5．成瓷阶段操作 按预定窑内达到还原温度结束后，即转入成瓷阶段调节供气压力和烟道板开度，使排焰呈白或淡青色，并按预定升温速率，升至成瓷终止温度。 6．上下温度调节 采用控制烟囱闸板和气压、窑车上烟道棚板间前后、中间的距离和上下层码坯密度进行调节。 7．熄火 窑内达到止火温度时，关闭气瓶出气角阀和窑体供气主
干法体硅加工―― 深反应离子刻蚀技术 干法体硅加工的必要性： 高深宽比微结构是MEMS体系必不可少的特征之一，基于硅的优异机械特性和半导体工业的积累，硅被选择作为MEMS 的主要结构材料，但是，湿法刻蚀难以实现任意形状的图形转移，复杂微结构的硅材料在高深宽比硅干法刻蚀获得进展之前是非常困难和有很多限制条件的，因此，人们在硅的深刻蚀加工方面倾注了大量的精力，因此也取得了长足进步，发展称为独具特色的专用加工设备，大有取代湿法刻蚀的趋势。 内容： 等离子体刻蚀技术 硅的刻蚀与高深宽比机制 应用
等离子体刻蚀技术 等离子体的形成： 当一定量的化学气体进入一定压力的腔体，在上下电极加上高电压，产生电弧放电，生成大量的离子和自由电子，这种由部分离化的气体组成的气相物质被称为等离子体 对于气体分子AB，其等离子体中可能含有： A,B,A+,B+,AB+,A*,B*,AB*，e 其中激发态的粒子会自发放电，产生辉光，称为辉光放电现象。于是： 直流激发的辉光放电被称为直流辉光放电 射频电流激发的放电就称为射频放电 对于直流等离子体反应，其典型气压约在1mTorr，典型装置如下：
平板间距决定了激发电源的电压，大约是5厘米对应500V，10厘米对应1000V的水平 处于两极之间的等离子体，正电粒子向负极运动，电子向正极运动，电子更快。 离子最终撞击阴极将产生更多的二次电子，二次电子再向正极运动，并被极间电场加速，当能量足够高时，与腔室内的气体分子碰撞，又可以产生新的离子，如此反复，就可以维持腔室内一定区域的等离子状态。 研究表明：等离子体中绝大多数仍为气体分子，自由基和带电粒子只占很小部分，对于简单的直流放电等离子体，自由基约占1%，而离子更是只有大约0.01% 因此，一般等离子体刻蚀反应主要是由自由基去完成的
南京万和测控仪表有限公司与洛阳博耐特工程技术有限公司及西安天立能源环保工程技术有限公司精诚合作，是一个强强联合的实体，在研发和制造上属国内领先地位。用户的需求就是我们努力前方向，我们以优质的产品和近在咫尺的服务，迎接用户的选择。 一、等离子体燃烧器 1 、等离子体发生器燃煤原理： 随着等离子体电子源在不同工业领域应用和扩展，对它们的物理研究具有特殊意义。它们尤其在电子束燃煤技术中广泛应用。 在等离子发生器里，利用直流电流将压缩气体电离形成等离子体，在电磁场的作用下该等离子体会稳定定向流动，内含有大量化学活性粒子，如原子、原子团、粒子和电子等，这些粒子正负电荷数值相等，对内为良导体，对外呈中性，其内部有着上万度的高温，用眼睛就可以看见明亮的火炬。 实验室等离子体状态 等离子发生器由线圈、阴极、阳极等组成，等离子载体为压缩空气，阴极材料采用具有高导电率、高导热率、耐氧化的金属材料制成，阳极亦由高导电率、高导热率及抗氧化的金属材料制成，它们均采用水冷冷却方式，以承受电弧的高温冲击 等离子发生器原理图 2、等离子煤粉燃烧器配置： (1) 等离子发生器：产生电功率80～300 Kw的空气等离子体； (2) 直流电源(含整流变压器)：将三相380 VAC或厂变6000VAC电源整流成直流电，用于产生等离子体。WHDLZ-250型等离子发生器采用直流电源供电，并且该电源经常工作在低电压、大电流输出状态。因此该电源设计上充分考虑了多种使用工况，具有较大的抗冲击负荷的能力。 (3) 燃烧器：等离子发生器配套使用将点燃煤粉喷进炉膛即一次风管； (4) 控制系统：由PLC、CRT、通信接口和数据总线构成，实现装置的全数字自动控制。 (5) 压缩空气系统：压缩空气是等离子的载体，由空气压缩机、分流器、空气过滤器和电磁阀组成。 (6) 水冷却系统：给等离子发生器、燃烧器冷却，由水箱水磅等组成。 (7) 火焰检测图像探头：用于检测等离子燃烧器工作状态，由摄像机、石英光学传输系统、画面分割器组成。