多晶铸锭
目的:在一定的时间内，定向生长出一定尺寸的多晶晶锭。
操作过程：装炉-运行铸锭炉-出炉。
装炉：
1，装炉前准备事项
（1）检测多晶炉正常（顶板与加热板间电阻2K欧，溢流线电阻2-3欧）；
（2）炉腔清理完毕（a下炉腔内壁附着物；b DS-block表面颗粒；c DS-block下隔热板及石棉垫表面颗粒）；
（3）溢流线未被石棉垫覆盖。
2，装炉时注意事项
（1）叉车平稳进出，绝不可撞击炉内器件；
（2）装好料的坩埚放在DS-block中央
（3）四块隔热条准确放在坩埚底板与DS-block之间。
运行铸锭炉
1，运行前准备事项
（1）清洁上下炉体缝合面，在O型圈表面均匀抹上真空油脂；
（2）真空泵油位正常（1/3H-2/3H）；
（3）红、黄、蓝指示灯正常，蜂鸣器正常；
（4）配方名称准确，参数准确（进出水压力50-65psi，压差35psi，进出水温度24+—1℃）；
（5）报警（Alarms）界面无异常（指示条全为绿色）；
（6）隔热笼零位置准确；
（7）准备好运行记录本。
自动运行前内容：a关闭下炉腔；b启动真空泵，点击“AUTO”
熔化结束判断
a，系统已经报警（功率斜率变化率值＜-0.01；TC2温度斜率变化率值＞0.03）；
b，高温计明显下降；
c，观察无漂浮硅料（15-20秒）；
d，设定功率与实际功率曲线明显下降，TC2温度曲线明显上升。
中心长晶结束判断
a，系统已经报警（高温计斜率值＞6）
b，高温计曲线明显上升
c，观察无液态硅
边角长晶结束判断
a，设定功率曲线不再上升；
b，功率斜率平均值曲线不再上升；
c，对应阶段时间运行完成。
出炉
（1）打开下炉腔前事项
a，overview（浏览）界面TC1温度低于要求的出锭温度；
b，炉腔压强高于980mbar；
（2）打开下炉腔
a，戴好高温手套，将坩埚底板下的四条隔热条放在指定位置；
b，叉车平稳进入。
正常多晶锭产品
主要性能参数：
1，一级品：P型，电阻率0.7-2Ωcm，少子寿命＞2us；
1，二级品：P型，电阻率2-4Ωcm，少子寿命＞1us；
铸锭炉安全操作规程
(1)硅锭出炉后，局部温度过高可能导致自动爆炸飞溅碎片伤及人身，所以必须远离刚出炉的硅锭。
（2）硅锭出炉后温度有400度左右，防止被硅锭烫伤。
（3）取出硅锭时要慢升慢降。
（4）铸锭炉底部严禁站人。
（5）发生泄漏报警后，按操作规程处理。
（6）确保冷水机房和配电室保持联系。
（7）真空泵要24小时运行，清洁真空泵时要小心，防止抹布缠入主轴。且不要用力泵体的驱动电机。
（8）定期清洗真空泵过滤网。